特表 2024-537038 パージポートフィルタ支持体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-10-10

(54)【発明の名称】パージポートフィルタ支持体

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20241003BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024519068

(86)(22)【出願日】2022-09-26

(85)【翻訳文提出日】2024-04-30

(86)【国際出願番号】 US2022044734

(87)【国際公開番号】W WO2023055692

(87)【国際公開日】2023-04-06

(31)【優先権主張番号】63/249,416

(32)【優先日】2021-09-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】エグム， ショーン ディー．

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA12

5F131GA14

5F131GA53

5F131GA88

5F131GA92

5F131JA04

5F131JA12

5F131JA24

5F131JA35

(57)【要約】

前方開口型統一ポッドは、ハウジングとハウジング内のパージポートとを含む。パージポートは、フィルタ膜とパージフィルタ支持体とを含む。パージフィルタ支持体は、外側リング構造体と支持枠機能とを含む。支持枠は外側リング構造体から延在する。外側リング構造体は、フィルタ膜の支持面を提供する複数の支持体を含む。支持体のうちの１つまたは複数はそれぞれ、上側支持面の厚さから厚さが増加する。パージフィルタ支持体は、外側リング構造体と、１つまたは複数の開口部と、外側リング構造体から延在する支持枠とを含む。支持枠は、フィルタ膜に接触し支持するように構成される支持面を提供する支持体を含む。１つまたは複数の支持体はそれぞれ、上側支持面の第１の厚さから厚さが増加する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

外側リング構造体と、
前記外側リング構造体から内側に延在する支持枠であって、前方開口型統一ポッドのパージポート内のフィルタ膜に接触し支持するように構成された上側支持面を提供する複数の支持体を含み、前記複数の支持体が、前記上側支持面のそれぞれ第１の厚さから厚さがそれぞれ増加する１つまたは複数の支持体を含む、支持枠と、
前記支持枠を通って前記複数の支持体の間に延在する１つまたは複数の開口部と
を備える、パージフィルタ支持体。

【請求項2】

前記１つまたは複数の支持体それぞれに関して、前記厚さが前記上側支持面で、またはそれにほぼ平行に延在する、請求項１に記載のパージフィルタ。

【請求項3】

前記複数の支持体が、
前記外側リング構造体内に配設された内側リング構造体と、
前記外側リング構造体を前記内側リング構造体に接続するリブと
を含む、請求項１または２に記載のパージフィルタ。

【請求項4】

前記１つまたは複数の開口部が、前記内側リング構造体を通って延在する中央開口部を含む、請求項３に記載のパージフィルタ。

【請求項5】

前記１つまたは複数の支持体のそれぞれが、前記上側支持面にはなく前記第１の厚さよりも厚い第２の厚さを有する、請求項１から４のいずれか一項に記載のパージフィルタ。

【請求項6】

前記複数の支持体が、前記上側支持面から延在する第１の側壁を有する第１の支持体を含み、前記上側支持面と前記第１の側壁との間の内角が９０°超過１８０°未満である、請求項１から５のいずれか一項に記載のパージフィルタ。

【請求項7】

前記第１の支持体が前記上側支持面から延在する第２の側壁を含み、前記上側支持面と前記第２の側壁との間の内角が９０°超過１８０°未満であり、
前記第１の支持体の断面において、前記第１の側壁および前記第２の側壁が前記第１の支持体の対向面上に配設されている、
請求項６に記載のパージフィルタ。

【請求項8】

前記外側リング構造体が、入口開口部を画定する１つまたは複数の側壁を含み、
前記上側支持面に垂直な方向での前記上側支持面と前記入口開口部との重なりが２０％未満である、
請求項１から７のいずれか一項に記載のパージフィルタ。

【請求項9】

前記外側リング構造体が、入口開口部を画定する１つまたは複数の側壁を含み、
前記上側支持面に垂直な方向での前記上側支持面と前記入口開口部との重なりが１０％未満である、
請求項１から８のいずれか一項に記載のパージフィルタ。

【請求項10】

前記上側支持面に垂直な方向での前記支持枠と前記入口開口部との重なりが２０％超過である、
請求項８に記載のパージフィルタ。

【請求項11】

前記支持枠が前記複数の支持体によって形成される下面を有し、前記下面が前記複数の支持体上の前記上側支持面とは反対側に配設され、前記下面の面積が前記上側支持面の面積よりも大きい、請求項１から１０のいずれか一項に記載のパージフィルタ。

