特表2024-536874誘導結合プラズマ中のイオンのエネルギーを増大させ、イオンのエネルギーの広がりを減少させる方法および装置

発明の名称　誘導結合プラズマ中のイオンのエネルギーを増大させ、イオンのエネルギーの広がりを減少させる方法および装置

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 126 位（253件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 136 位（202件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2024-536874

公報発行日　2024年10月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2024-536874

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特表-2024-536874「誘導結合プラズマ中のイオンのエネルギーを増大させ、イオンのエネルギーの広がりを減少させる方法および装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録