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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2024-10-10
(54)【発明の名称】材料レベルを決定するための前駆体送達システム
(51)【国際特許分類】
C23C 16/455 20060101AFI20241003BHJP
【ＦＩ】
C23C16/455
【審査請求】有
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2024520568
(86)(22)【出願日】2022-10-04
(85)【翻訳文提出日】2024-05-28
(86)【国際出願番号】 US2022045663
(87)【国際公開番号】W WO2023059628
(87)【国際公開日】2023-04-13
(31)【優先権主張番号】63/252,316
(32)【優先日】2021-10-05
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】505307471
【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド
(74)【代理人】
【識別番号】110002077
【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】バトル， スコット エル．
(72)【発明者】
【氏名】カードーゾ， ベンジャミン
(72)【発明者】
【氏名】パーカー， チェース
【テーマコード（参考）】
4K030
【Ｆターム（参考）】
4K030EA01
4K030EA03
(57)【要約】
材料レベルを決定するための前駆体送達システムおよび関連する方法は、アンプルと、アンプル内に配置されている少なくとも１つのトレイとを含むことができる。少なくとも１つのトレイは、ある量の前駆体材料を保持するように構成され得る。ロードセルアセンブリもまた含まれる。ロードセルアセンブリは、ロードセルを含み得る。ロードセルアセンブリは、少なくとも１つのトレイがロードセル上に機械的力を及ぼすのに十分な構成で少なくとも１つのトレイに結合され得る。この機械的力は、少なくとも１つのトレイ上に存在する前駆体材料の量に相関的であり得、したがって、アンプル内の材料レベルを決定するために使用され得る。
【選択図】図１
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
前駆体送達システムであって、アンプルと、
アンプル内に配置されている少なくとも１つのトレイと、
少なくとも１つのトレイに結合されたロードセルであって、
ロードセルは、少なくとも１つのトレイがロードセル上に機械的力を及ぼすのに十分な構成で少なくとも１つのトレイに結合されており、
機械的力は、少なくとも１つのトレイ上に存在する前駆体材料の量に相関的である、
ロードセルと
を含む、前駆体送達システム。
【請求項2】
ロードセルが、引張力を測定するように構成されている、請求項１に記載の前駆体送達システム。
【請求項3】
ロードセルが、圧縮力を測定するように構成されている、請求項１に記載の前駆体送達システム。
【請求項4】
ロードセルが、アンプル内に配置されている、請求項１に記載の前駆体送達システム。
【請求項5】
ロードセルが、シールされた筐体内のアンプル内に配置されている、請求項１に記載の前駆体送達システム。
【請求項6】
ロードセルが耐食性コーティングを含む、請求項１に記載の前駆体送達システム。
【請求項7】
ロードセルがアンプルの外側に配置されている、請求項１に記載の前駆体送達システム。
【請求項8】
ロードセルが、アンプル内に形成された凹状空洞内に配置される、請求項１に記載の前駆体送達システム。
【請求項9】
前駆体送達システムであって、アンプルと、
アンプル内に配置されている少なくとも１つのトレイと、
ロードセルアセンブリであって、
ロードセルと、
支持部材であって、
支持部材は、少なくとも１つのトレイがロードセル上に機械的力を及ぼすのに十分な構成で少なくとも１つのトレイをロードセルに結合しており、
機械的力が、少なくとも１つのトレイ上に存在する前駆体材料の量に相関的である、支持部材と
を含む、ロードセルアセンブリと
を含む、前駆体送達システム。
【請求項10】
少なくとも１つのトレイが支持部材に取り付けられている、請求項９に記載の前駆体送達システム。
【請求項11】
支持部材が、チューブ部材とベースプレートとを含み、チューブ部材の近位端部は、ロードセルに結合されており、チューブ部材の遠位端部は、ベースプレートに結合されている、請求項９に記載の前駆体送達システム。
【請求項12】
少なくとも１つのトレイが、ベースプレート上に配置されている、請求項１１に記載の前駆体送達システム。
【請求項13】
支持部材が、担体ガスのための通路を画定するチューブ部材を含む、請求項９に記載の前駆体送達システム。
【請求項14】
チューブ部材が、少なくとも１つのトレイに結合されている、請求項１３に記載の前駆体送達システム。
【請求項15】
少なくとも１つのトレイがアンプルに対して移動可能である、請求項９に記載の前駆体送達システム。
【請求項16】
少なくとも１つのトレイが支持部材に対して移動可能ではない、請求項９に記載の前駆体送達システム。
【請求項17】
ロードセルが、少なくとも１つのトレイの上方でアンプルの内面に装置されている、請求項９に記載の前駆体送達システム。
【請求項18】
ロードセルが、少なくとも１つのトレイの上方でアンプルの外面上に配置されている、請求項９に記載の前駆体送達システム。
【請求項19】