【請求項12】

前記上側支持面の前記面積が前記下面の前記面積の８５％以下である、請求項１１に記載のパージフィルタ。

【請求項13】

前記上側支持面の前記面積が前記下面の前記面積の４５％以下である、請求項１１に記載のパージフィルタ。

【請求項14】

ハウジングと、
前記ハウジングを通って延在するパージポートであって、
フィルタ膜と、
第１のパージフィルタ支持体とを含み、前記第１のパージフィルタ支持体が、
前記フィルタ膜の周縁に接触する外側リング構造体と、
前記外側リング構造体から内側に延在するとともに、上側支持面を提供する複数の支持体を含み、前記複数の支持体が、前記上側支持面に関するそれぞれの第１の厚さから厚さがそれぞれ増加する１つまたは複数の支持体を含む、支持枠と、
前記支持枠を通って前記複数の支持体の間に延在する１つまたは複数の開口部とを含む、パージポートとを備え、
前記パージポートを通って流れるパージガスのフローが、前記フィルタ膜を前記支持枠の前記上側支持面に押し付けるように構成されている、
前方開口型統一ポッド。

【請求項15】

前記パージポートが、第２の外側リング構造体と前記第２の外側リング構造体から内側に延在する第２の支持枠とを含む、第２のパージフィルタ支持体を含み、前記第２の支持枠が、前記フィルタ膜に接触し支持する第２の支持面を提供する複数の第２の支持体を含み、
前記フィルタ膜が、前記第１のパージフィルタの前記上側支持面と前記第２のパージフィルタ支持体の前記第２の支持面との間に配設されている、
請求項１４に記載の前方開口型統一ポッド。

【請求項16】

前記フィルタ膜の前記周縁が、前記第１のパージフィルタ支持体の前記外側リング構造体と前記第２のパージフィルタ支持体の前記第２の外側リング構造体との間に挟まれている、請求項１５に記載の前方開口型統一ポッド。

【請求項17】

前記パージポートが逆止弁を含む、請求項１４または１５に記載の前方開口型統一ポッド。

【請求項18】

前記外側リング構造体が、入口開口部を画定する１つまたは複数の側壁を含み、
前記パージガスが、前記パージフィルタ支持体を通って第１の方向に流れるように構成され、
前記第１の方向における前記上側支持面と前記入口開口部との重なりが１０％未満である、
請求項１４から１７のいずれか一項に記載の前方開口型統一ポッド。

【請求項19】

前記第１の方向における前記支持枠と前記入口開口部との重なりが２０％超過である、
請求項１８に記載の前方開口型統一ポッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

優先権
本開示は、２０２１年９月２８日を出願日とする米国仮特許出願第６３／２４９，４１６号の優先権を主張する。優先権書類を参照により組み込む。

【0002】

本開示は、ＦＯＵＰのパージポートに関する。より具体的には、本開示は、ＦＯＵＰのパージポートで使用されるフィルタ支持体に関する。

【背景技術】

【0003】

半導体デバイスはウエハ基板から生産することができる。ウエハ基板、または単にウエハに対して、一連の製造ステップが行われる。例えば、製造ステップとしては、材料層の堆積、ドーピング、エッチング、または基板材料の化学的もしくは物理的反応を挙げることができるが、それらに限定されない。製造前、製造中、または製造後、１つまたは複数の前方開口型統一ポッド（「ＦＯＵＰ」）に格納し搬送することができる。いくつかの製造ステップでは、ウエハはＦＯＵＰ内部にあるままで処理されてもよい。ＦＯＵＰは、パージガスをＦＯＵＰの内部に供給する１つまたは複数のパージポートを含むことができる。例えば、パージガスは、ＦＯＵＰが開いている間、ＦＯＵＰの内部を正圧（例えば、外部環境の圧力を上回る圧力、大気圧を上回る圧力）に保つように供給されてもよい。

【発明の概要】

【0004】

一実施形態では、パージフィルタ支持体は、外側リング構造体と、支持枠と、１つまたは複数の開口部とを含む。支持枠は外側リング構造体から内側に延在する。支持枠は上側支持面を提供する複数の支持体を含む。上側支持面は、ＦＯＵＰのパージポート内のフィルタ膜に接触しそれを支持するように構成される。支持体は、上側支持面の第１の厚さから厚さがそれぞれ増加する、１つまたは複数の支持体を含む。１つまたは複数の開口部は、支持体の間で支持枠を通って延在する。

【0005】

一実施形態では、ＦＯＵＰは、ハウジングと、ハウジングを通って延在するパージポートとを含む。パージポートは、フィルタ膜とパージフィルタ支持体とを含む。パージフィルタ支持体は、外側リング構造体と、支持枠と、支持枠を通って延在する１つまたは複数の開口部とを含む。外側リング構造体はフィルタ膜の周縁に接触する。支持枠は、外側リング構造体から内側に延在し、複数の支持体を含む。支持体は上側支持面を提供する。支持体のうち１つまたは複数はそれぞれ、上側支持面の第１の厚さから厚さがそれぞれ増加する。パージポートを通るパージガスの流れが、フィルタ膜を上側支持面に押し付ける。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】前方開口型統一ポッド（ＦＯＵＰ）の一実施形態を示す下面斜視図である。

【図2】一実施形態による、図１のＩＩ－ＩＩに沿ってＦＯＵＰを示す部分断面図である。

【図3】一実施形態による、図２のＦＯＵＰのパージフィルタを示す断面図である。

【図4】ＦＯＵＰにおけるパージフィルタのフィルタ支持体の一実施形態を示す上面斜視図である。

【図5】一実施形態による、図４のＶ－Ｖに沿ってフィルタ支持体を示す断面図である。

【図6】ＦＯＵＰにおけるパージフィルタのフィルタ支持体の別の実施形態を示す上面斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

同様の番号は同様の特徴を表す。

【0008】

本開示は、ＦＯＵＰのパージポートに関する。より具体的には、本開示は、ＦＯＵＰのパージポートで使用されるフィルタ支持体に関する。

【0009】

図１は、前方開口型統一ポッド（「ＦＯＵＰ」）の一実施形態の下面斜視図である。ＦＯＵＰ １はハウジング２を含む。ハウジング１は、前方開口部３と前方ドア４とを含む。ドア４は前方開口部３を覆い、ドア４を動かす（例えば、開く、取り外す）ことによってＦＯＵＰ １にアクセスすることができる。ハウジング２は、パージポート１０を有する底部６を含む。パージポート１０はハウジング２を通って延在する。ＦＯＵＰ １は、１つまたは複数のパージポート１０を含むことができる。例えば、図１のＦＯＵＰ １は２つのパージポート１０を含む。一実施形態では、ＦＯＵＰ １は、異なる数のパージポート１０（例えば、１つ、３つなど）を含んでもよい。

【0010】

図２は、一実施形態による、図１のＩＩ－ＩＩに沿ったＦＯＵＰ １の部分断面を示している。図２は、ＦＯＵＰ １のパージポート１０を示す。パージポート１０はＦＯＵＰ １の底部６に配置される。パージポート１０は、ハウジング２の底部６にある開口部１４に配設される。パージポート１０は、開口部１４を塞ぐようにして開口部１４に配設される（例えば、流体は、パージポート１０を通過することによってしか開口部１４を通過することができない）。パージポート１０は、ＦＯＵＰ １のハウジング２を通って、ＦＯＵＰ １の内部空間１２まで延在する。

【0011】

ＦＯＵＰ １は、その内部空間１２内で１つまたは複数の半導体基板（図示なし）を支えるように構成される。一実施形態では、ＦＯＵＰは複数の半導体基板を支えるように構成される。パージポート１０は、パージガスをＦＯＵＰ １の内部１２へと供給するためのものである。例えば、パージポート１０を通して供給されるパージガスとしては、全体的に不活性のガス（例えば、窒素）、濾過空気（例えば、クリーンドライエア）などを挙げることができるが、それらに限定されない。図２は、パージポート１０を通るパージガスのおおよそのフロー方向を示す、点線の矢印を含む。

【0012】

図２に示されるように、パージポート１０は、上側保持部材２０Ａと、下側保持部材２０Ｂと、逆止弁２４と、パージフィルタ３０とを含む。保持部材２０Ａ、２０Ｂは、ハウジング２に接触し（例えば、開口部１４の側壁に接触し）、パージポート１０を開口部１４内で保持する。逆止弁２４およびパージフィルタ３０は、保持部材２０Ａ、２０Ｂによって適所で支えられるように構成される。一実施形態では、パージポート１０は単一の保持部材２０Ａ、２０Ｂを含んでもよく、または保持部材２０Ａ、２０Ｂは単一部品であってもよい。パージガスは、パージポート１０を通って流れる際にパージフィルタ３０を通過する。パージフィルタ３０は、固体粒子をパージガスから濾過するように構成される。パージフィルタ３０についてはさらに詳細に後述する。