ロードセルが、アンプルの外面内に形成された凹状空洞内に配置されている、請求項９に記載の前駆体送達システム。
【請求項20】
前駆体送達システムであって、アンプルと、
アンプル内に配置されているロードセルと、
ロードセル上に配置されている少なくとも１つのトレイであって、
少なくとも１つのトレイは、少なくとも１つのトレイがロードセル上に機械的力を及ぼすのに十分な構成でロードセル上に配置されており、
機械的力は、少なくとも１つのトレイ上に存在する材料の量に相関的である、少なくとも１つのトレイと
を含む、前駆体送達システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
優先権
本開示は、２０２１年１０月５日の出願日を有する米国仮特許出願第６３／２５２，３１６号の優先権を主張するものである。この優先権文献は、あらゆる目的のために本明細書に援用される。
本開示は、２０２１年１０月５日の出願日を有する米国仮特許出願第６３／２５２，３１６号の優先権を主張するものである。この優先権文献は、あらゆる目的のために本明細書に援用される。
【0002】
本開示は、一般に、前駆体送達システムに関する。
【背景技術】
【0003】
半導体処理ツールは、蒸気前駆体を利用する。蒸気前駆体を供給するためのデバイスは、固体または液体の前駆体材料を蒸発させることによって蒸気前駆体を生成する。蒸気前駆体を生成するための方法は、これらのデバイスの内部構成要素を過酷な条件および腐食材料に晒すことを伴う。
【発明の概要】
【0004】
いくつかの実施形態は、前駆体送達システムに関する。いくつかの実施形態では、前駆体送達システムは、アンプルと、アンプル内に配置された少なくとも１つのトレイとを含んでもよい。いくつかの実施形態では、少なくとも１つのトレイは、ある量の前駆体材料を保持するように構成され得る。いくつかの実施形態では、ロードセルが含まれる。いくつかの実施形態では、ロードセルは、ロードセルアセンブリの一部を形成してもよい。いくつかの実施形態では、ロードセルは、少なくとも１つのトレイがロードセル上に機械的力を及ぼすのに十分な構成で少なくとも１つのトレイに結合される。いくつかの実施形態では、機械的力は、少なくとも１つのトレイ上に存在する前駆体材料の量に相関的であり、アンプル内の材料レベルを決定するために使用される。
【0005】
いくつかの実施形態では、ロードセルは、引張力を測定するように構成される。
【0006】
いくつかの実施形態では、ロードセルは、圧縮力を測定するように構成される。
【0007】
いくつかの実施形態では、ロードセルは、アンプル内に配置される。
【0008】
いくつかの実施形態では、ロードセルは、シールされた筐体内のアンプル内に配置される。
【0009】
いくつかの実施形態では、ロードセルは、耐食性コーティングを含んでもよい。
【0010】
いくつかの実施形態では、ロードセルは、アンプルの外側に配置される。
【0011】
いくつかの実施形態では、ロードセルは、アンプル内に形成された凹状空洞内に配置される。
【0012】
いくつかの実施形態は、前駆体送達システムに関する。いくつかの実施形態では、前駆体送達システムは、アンプルと、アンプル内に配置された少なくとも１つのトレイとを含み得る。いくつかの実施形態では、少なくとも１つのトレイは、ある量の前駆体材料を保持するように構成される。いくつかの実施形態では、ロードセルアセンブリが含まれる。いくつかの実施形態では、ロードセルアセンブリは、ロードセルと支持部材とを備え得る。いくつかの実施形態では、支持部材は、少なくとも１つのトレイがロードセル上に機械的力を及ぼすのに十分な構成で少なくとも１つのトレイをロードセルに結合し得る。いくつかの実施形態では、機械的力は、少なくとも１つのトレイ上に存在する前駆体材料の量に相関的である。
【0013】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つのトレイは、支持部材に取り付けられる。
【0014】
いくつかの実施形態では、支持部材は、チューブ部材とベースプレートとを含む。
【0015】
いくつかの実施形態では、チューブ部材の近位端部は、ロードセルに結合され、チューブ部材の遠位端部は、ベースプレートに結合される。
【0016】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つのトレイは、ベースプレート上に配置される。
【0017】
いくつかの実施形態では、支持部材は、担体ガスのための通路を画定するチューブ部材を含む。
【0018】
いくつかの実施形態では、チューブ部材は、少なくとも１つのトレイに結合される。
【0019】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つのトレイは、アンプルに対して移動可能である。
【0020】
いくつかの実施形態では、少なくとも１つのトレイは、支持部材に対して移動可能ではない。
【0021】
いくつかの実施形態では、ロードセルは、少なくとも１つのトレイの上方でアンプルの内面に装置される。
【0022】
いくつかの実施形態では、ロードセルは、少なくとも１つのトレイの上方でアンプルの外面上に配置される。
【0023】
いくつかの実施形態では、ロードセルは、アンプルの外面内に形成された凹状空洞内に配置される。
【0024】
いくつかの実施形態は、前駆体送達システムに関する。いくつかの実施形態では、前駆体送達システムは、アンプルと、アンプル内に配置されたロードセルと、ロードセル上に配置された少なくとも１つのトレイとを含み得る。いくつかの実施形態では、少なくとも１つのトレイは、少なくとも１つのトレイがロードセル上に機械的力を及ぼすのに十分な構成でロードセル上に配置される。いくつかの実施形態では、機械的力は、少なくとも１つのトレイ上に存在する材料の量に相関的である。