【0013】

逆止弁２４は、パージガスをＦＯＵＰ １およびパージポート１０に供給するパージノズル（図示なし）と噛合するように構成されたグロメット２６を含むことができる。逆止弁２４は、大気圧で封止されたままであるように構成される。加圧されたパージガス（例えば、大気圧よりも高い圧力を有する）がパージポート１０に供給されると、圧力によって逆止弁２４が開いて、パージガスがパージポート１０を通ってＦＯＵＰ １の内部容積１２に流入することができる。一実施形態では、パージガスは最大１０００リットル／分（ＬＰＭ）でパージポート１０を通って流れる。一実施形態では、パージガスは３０～１０００ＬＰＭでパージポート１０を通って流れる。一実施形態では、パージガスは最大５００ＬＰＭでパージポート１０を通って流れる。一実施形態では、パージガスは最大３００ＬＰＭでパージポート１０を通って流れる。一実施形態では、パージガスは２００ＬＰＭ以上でパージポート１０を通って流れる。一実施形態では、パージガスは１００ＬＰＭ以上でパージポート１０を通って流れる。

【0014】

図３は、図２のパージフィルタ３０の拡大図を示している。パージフィルタ３０は、フィルタ膜３２と１対のフィルタ支持体３４とを含む。フィルタ膜３２は、フロー方向Ｄ_１で１対のフィルタ支持体３４の間に挟み込まれる。各フィルタ支持体３４は、外側リング構造体３６と、外側リング構造体３６から内側に延在する支持枠３８とを含む。各外側リング構造体３６はフィルタ膜３２に接触する。フィルタ膜３２の周縁３３は、フィルタ支持体３４の２つの外側リング構造体３６の間で支えられる。例えば、フィルタ膜３２の周縁３３は、図３に示されるように、フィルタ支持体３４の２つの外側リング構造体３６の間に挟まれる。一実施形態では、フィルタ支持体３４の一方（例えば、図２の下側フィルタ支持体３４）は、保持部分２０Ｂまたはハウジング２に組み込まれてもよい。「リング構造体」は円形および楕円形状に限定されず、正方形、長方形、三角形など、他のループ形状を含むことが理解されるべきである。

【0015】

支持枠３８は複数の支持体４０を含む。例えば、支持体４０が支持枠３８を形成する。各フィルタ支持体３４は、フィルタ膜３２に接触し支持する上側支持面４２を含む。特に、上側支持面４２は、パージガスが通るフィルタ膜３２の中央部分（例えば、外側リング構造体３６の間に挟まれないフィルタ膜３２の周縁以外の内側部分）に対して支持を提供するように構成される。パージポート１０を通るパージガスのフローは、フィルタ膜３２をフィルタ支持体３４の上側支持面４２に押し付ける。支持枠３８はまた、複数の支持体４０によって形成される下面４３を有する。下面４３は、複数の支持体上の上側支持面４３Ａとは反対側に配設される。

【0016】

図４は、一実施形態によるフィルタ支持体３４の上面斜視図である。例えば、図４のフィルタ支持体３４は図３の上側フィルタ支持体であり得る。上述したように、フィルタ支持体３４は、外側リング構造体３６と、外側リング構造体３６から径方向内側に延在する支持枠３８を形成する複数の支持体４０とを含む。支持体４０はフィルタ支持体３４の上側支持面４２を提供する。例えば、各支持体４０は上側支持面４２の一部分を提供する。各支持体４０は、パージフィルタ３０内のフィルタ膜３２に接触するように構成される。

【0017】

例示の実施形態に示されるように、支持体４０は、内側リング構造体４４とリブ４６とを含むことができる。内側リング構造体４４およびリブ４６は、図４に示されるように、支持枠３８を形成することができる。内側リング構造体４４は外側リング構造体３６内に配設される。内側リング構造体４４は、リブ４６によって外側リング構造体３６に接続される。各リブ３６は、外側リング構造体３６から内側リング構造体４４まで延在する。外側リング構造体３６はまた、フィルタ支持体３４の入口開口部６４を画定する１つまたは複数の側壁６２を含む。フィルタ膜３２は入口開口部６４を横切って配設される。

【0018】

フィルタ支持体３４は、支持体４０の間で支持枠３８を通って延在する、１つまたは複数の開口部４８を含む。例えば、開口部４８は、支持体４０のうち少なくとも２つの間に延在することによって、支持枠３８を通って延在する。開口部４８によって、パージガスがフィルタ支持体３４を通り抜けることが可能になる。図４に示されるように、開口部４８は、内側リング構造体４４を通って延在する中央開口部４８Ａを含むことができる。開口部４８はまた、外側リング構造体３６と内側リング構造体４４との間でフィルタ支持体３４を通ってそれぞれ延在する、開口部４８Ｂを含むことができる。

【0019】

図４によって示されるように、上側支持面４２に垂直な方向での（例えば、フロー方向Ｄ_１での）支持枠３８と入口開口部６４との重なりは、２０％超過である。一実施形態では、支持枠３８と入口開口部６４との間の上記重なりは、２５％超過であってもよい。別の実施形態では、支持枠３８と入口開口部６４との間の上記重なりは、３０％超過であってもよい。

【0020】

図５は、図４のＶ－Ｖに沿ったフィルタ支持体３４の断面を示している。複数の支持体４０は第１の支持体４０－１を含む。第１の支持体４０－１は、上側支持面４２および下面４３（例えば、上側支持面４２の一部分および下面４３の一部分）を含む。下面４３は、第１の支持体４０－１上の上側支持面４２とは反対側に配設される。例えば、下面４３および上側支持面４２は、パージフロー方向Ｄ_１で反対側に配設される。支持体の面に関する「上側」および「下側」は、フィルタ支持体３４のみに対するものであることが理解されるべきである。したがって、上側支持面４２は、パージポート１０に用いられる場合、他の相対方向／面と対応しないことがある。例えば、図２のパージフィルタ２０における上側フィルタ支持体３４では、上側支持面４２は下方向に面し（例えば、方向Ｄ_２で、底部６と同じまたは同様の方向に面し）、下面４３は上方向に面する（例えば、方向Ｄ_１で、ハウジング２の頂部と同じまたは同様の方向に面する）。

【0021】

図４に示されるように、第１の支持体４０－１の厚さは様々である。第１の支持体４０－１の厚さは、上側支持面４２から第１の支持体４０－１内へと進むにしたがって（例えば、上側支持面４２に垂直な方向Ｄ_２で進むにしたがって、パージフロー方向Ｄ_１に沿って上側支持面４２から離れる方向に進むにしたがって）変化する。第１の支持体４０－１の厚さは、第１の支持体４０－１上の上側支持面４２に、またはそれにほぼ平行に延在する（例えば、厚さは、第１の支持体４０－１上の上側支持面４２によって画定される面に沿って測定される）。例えば、第１の支持体４０の厚さは、一実施形態では、組み立てられたパージフィルタ１０のフィルタ膜３２に平行に測定される。

【0022】

第１の支持体４０－１は、支持体４０－１上の上側支持面４２に関して第１の厚さＴ_１を有する。第１の厚さＴ_１は、上側支持面４２における第１の支持体４０－１の厚さである。図５に示されるように、第１の支持体４０－１の厚さは第１の厚さＴ_１から増加する。第１の厚さＴ_１は０．５ｍｍ以下であることができる。一実施形態では、第１の厚さＴ_１は０．２５ｍｍ以下であってもよい。一実施形態では、第１の厚さＴ_１は０．２ｍｍ以下であってもよい。一実施形態では、第１の厚さＴ_１は０．１５ｍｍ以下であってもよい。

【0023】

第１の支持体４０－１はまた、第１の厚さＴ_１よりも厚い第２の厚さを有する。第２の厚さは上側支持面４２の厚さではない。図４に示されるように、第２の厚さは、第１の支持体４０－１の下面４３に関する厚さＴ_３であることができる。第２の厚さＴ_２は下面４３の厚さである。一実施形態では、第２の厚さは、上側支持面４２と下面４３との間の部分距離における第１の支持体４０－１の厚さであってもよい（例えば、厚さＴ_３）。第２の厚さは少なくとも１．０ｍｍであることができる。一実施形態では、第２の厚さは少なくとも１．２ｍｍであってもよい。この第２の厚さＴ_２は、フィルタ支持体３４を射出成形することが可能になる十分な厚さである。例えば、１．２ｍｍ未満の最大厚さＴ_２を有するフィルタ支持体を適切に射出成形するのに必要な射出圧力が高いと、射出成形型内にある射出ポリマーの早期の硬化をもたらすことが見出されている。特に、この早期の硬化は、最大厚さＴ_２が１．０ｍｍ未満のときに十分な量で起こる。したがって、フィルタ支持体３４は、有利には、ポリマー射出成形可能であるように構造化される。