【0025】
本開示の一部を形成し、本明細書において説明する材料および方法を実践することができる実施形態を示す図を参照する。
【図面の簡単な説明】
【0026】
【図1】いくつかの実施形態による、前駆体送達システムの概略図である。
【図2】いくつかの実施形態による、引張力に基づいて材料レベルを決定するのに有用な前駆体送達システムの概略断面図である。
【図3】いくつかの実施形態による、引張力に基づいて材料レベルを決定するのに有用な前駆体送達システムの概略断面図である。
【図4】いくつかの実施形態による、引張力に基づいて材料レベルを決定するのに有用な前駆体送達システムの概略断面図である。
【図5】いくつかの実施形態による、圧縮力に基づいて材料レベルを決定するのに有用な前駆体送達システムの概略断面図である。
【図6】いくつかの実施形態による、圧縮力に基づいて材料レベルを決定するのに有用な前駆体送達システムの概略断面図である。
【図7】いくつかの実施形態による、圧縮力に基づいて材料レベルを決定するのに有用な前駆体送達システムの概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0027】
図１は、いくつかの実施形態による、前駆体送達システム１００の概略図である。前駆体送達システム１００は、任意の組み合わせで本明細書に開示する実施形態のいずれかによって前駆体材料レベルを決定するのに有用である。前駆体送達システム１００の実施形態の少なくともいくつかは、堆積方法に使用される。堆積方法は、例えば、それだけに限定されないが、化学蒸着（ＣＶＤ）法、原子層堆積（ＡＬＤ）法、プラズマ励起原子層堆積（ＰＥＡＬＤ）法、金属有機化学蒸着（ＭＯＣＶＤ）法、プラズマ励起化学蒸着（ＰＥＣＶＤ）法のうちの少なくとも１つ、またはこれらの任意の組み合わせを含んでもよい。前駆体材料は、蒸発可能な前駆体材料を含む、任意のソース前駆体材料を含んでもよい。蒸発可能な前駆体材料は、蒸発可能な固体前駆体材料、蒸発可能な液体前駆体材料、またはこれらの任意の組み合わせとして提供されてもよい。
【0028】
本明細書では、用語「ロードセル」は、力を測定するのに有用な任意のタイプのセンサを指す。この用語は、例えば、それだけに限定されないが、力センサ、力変換器などを含む。ロードセルの仕様の中でもとりわけ寸法、形状、および容量は、特に限定されない。例えば、ロードセルは、任意の仕様、適用範囲、および／または用途を満たすように寸法設定され、成形され、選択されてもよい。いくつかの実施形態では、ロードセルは、少なくとも１つのトレイによって及ぼされる機械的力を測定するのに有用である。機械的力は、例えば、それだけに限定されないが、荷重、重量、引張力、圧縮力のうちの少なくとも１つ、またはこれらの任意の組み合わせを含んでもよい。すなわち、ロードセルは、機械的力の１つのタイプまたは機械的力の任意の組み合わせを測定するように構成されてもよい。例えば、いくつかの実施形態では、圧縮力を測定するためのロードセルが、本明細書において使用される。いくつかの実施形態では、引張力を測定するためのロードセルが、本明細書において使用される。いくつかの実施形態では、引張力と圧縮力の両方を測定するように構成されたロードセルが、本明細書において使用される。ロードセルの非限定的な例は、それだけに限定されないが、空気式ロードセル、油圧式ロードセル、ひずみゲージロードセル、キャパシタンスロードセル、ねじ付きロードセル；貫通孔ロードセル（例えばドーナツ型ロードセル）；インラインロードセル；パンケーキ型ロードセル；コラム型ロードセル（例えばキャニスタ型ロードセル）；Ｓ－ビームロードセル；ロードボタンロードセル；シングルポイントロードセル；多軸ロードセルのうちの少なくとも１つ；またはこれらの任意の組み合わせを含む。
【0029】
いくつかの実施形態では、前駆体送達システム１００は、１つまたは複数のトレイ１０４に結合されたロードセル１０２を含む。ロードセル１０２は、荷重、重量、引張力、圧縮力のうちの少なくとも１つ、またはこれらの任意の組み合わせを測定するように構成される。１つまたは複数のトレイ１０４は、ある量の前駆体材料を保持するように構成される。いくつかの実施形態では、ロードセル１０２は、結果として１つまたは複数のトレイ１０４がロードセル１０２上に機械的力を及ぼすのに十分な構成で１つまたは複数のトレイ１０４に結合される。１つまたは複数のトレイ１０４上の前駆体材料の量を測定するために、ロードセル１０２は、ロードセル１０２上に１つまたは複数のトレイ１０４によって及ぼされる機械的力を測定するように構成されてもよい。この機械的力は、１つまたは複数のトレイ１０４上の前駆体材料の量に相関的であり得る。したがって、機械的力は、１つまたは複数のトレイ１０４上の前駆体材料の量を測定または決定するために使用されてもよい。例えば、前駆体送達システム１００の動作中、前駆体材料が消費（例えば蒸発）されるにつれて、ロードセル１０２上の機械的力は低下し、この低下は、１つまたは複数のトレイ１０４上の前駆体材料の量に相関的である。
【0030】