【0024】

下面４３の面積は、第１の支持体４０－１上における上側支持面４２の面積よりも大きい。支持体４０上の上側支持面４２は、支持体４０上の下面４３の面積よりも大きい（例えば、同じ支持体上の下面の面積よりも大きい）。一実施形態では、上側支持面４２の面積は、下面４３の面積の８５％以下（例えば、同じ支持体上の下面の面積の８５％以下）である。一実施形態では、上側支持面４２の面積は、下面４３の面積の６５％以下（例えば、同じ支持体上の下面４３の面積の６５％以下）である。一実施形態では、上側支持面４２の面積は、下面４３の面積の４５％以下（例えば、同じ支持体上の下面の面積の４５％以下）である。

【0025】

第１の支持体４０－１は、第１の側壁５２と第２の側壁５４とを含む。第１の側壁５２および第２の側壁５４は、第１の支持体４０－１上で互いの反対側に配設される（例えば、第１の支持体４０－１の対向面上に配設される）。例えば、図５に示される第１の支持体４０－１の断面では、側壁５２、５４は第１の支持体４０－１の対向面上にある。側壁５２、５４はそれぞれ、上側支持面４２から延在する側壁である。例えば、各側壁５２、５４は、上側支持面４２と下面４３との間に延在する側壁である。一実施形態では、上側支持面４２と第１の側壁５２との間の内角α_１は、９０°超過であって１８０°未満である。一実施形態では、上側支持面４２と第２の側壁５４との間の内角α_２は、９０°超過であって１８０°未満である。例えば、９０°の内角は、それぞれの側壁が上側支持面に垂直に延在するであろう９０度の角に対応する。

【0026】

１つまたは複数の他の支持体４０は、第１の支持体４０－１に関して上述したのと同様の特徴を有し得ることが認識されるべきである。一実施形態では、１つまたは複数の支持体４０は、第１の支持体４０－１に関して上述したように、増加する厚さを有する。例えば、フィルタ支持体３４は、一実施形態では、第１の支持体４０－１に関して記載したように増加する厚さを有する、複数の支持体４０を有してもよい。かかる実施形態では、上側支持用面４２の第１の厚さは、異なる支持体４０同士で異なってもよい。一実施形態では、フィルタ支持体３４における支持体４０の少なくとも５０％は、第１の支持体４０－１に関して上述したような特徴をそれぞれ有することができる。

【0027】

１つまたは複数の支持体４０それぞれの厚さは、上側支持面４２に垂直な方向（例えば、フロー方向Ｄ_１）での上側支持面４２と入口開口部６４との重なりが２０％未満であるように増加する。一実施形態では、上側支持面４２に垂直な方向での上側支持面４２と入口開口部６４との重なりは１５％未満である。一実施形態では、上側支持面４２に垂直な方向での上側支持面４２と入口開口部６４との重なりは１０％未満である。

【0028】

フィルタ支持体１０は、有利には、上側支持面４２が、入口開口部６４の上に配設されたフィルタ膜３２の内側部分（例えば、外側リング構造体３６によって挟まれないフィルタ膜の部分）に対して支持を提供し、それに対応して、最小量のフィルタ膜３２（例えば、２０％未満、１５％未満、１０％未満）のみを塞ぐのを可能にすることができる。支持体４０の厚さ（例えば、より厚い第２の厚さを有する）はまた、有利には、フィルタ支持体３４を射出成形するのを可能にすることができる。

【0029】

パージガスがパージポート１０を通って流れるとき、パージガスがフィルタ膜３２を通って流れる際に背圧が生じる。フィルタ膜３２を通るパージガスの流量の増加によっても、背圧の量が増加する。背圧は、パージポート１０およびＦＯＵＰ １に上向きの力を加える。背圧が十分に高くなった場合、各パージポート１０にパージガスをそれぞれ供給するパージノズル（図示なし）から、ＦＯＵＰ １０を持ち上げることができる。フィルタ支持体３４は、有利には、フィルタ膜３２が塞ぐ量を最小限になることで背圧を小さくし、結果として背圧を小さくする。フィルタ支持体３４は、より多いパージガス流量で使用される場合、有利には、パージポート１０の背圧を小さくするのを達成することができる。例えば、これにより、ＦＯＵＰ １０をパージノズルから持ち上げることができる、より大きい背圧に達することなく、より多いパージガス流量をＦＯＵＰ １０が利用することが可能になる。

【0030】

図６は、フィルタ支持体１３４の別の実施形態の上面図である。フィルタ支持体１３４は、図２のフィルタ支持体３４と同様の方式で、ＦＯＵＰ １のパージポート１０で使用されるように構成される。フィルタ支持体１３４は、外側リング構造体１３６と、外側リング構造体１３６から内側に延在する支持枠１３８とを含む。支持枠１３８は、複数の支持体１４０と、支持体１４０の間で支持枠１３８を通って延在する開口部１４８とを含む。フィルタ支持体１３４は、支持枠１３８における開口部１４８および支持体１４０の配置を除いて、図２～図５のフィルタ支持体３４に関して上述したのと同様の構成を有することができる。