いくつかの実施形態では、前駆体送達システム１００は、内部容積部を画定するアンプル１０６をさらに含む。アンプル１０６は、その内部容積部内に、ロードセル１０２、１つまたは複数のトレイ１０４、前駆体材料のうちの少なくとも１つ、またはこれらの任意の組み合わせを含んでもよい。アンプル１０６は、前駆体蒸気を提供するために出口ポート（図示せず）を含む。いくつかの実施形態では、１つまたは複数のトレイ１０４および前駆体材料は、その内部容積部内に配置される。いくつかの実施形態では、ロードセル１０２は、内部容積部内に配置される。例えば、いくつかの実施形態では、ロードセル１０２は、内部容積部の下側部分内に配置される（例えば、１つまたは複数のトレイ１０４のうちの少なくとも１つの下方の表面上に配置される）。いくつかの実施形態では、ロードセル１０２は、内部容積部の上側部分内に配置される（例えば、１つまたは複数のトレイ１０４の上方のアンプル１０６の内面に装置される）。いくつかの実施形態では、ロードセル１０２は、アンプル１０６の内部容積部の外側に配置される。例えば、いくつかの実施形態では、ロードセル１０２は、（例えば、１つまたは複数のトレイ１０４の上方の）アンプル１０６の外面上に配置される。いくつかの実施形態では、ロードセル１０２は、アンプル１０６（例えば、アンプル１０６の外面）内に形成された凹状空洞内に配置される。本開示から逸脱することなく、他の構成が本明細書において使用されてもよいことが理解されよう。
【0031】
前駆体送達システム１００は、アンプル１０６を通る／内での流体の流れ（例えばガス流）を可能にするように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、アンプル１０６、および任意選択により１つまたは複数のトレイ１０４は、流体を流すための１つまたは複数の通路を含んでもよく、画定してもよく、または含んで画定してもよい。例えば、アンプル１０６は、内部容積部の底部から内部容積部の上部への、内部容器の上部から内部容積部の底部への、またはこれらの任意の組み合わせの流体の流れを可能にするように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、アンプル１０６は、蒸気ドロー構成で提供される。蒸気ドロー構成では、流体は、蒸発した前駆体材料を含み得る。いくつかの実施形態では、アンプル１０６は、担体ガス構成で提供される。担体ガス構成では、流体は、担体ガスと蒸発した前駆体材料とを含み得る。いくつかの実施形態では、前駆体送達システム１００からの流体は、下流側動作の中でもとりわけ半導体処理ツールに送達される。
【0032】
上記で述べたように、前駆体材料は、蒸発可能な前駆体材料を含む任意のソース前駆体材料を含んでもよい。いくつかの実施形態では、前駆体材料は、ジメチルヒドラジン、トリメチルアルミニウム（ＴＭＡ）、塩化ハフニウム（ＨｆＣｌ４）、塩化ジルコニウム（ＺｒＣｌ４）、三塩化インジウム、一塩化インジウム、三塩化アルミニウム、ヨウ化チタン、タングステンカルボニル、Ｂａ（ＤＰＭ）２、ビスジピバロイルメタナトストロンチウム（Ｓｒ（ＤＰＭ）２）、ＴｉＯ（ＤＰＭ）２、テトラジピバロイルメタナトジルコニウム（Ｚｒ（ＤＰＭ）４）、デカボラン、オクタデカボラン、ホウ素、マグネシウム、ガリウム、インジウム、アンチモン、銅、リン、ヒ素、リチウム、ナトリウムテトラフルオロボラート、アルキルアミジネートリガンドを組み込んだ前駆体、有機金属前駆体、ジルコニウムターシャリブトキシド（Ｚｒ（ｔ－ＯＢｕ）４）、テトラキスジエチルアミノジルコニウム（Ｚｒ（Ｎｅｔ２）４）、テトラキスジエチルアミノハフニウム（Ｈｆ（Ｎｅｔ２）４）、テトラキス（ジメチルアミノ）チタン（ＴＤＭＡＴ）、ターシャリブチルイミノトリス（ジエチルアミノ）タンタル（ＴＢＴＤＥＴ）、ペンタキス（ジメチルアミノ）タンタル（ＰＤＭＡＴ）、ペンタキス（エチルメチルアミノ）タンタル（ＰＥＭＡＴ）、テトラキスジメチルアミノジルコニウム（Ｚｒ（ＮＭｅ２）４）、ハフニウムターシャリブトキシド（Ｈｆ（ｔＯＢｕ）４）、二フッ化キセノン（ＸｅＦ２）、四フッ化キセノン（ＸｅＦ４）、六フッ化キセノン（ＸｅＦ６）のうちの少なくとも１つ、またはこれらの任意の組み合わせからなる群を含み、これらからなり、もしくは本質的にこれらからなり、または選択される。
【0033】
いくつかの実施形態では、前駆体材料は、デカボラン、四塩化ハフニウム、四塩化ジルコニウム、三塩化インジウム、金属有機β－ジケトネート錯体、六フッ化タングステン、シクロペンタジエニルシクロヘプタトリエニルチタン（ＣｐＴｉＣｈｔ）、三塩化アルミニウム、ヨウ化チタン、シクロオクタテトラエンシクロ－ペンタジエニルチタン、ビスシクロペンタジエニルチタンジアジド、トリメチルガリウム、トリメチルインジウム、トリメチルアルミニウムのようなアルキルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリメチルアミンアラン、ジメチル亜鉛、テトラメチルスズ、トリメチルアンチモン、ジエチルカドミウム、タングステンカルボニルのうちの少なくとも１つ、またはこれらの任意の組み合わせからなる群を含み、これらからなり、もしくは本質的にこれらからなり、または選択される。
【0034】
いくつかの実施形態では、前駆体は、金属単体、金属ハロゲン化物、金属オキシハロゲン化物、金属有機錯体のうちの少なくとも１つ、またはこれらの任意の組み合わせからなる群を含み、これらからなり、もしくは本質的にこれらからなり、または選択される。例えば、いくつかの実施形態では、前駆体材料は、ホウ素単体、銅、リン、デカボラン、ハロゲン化ガリウム、ハロゲン化インジウム、ハロゲン化アンチモン、ハロゲン化ヒ素、ハロゲン化ガリウム、ヨウ化アルミニウム、ヨウ化チタン、ＭｏＯ２Ｃｌ２、ＭｏＯＣｌ４、ＭｏＣｌ５、ＷＣｌ５、ＷＯＣｌ４、ＷＣｌ６、シクロペンタジエニルシクロヘプタトリエニルチタン（ＣｐＴｉＣｈｔ）、シクロオクタテトラエンシクロペンタ－ジエニルチタン、ビスシクロペンタジエニルチタン－ジアジド、Ｉｎ（ＣＨ３）２（ｈｆａｃ）、ジブロモメチルスチビン、タングステンカルボニル、金属有機β－ジケトネート錯体、金属有機アルコキシド錯体、金属有機カルボキシレート錯体、金属有機アリール錯体、金属有機アミド錯体のうちの少なくとも１つ、またはこれらの任意の組み合わせからなる群を含み、これらからなり、もしくは本質的にこれらからなり、または選択される。
【0035】
いくつかの実施形態では、前駆体材料は、例えば、これらに限定されないが、デカボラン（Ｂ１０Ｈ１４）、ペンタボラン（Ｂ５Ｈ９）、オクタデカボラン（Ｂ１８Ｈ２２）、ホウ酸（Ｈ３ＢＯ３）、ＳｂＣｌ３、ＳｂＣｌ５のうちの少なくとも１つ、または、これらの任意の組み合わせを含む溶媒内で加熱または可溶化することによって液化させることができる任意のタイプのソース材料のうちの少なくとも１つを含み、これらからなり、もしくは本質的にこれらからなり、または、これらからなる群から選択される。いくつかの実施形態では、前駆体材料は、ＡｓＣｌ３、ＡｓＢｒ３、ＡｓＦ３、ＡｓＦ５、ＡｓＨ３、Ａｓ４Ｏ６、Ａｓ２Ｓｅ３ｍＡｓ２Ｓ２、Ａｓ２Ｓ３、Ａｓ２Ｓ５、Ａｓ２Ｔｅ３、Ｂ４Ｈ１１、Ｂ４Ｈ１０、Ｂ３Ｈ６Ｎ３、ＢＢｒ３、ＢＣｌ３、ＢＦ３、ＢＦ３．Ｏ（Ｃ２Ｈ５）２、ＢＦ３．ＨＯＣＨ３、Ｂ２Ｈ６、Ｆ２、ＨＦ、ＧｅＢｒ４、ＧｅＣｌ４、ＧｅＦ４、ＧｅＨ４、Ｈ２、ＨＣｌ、Ｈ２Ｓｅ、Ｈ２Ｔｅ、Ｈ２Ｓ、ＷＦ６、ＳｉＨ４、ＳｉＨ２Ｃｌ２、ＳｉＨＣｌ３、ＳｉＣｌ４、ＳｉＨ３Ｃｌ、ＮＨ３、ＮＨ３、Ａｒ、Ｂｒ２、ＨＢｒ、ＢｒＦ５、ＣＯ２、ＣＯ、ＣＯＣｌ２、ＣＯＦ２、Ｃｌ２、ＣｌＦ３、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８、Ｃ４Ｆ８、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３、ＣＨ２Ｆ２、ＣＨ３Ｆ、ＣＨ４、ＳｉＨ６、Ｈｅ、ＨＣＮ、Ｋｒ、Ｎｅ、Ｎｉ（ＣＯ）４、ＨＮＯ３、ＮＯ、Ｎ２、ＮＯ２、ＮＦ３、Ｎ２Ｏ、Ｃ８Ｈ２４Ｏ４Ｓｉ４、ＰＨ３、ＰＯＣｌ３、ＰＣｌ５、ＰＦ３、ＰＦＳ、ＳｂＨ３、ＳＯ２、ＳＦ６、ＳＦ４、Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４、Ｃ４Ｈｌ６Ｓｉ４Ｏ４、Ｓｉ（ＣＨ３）４、ＳｉＨ（ＣＨ３）３、ＴｉＣｌ４、Ｘｅ、ＳｉＦ４、ＷＯＦ４、ＴａＢｒ５、ＴａＣｌ５、ＴａＦ５、Ｓｂ（Ｃ２Ｈ５）３、Ｓｂ（ＣＨ３）３、Ｉｎ（ＣＨ３）３、ＰＢｒ５、ＰＢｒ３、ＲｕＦ５のうちの少なくとも１つのうちの少なくとも１つ、またはこれらの任意の組み合わせからなる群を含み、これらからなり、もしくはこれらから本質的になり、または選択される。
【0036】
いくつかの実施形態では、溶媒は、有機溶媒、無機溶媒、またはこれらの任意の組み合わせである。いくつかの実施形態では、溶媒は、ヒ素、リン、アンチモン、ゲルマニウム、インジウム、スズ、セレン、テルル、フッ素、炭素、ホウ素、アルミニウム、臭素、炭素、塩素、窒素、シリコン、タングステン、タンタル、ルテニウム、セレン、ニッケル、硫黄、またはこれらの任意の組み合わせの形態を含む。本開示から逸出することなく、他の前駆体材料が本明細書において使用されてもよいことが理解されよう。
【0037】
図２は、いくつかの実施形態による、前駆体送達システム２００の概略断面図である。前駆体送達システム２００は、引張力に基づいて材料レベルを測定または決定するのに有用であり得る。
【0038】
図２に示すように、前駆体送達システム２００は、アンプル２０２を含む。アンプル２０２は、内部容積部２０４を画定し、アンプルベース２０６と、アンプルベース２０６を囲むアンプル側壁２０８と、内部容積部２０４を封入するアンプル蓋２１２とを含む。内部容積部２０４は、１つまたは複数のトレイ２１４を保持するように寸法設定される。１つまたは複数のトレイ２１４は、ある量の前駆体材料を保持するように構成される。いくつかの実施形態では、導管２１０が含まれる。導管２１０は、流体（例えば、担体ガス）を内部容積部２０４内に導入するのに有用であり得る。図示する実施形態では、アンプル２０２は、単一アンプルの本体であり、全体的に円筒の形状である。他の実施形態では、アンプル５０２は、複数のアンプルからなる本体を有してもよく、および／または任意の他のアンプル形状を有してもよく、したがって、これらの他の実施形態のいくつかでは、アンプル２０２は、２つ以上の側壁を有してもよい。加えて、アンプルは、一体構造のものであってもよく、または構成要素のアセンブリであってもよい。
【0039】
アンプル２０２は、内部容積部２０４の上側部分内に、ロードセルアセンブリ２１６を含む。ロードセルアセンブリ２１６は、ロードセル２１８を含む。ロードセル２１８は、１つまたは複数のトレイ２１４上に存在または残存する前駆体材料の量を測定するように構成される。前駆体材料の量を測定するために、１つまたは複数のトレイ２１４は、１つまたは複数のトレイ２１４がロードセル２１８上に機械的力をかけるか、または及ぼすのに十分な構成でロードセル２１８に結合される。図示する実施形態では、ロードセル２１８は、１つまたは複数のトレイ２１４によって及ぼされる少なくとも引張力を測定するように構成される。引張力は、１つまたは複数のトレイ２１４上に存在または残存する前駆体材料の量に相関的である。いくつかの実施形態では、ロードセル２１８は、１つまたは複数のトレイ２１４からの入力引張力を出力シグナルに変換するように構成される。出力シグナルは、プロセッサによって受信されてもよい。プロセッサは、１つまたは複数のトレイ２１４上の前駆体材料の量を決定するために出力シグナルを処理し、任意選択により監視するように構成されてもよい。他の実施形態では、ロードセル２１８もまた、出力シグナルを処理するように構成される。
【0040】