【0031】

図６に示されるように、支持体１４０は、外側リング構造体１３６から中央位置１８０まで内側に延在する。例えば、中央位置１８０は外側リング構造体１３６の中心にあることができる。各支持体１４０は、外側リング構造体１３６から中央位置１８０まで延在するリブである。したがって、フィルタ支持体１３４は、中央開口部（例えば、中央開口部４８Ａ）を有さない。支持体１４０はそれぞれ、フィルタ支持体３４の第１の支持体４０－１に関して上述したような特徴を有することができる。例えば、１つまたは複数の支持体１４０は、フィルタ支持体３４の第１の支持体４０－１に関して同様に上述したような、増加する厚さを有する。

【0032】

態様
態様１～１３はいずれも、態様１４～１９のいずれかと組み合わせることができる。

【0033】

態様１。 外側リング構造体と、外側リング構造体から内側に延在する支持枠であって、前方開口型統一ポッドのパージポート内のフィルタ膜に接触しそれを支持するように構成された上側支持面を提供する複数の支持体を含み、複数の支持体が、上側支持面の第１の厚さから厚さがそれぞれ増加する１つまたは複数の支持体を含む、支持枠と、支持枠を通って複数の支持体の間に延在する１つまたは複数の開口部とを備える、パージフィルタ支持体。

【0034】

態様２。 １つまたは複数の支持体それぞれに関して、厚さが上側支持面で、またはそれにほぼ平行に延在する、態様１に記載のパージフィルタ。

【0035】

態様３。 複数の支持体が、外側リング構造体内に配設された内側リング構造体と、外側リング構造体を内側リング構造体に接続するリブとを含む、態様１および２のいずれか１つに記載のパージフィルタ。

【0036】

態様４。 １つまたは複数の開口部が、内側リング構造体を通って延在する中央開口部を含む、態様３に記載のパージフィルタ。

【0037】

態様５。 １つまたは複数の支持体のそれぞれが、上側支持面にはなく第１の厚さよりも厚い第２の厚さを有する、態様１～４のいずれか１つに記載のパージフィルタ。

【0038】

態様６。 複数の支持体が、上側支持面から延在する第１の側壁を有する第１の支持体を含み、上側支持面と第１の側壁との間の内角が９０°超過１８０°未満である、態様１～５のいずれか１つに記載のパージフィルタ。

【0039】

態様７。 第１の支持体が上側支持面から延在する第２の側壁を含み、上側支持面と第２の側壁との間の内角が９０°超過１８０°未満であり、第１の支持体の断面において、第１の側壁および第２の側壁が第１の支持体の対向面上に配設されている、態様６に記載のパージフィルタ。

【0040】

態様８。 外側リング構造体が、入口開口部を画定する１つまたは複数の側壁を含み、上側支持面に垂直な方向での上側支持面と入口開口部との重なりが２０％未満である、態様１～７のいずれか１つに記載のパージフィルタ。

【0041】

態様９。 外側リング構造体が、入口開口部を画定する１つまたは複数の側壁を含み、上側支持面に垂直な方向での上側支持面と入口開口部との重なりが１０％未満である、態様１～８のいずれか１つに記載のパージフィルタ。

【0042】

態様１０。 上側支持面に垂直な方向での支持枠と入口開口部との重なりが２０％超過である、態様８に記載のパージフィルタ。

【0043】

態様１１。 支持枠が複数の支持体によって形成される下面を有し、下面が複数の支持体上の上側支持面とは反対側に配設され、下面の面積が上側支持面の面積よりも大きい、態様１～１０のいずれか１つに記載のパージフィルタ。

【0044】

態様１２。 上側支持面の面積が下面の面積の８５％以下である、態様１０に記載のパージフィルタ。

【0045】

態様１３。 上側支持面の面積が下面の面積の４５％以下である、態様１１および１２のいずれか１つに記載のパージフィルタ。

【0046】

態様１４。 ハウジングと、ハウジングを通って延在するパージポートであって、フィルタ膜と第１のパージフィルタ支持体とを含み、第１のパージフィルタ支持体が、フィルタ膜の周縁に接触する外側リング構造体と、外側リング構造体から内側に延在するとともに、上側支持面を提供する複数の支持体を含み、複数の支持体が、上側支持面に関する第１の厚さから厚さが増加する１つまたは複数の支持体を含む、支持枠と、支持枠を通って複数の支持体の間に延在する１つまたは複数の開口部とを含む、パージポートとを備え、パージポートを通って流れるパージガスのフローが、フィルタ膜を支持枠の上側支持面に押し付けるように構成されている、前方開口型統一ポッド。