いくつかの実施形態では、ロードセルアセンブリ２１６は、支持部材２２０を含む。支持部材２２０は、ロードセル２１８を１つまたは複数のトレイ２１４に結合するように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、支持部材２２０は、チューブ部材２２２とベースプレート２２４とを含む。チューブ部材２２２は、全体的に剛性の部材であってもよい。いくつかの実施形態では、例えば、チューブ部材２２２は、全体的に非弾性の部材であってもよい。チューブ部材２２２の長さは、１つまたは複数のトレイ２１４のうちの少なくとも１つの下方に少なくとも部分的に延びるのに十分なものであってもよい。いくつかの実施形態では、例えば、チューブ部材２２２は、ベースプレート２２４が最も底部のトレイの下方を延び、任意選択によりこれを支持するのに十分に１つまたは複数のトレイ２１４の下方を延びる。チューブ部材２２２は、近位端部と遠位端部とを有する。近位端部は、ロードセル２１８に結合される。遠位端部は、ベースプレート２２４に結合される。このようにして、チューブ部材２２２およびベースプレート２２４は、ロードセル２１８を１つまたは複数のトレイ２１４に結合してもよい。図示する実施形態では、ロードセル２１８は、チューブ部材２２２の近位端部にある雌ねじと結合するための雄ねじを含み、ベースプレート２２４は、チューブ部材２２２の遠位端部にある雌ねじと結合するための雄ねじを含む。本開示の範囲から逸出することなく、他の取り付け機構および他のタイプの支持部材が本明細書において使用されてもよいことが理解されよう。
【0041】
いくつかの実施形態では、ベースプレート２２４は、１つまたは複数のトレイ２１４を支持するのに十分に寸法設定および成形される。例えば、ベースプレート２２４は、少なくとも１つのトレイの底面の少なくとも一部の下方を、これに直接的にまたは間接的に接触して延びる平面状部材であってもよい。このようにして、１つまたは複数のトレイ２１４は、運動のいくらかの自由度を有してアンプル２０２内に配置されてもよい。すなわち、１つまたは複数のトレイ２１４は、アンプル２０２またはその任意の構成要素内で移動可能であってもよく、および／またはアンプル２０２またはその任意の構成要素に対して移動可能であってもよい。運動のこの自由度は、ロードセル２１８にかかる引張力が１つまたは複数のトレイ２１４上に存在する前駆体材料の量に伴って変化することを可能にする。換言すれば、ベースプレート２２４は、１つまたは複数のトレイ２１４に対して重量荷担していなければならない。例えば、いくつかの実施形態では、ベースプレート２２４は、ロードセル２１８から１つまたは複数のトレイ２１４を懸架するように構成される。すなわち、１つまたは複数のトレイ２１４は、ベースプレート２２４上に載置していてもよい。トレイのスタックが存在する場合、スタック内の各トレイは、互いに、または任意選択によりトレイ間のスペーサ上に載置してもよく、スペーサを含むトレイのスタックは、ベースプレート２２４上に載置してもよい。他の実施形態では、１つまたは複数のトレイ２１４は、チューブ部材２２２、ベースプレート２２４のうちの少なくとも１つ、またはこれらの任意の組み合わせに取り付けられてもよい（例えば、溶接、締結されるなど）。いくつかの実施形態では、１つまたは複数のトレイ２１４は、支持部材２２０に対して移動可能ではない。
【0042】
いくつかの実施形態では、ロードセルアセンブリ２１６は、シールされた筐体２２６を含む。シールされた筐体２２６は、例えば、前駆体送達システム２００の動作中、アンプル２０２内に存在する腐食環境および過酷な条件からロードセル２１８を保護するのに有用であり得る。シールされた筐体２２６は、装置プレート２２８と側壁２３０とを含む。装置プレート２２８は、アンプル蓋２１２の内面に装置される。ロードセル２１８は、シールされた筐体２２６内の、アンプル蓋２１２の内面と装置プレート２２８との間に含まれる。機械的締結具が、装置プレート２２８をアンプル蓋２１２に取り付けるために使用されてもよい。機械的締結具の例は、それだけに限定されないが、ねじ、ナットおよびボルト、クラスプなどを含む。本開示から逸脱することなく、他のタイプの機械的締結具ならびに機械的締結具以外の取り付け機構が、本明細書において使用されてもよいことが理解されよう。例えば、いくつかの実施形態では、装置プレート２２８および／またはロードセル２１８は、アンプル蓋２１２に溶接される。いくつかの実施形態では、シールされた筐体２２６は含まれない。例えば、いくつかの実施形態では、側壁２３０は含まれない。
【0043】
いくつかの実施形態では、シールされた筐体２２６は、さまざまな構成要素が通過するように寸法設定および成形された１つまたは複数の孔を含む。例えば、図示するように、シールされた筐体２２６は、側壁２３０のうちの少なくとも１つ内の少なくとも１つの孔と、装置プレート２２８内の少なくとも１つの孔とを含む。ロードセル２１８から延びるワイヤリード２３２が、側壁内の孔を通過してもよい。チューブ部材２２２は、装置プレート２２８内の孔を通過してもよい。アンプル蓋２１２は、とりわけ電源との接続のためのワイヤリード２３２の通過を可能にするようにさらに適合されてもよい。例えば、いくつかの実施形態では、ワイヤリード２３２は、アンプル蓋２１２内に形成された導管２３４を通過してもよい。ワイヤリード２３２は、アンプル蓋２１２の外部を延びてもよい。いくつかの実施形態では、密閉式にシールされた接続２３６が、ワイヤリード２３２の端部に嵌合される。
【0044】
いくつかの実施形態では、ロードセルアセンブリ２１６は、シーリング部材２３８、２４０を含む。シーリング部材２３８、２４０は、例えばシールされた筐体２２６内で、ロードセル２１８の移動を限定するのに有用であり得る。シーリング部材２３８、２４０は、力を感知するために移動の自由度を必要としないロードセルに有用であり得る。例えば、シーリング部材２３８、２４０は、１つまたは複数の内部ダイヤフラム要素を含むロードセルに有用であり得る。内部ダイヤフラム要素は、ロードセル２１８上にかかる力の測定を可能にするのに十分な機械的力に応答して曲がるように構成されてもよい。例えば、ロードセル２１８では、内部ダイヤフラム要素は、１つまたは複数のトレイ２１４によって及ぼされる機械的力に応答して、引っ張り、圧縮、またはこれらの任意の組み合わせを受けるように構成されてもよい。図示する実施形態では、シーリング部材２３８は、ロードセル２１８とアンプル蓋２１２との間に配置され、シーリング部材２４０は、ロードセル２１８と装置プレート２２８との間に配置される。他の実施形態では、ロードセル２１８は、シールされた筐体２２６および／または装置プレート２２８内で移動することが可能にされてもよい。例えば、いくつかの実施形態では、ロードセル２１８は、内部ダイヤフラム要素または他の同様の要素が無い場合、シールされた筐体２２６内で移動のいくらかの自由度を必要とし得る。
【0045】
本開示から逸出することなく、他の構成要素および取り付け機構が、本明細書において使用されてもよいことが理解されよう。いくつかの実施形態では、例えば、ロードセル２１８の本体は、装置プレート２２８無しでおよび／またはシールされた筐体２２６無しでアンプル２０２に取り付けられる。いくつかの実施形態では、シールされた筐体２２６は、アンプルの側壁２０８に取り付けられる。いくつかの実施形態では、シールされた筐体２２６は、アンプル側壁２０８およびアンプル蓋２１２に取り付けられる。いくつかの実施形態では、前駆体送達システム２００は、シールされた筐体２２６を備えない。例えば、これらの実施形態のいくつかでは、ロードセル２１８は、コーティングを含む。コーティングは、アンプル２０２内に存在する腐食環境および過酷な条件からロードセル２１８を保護するために、ロードセル２１８の露出面上に配置されてもよい。したがって、いくつかの実施形態では、コーティングは、耐食性材料を含む。他の実施形態では、コーティングは、不活性材料、非反応性材料、耐食性材料のうちの少なくとも１つ、またはこれらの任意の組み合わせを含んでもよく、またはさらに含んでもよい。一実施形態では、コーティングは、セラミック（例えばＡｌ２Ｏ３）または高分子（例えばＰＴＦＥ）である。いくつかの実施形態では、トレイ２１４は、そのコーティングによってコーティングされる。トレイ２１４は、ステンレス鋼、グラファイト、または当業者に知られている他の材料であってもよい。
【0046】
図３は、いくつかの実施形態による、前駆体送達システム３００の概略断面図である。前駆体送達システム３００は、引張力に基づいて材料レベルを測定または決定するのに有用であり得る。前駆体送達システム３００は、前駆体送達システム２００と同じか、または同様である。したがって、同様の参照番号が使用される。前駆体送達システム２００と３００との間の相違のいくつかが、論じられる。しかし、本開示の範囲から逸脱することなく、他の相違が存在し得ることが理解されよう。
【0047】
図３に示すように、前駆体送達システム３００は、アンプル３０２とロードセルアセンブリ３１６とを含む。アンプル３０２は、内部容積部３０４を画定する。アンプル３０２は、内部容積部３０４を封入するアンプル蓋３１２と、内部容積部３０４内に配置された１つまたは複数のトレイ３１４とを含む。ロードセルアセンブリ３１６は、少なくとも引張力を測定するためのロードセル３１８と、装置プレート３２８と、チューブ部材３２２およびベースプレート３２４を含む支持部材３２０とを含む。図示する実施形態では、ロードセル３１８は、内部容積部３０４の外部にあり、装置プレート３２８とアンプル蓋３１２との間に配置される。チューブ部材３２２は、ベースプレート３２４をロードセル３１８に結合する。ロードセル３１８がアンプル３０２の外側に位置しているとき、チューブ部材３２２のための孔が、アンプル蓋３１２内に形成される。チューブ部材３２２は、ロードセル３１８から、孔を通ってアンプル３０２の内部容積部３０４内に延びる。この配置および構成の少なくとも１つの利点は、ロードセルが前駆体材料の蒸発に伴われる腐食環境および／または過酷な条件に晒されないことである。いくつかの実施形態では、これは、シールされた筐体、耐食性コーティング、またはこれらの任意の組み合わせの必要性を取り除き得る。
【0048】
【0049】
図４は、いくつかの実施形態による、前駆体送達システム４００の概略断面図である。前駆体送達システム４００は、引張力に基づいて材料レベルを測定または決定するのに有用であり得る。前駆体送達システム４００は、前駆体送達システム２００、３００と同じか、または同様である。したがって、同様の参照番号が使用される。前駆体送達システム２００、３００、４００間の相違のいくつかが、論じられる。しかし、本開示の範囲から逸脱することなく、他の相違が存在し得ることが理解されよう。
【0050】
図４に示すように、前駆体送達システム４００は、アンプル４０２とロードセルアセンブリ４１６とを含む。アンプル４０２は、内部容積部４０４を画定する。アンプル４０２は、内部容積部４０４を封入するアンプル蓋４１２と、内部容積部４０４内に配置された１つまたは複数のトレイ４１４とを含む。アンプル蓋４１２は、その表面内に形成された凹状空洞４５０を含む。凹状空洞は、ロードセル４１８の少なくとも一部を保持するのに十分に寸法設定および／または成形されてもよい。ロードセルアセンブリ４１６は、少なくとも引張力を測定するためのロードセル４１８と、装置プレート４２８と、チューブ部材４２２およびベースプレート４２４を含む支持部材４２０とを含む。図示する実施形態では、ロードセル４１８は、凹状空洞４５０内の、装置プレート４２８とアンプル蓋４１２との間に配置される。チューブ部材４２２は、ベースプレート４２４をロードセル４１８に結合する。ロードセル４１８がアンプル４０２の外側に位置しているとき、チューブ部材４２２のための孔が、アンプル蓋４１２内に形成される。チューブ部材４２２は、ロードセル４１８から、孔を通ってアンプル４０２の内部容積部４０４内に延びる。この配置および構成は、前駆体送達システム２００、３００と同様の利点を有してもよく、さらに、シールされた筐体、耐食性コーティング、またはこれらの任意の組み合わせの必要性を取り除き得る。