【0047】

態様１５。 パージポートが、第２の外側リング構造体と第２の外側リング構造体から内側に延在する第２の支持枠とを含む、第２のパージフィルタ支持体を含み、第２の支持枠が、フィルタ膜に接触し支持する第２の支持面を提供する複数の第２の支持体を含み、フィルタ膜が、第１のパージフィルタの上側支持面と第２のパージフィルタ支持体の第２の支持面との間に配設されている、態様１４に記載の前方開口型統一ポッド。

【0048】

態様１６。 フィルタ膜の周縁が、第１のパージフィルタ支持体の外側リング構造体と第２のパージフィルタ支持体の第２の外側リング構造体との間に挟まれている、態様１５に記載の前方開口型統一ポッド。

【0049】

態様１７。 パージポートが逆止弁を含む、態様１４～１６のいずれか１つに記載の前方開口型統一ポッド。

【0050】

態様１８。 外側リング構造体が、入口開口部を画定する１つまたは複数の側壁を含み、パージガスが、パージフィルタ支持体を通って第１の方向に流れるように構成され、第１の方向における上側支持面と入口開口部との重なりが１０％未満である、態様１４～１７のいずれか１つに記載の前方開口型統一ポッド。

【0051】

態様１９。 第１の方向における支持枠と入口開口部との重なりが２０％超過である、態様１８に記載の前方開口型統一ポッド。

【0052】

本明細書に開示した実施例は、あらゆる点で例示的であって限定的ではないものとみなされるべきである。本発明の範囲は前述の説明ではなく添付の特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と等価の意味および範囲内にあるすべての変更が包含されるものとする。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【手続補正書】

【提出日】2024-06-14

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

外側リング構造体と、
前記外側リング構造体から内側に延在する支持枠であって、前方開口型統一ポッドのパージポート内のフィルタ膜に接触し支持するように構成された上側支持面を提供する複数の支持体を含み、前記複数の支持体が、前記上側支持面のそれぞれ第１の厚さから厚さがそれぞれ増加する１つまたは複数の支持体を含む、支持枠と、
前記支持枠を通って前記複数の支持体の間に延在する１つまたは複数の開口部と
を備える、パージフィルタ支持体。

【請求項2】

前記複数の支持体が、
前記外側リング構造体内に配設された内側リング構造体と、
前記外側リング構造体を前記内側リング構造体に接続するリブと
を含む、請求項１に記載のパージフィルタ支持体。

【請求項3】

ハウジングと、
前記ハウジングを通って延在するパージポートであって、
フィルタ膜と、
第１のパージフィルタ支持体とを含み、前記第１のパージフィルタ支持体が、
前記フィルタ膜の周縁に接触する外側リング構造体と、
前記外側リング構造体から内側に延在するとともに、上側支持面を提供する複数の支持体を含み、前記複数の支持体が、前記上側支持面に関するそれぞれの第１の厚さから厚さがそれぞれ増加する１つまたは複数の支持体を含む、支持枠と、
前記支持枠を通って前記複数の支持体の間に延在する１つまたは複数の開口部とを含む、パージポートとを備え、
前記パージポートを通って流れるパージガスのフローが、前記フィルタ膜を前記支持枠の前記上側支持面に押し付けるように構成されている、
前方開口型統一ポッド。

【請求項4】

前記パージポートが、第２の外側リング構造体と前記第２の外側リング構造体から内側に延在する第２の支持枠とを含む、第２のパージフィルタ支持体を含み、前記第２の支持枠が、前記フィルタ膜に接触し支持する第２の支持面を提供する複数の第２の支持体を含み、
前記フィルタ膜が、前記第１のパージフィルタ支持体の前記上側支持面と前記第２のパージフィルタ支持体の前記第２の支持面との間に配設されている、
請求項３に記載の前方開口型統一ポッド。

【請求項5】

前記外側リング構造体が、入口開口部を画定する１つまたは複数の側壁を含み、
前記パージガスが、前記パージフィルタ支持体を通って第１の方向に流れるように構成され、
前記第１の方向における前記上側支持面と前記入口開口部との重なりが１０％未満である、
請求項３に記載の前方開口型統一ポッド。

【国際調査報告】