【0051】
【0052】
図５は、いくつかの実施形態による、前駆体送達システム５００の概略断面図である。前駆体送達システム５００は、圧縮力に基づいて材料レベルを測定または決定するのに有用であり得る。
【0053】
図５に示すように、前駆体送達システム５００は、内部容積部５０４を画定するアンプル５０２を含む。アンプル５０２は、アンプルベース５０６と、アンプルベース５１０を囲むアンプル側壁５０８と、内部容積部５０４を封入するアンプル蓋５１２とを含む。内部容積部５０４は、１つまたは複数のトレイ５１４を保持するように寸法設定される。１つまたは複数のトレイ５１４は、ある量の前駆体材料を保持するように構成される。図示する実施形態では、アンプル５０２は、単一アンプルの本体であり、全体的に円筒の形状である。他の実施形態では、アンプル５０２は、複数のアンプルからなる本体を有してもよく、および／または任意の他のアンプル形状を有してもよく、したがって、これらの他の実施形態のいくつかでは、アンプル５０２は、２つ以上の側壁を有してもよい。加えて、アンプルは、一体構造のものであってもよく、または構成要素のアセンブリであってもよい。
【0054】
前駆体送達システム５００は、ロードセルアセンブリ５１６を含む。ロードセルアセンブリ５１６は、内部容積部の外部にある、装置プレート５２８とアンプル蓋５１２との間に配置されたロードセル５１８を含む。いくつかの実施形態では、ロードセル５１８は、貫通孔ロードセル（例えばドーナツ型ロードセル）である。ロードセル５１８は、１つまたは複数のトレイ５１４上に存在または残存する前駆体材料の量を測定するように構成される。前駆体材料の量を測定するために、１つまたは複数のトレイ５１４は、１つまたは複数のトレイ５１４がロードセル５１８上に機械的力をかけるか、または及ぼすのに十分な構成でロードセル５１８に結合される。図示する実施形態では、ロードセル５１８は、１つまたは複数のトレイ５１４によって及ぼされる少なくとも圧縮力を測定するように構成される。圧縮力は、１つまたは複数のトレイ５１４上に存在または残存する前駆体材料の量に相関的である。いくつかの実施形態では、ロードセル５１８は、１つまたは複数のトレイ５１４からの入力圧縮力を出力シグナルに変換するように構成される。出力シグナルは、プロセッサによって受信されてもよい。プロセッサは、１つまたは複数のトレイ５１４上の前駆体材料の量を決定するために出力シグナルを処理し、任意選択により監視するように構成されてもよい。他の実施形態では、ロードセル５１８もまた、出力シグナルを処理するように構成される。
【0055】
いくつかの実施形態では、ロードセルアセンブリ５１６は、支持部材５２０を含む。支持部材５２０は、ロードセル５１８を１つまたは複数のトレイ５１４に結合するように構成されてもよい。いくつかの実施形態では、支持部材５２０は、チューブ部材５２２を含む。チューブ部材５２２は、全体的に剛性の部材であってもよい。いくつかの実施形態では、例えば、チューブ部材５２２は、全体的に非弾性の部材である。チューブ部材５２２は、ロードセル５１８を１つまたは複数のトレイ５１４に結合し、いくつかの実施形態では、流体の流れ（例えば担体ガスの流れ）のための通路を画定してもよい。図示する実施形態では、チューブ部材５２２は、弁５２４に結合された近位端部と、アンプル５０２の内部容積部５０４内に開く遠位端部とを有する。チューブ部材５２２の長さは、１つまたは複数のトレイ５１４のうちの少なくとも１つの下方を少なくとも部分的に延びるのに十分であってもよい。ロードセル５１８が貫通孔ロードセルである実施形態では、チューブ部材５２２は、ロードセル５１８の貫通孔、装置プレート５２８内に形成された孔、およびアンプル蓋５１２内に形成された孔を通って内部容積部５０４内に延びてもよい。本開示の範囲から逸脱することなく、他の取り付け機構および他のタイプの支持部材が、本明細書において使用されてもよいことが理解されよう。
【0056】
いくつかの実施形態では、チューブ部材５２２は、１つまたは複数のトレイ５１４に取り付けられるように構成される。１つまたは複数のトレイ５１４をチューブ部材５２２に取り付けるか、または結合するための機構は、特に限定されない。任意のタイプの機械的締結具または他のタイプの取り付け機構が、本明細書において使用されてもよい。いくつかの実施形態では、１つまたは複数のトレイ５１４は、チューブ部材５２２に結合されてもよいが、別の形で１つまたは複数のトレイ５１４は、運動のいくらかの自由度を有してアンプル５０２内に配置されてもよい。すなわち、１つまたは複数のトレイ５１４は、アンプル５０２および／またはアンプル側壁５０８内で移動可能であってもよく、および／またはアンプル５０２および／またはアンプル側壁５０８に対して移動可能であってもよい。運動のこの自由度は、ロードセル５１８にかかる圧縮力が１つまたは複数のトレイ５１４上に存在する前駆体材料の量に伴って変化することを可能にする。換言すれば、チューブ部材５２２および／またはロードセル５１８は、１つまたは複数のトレイ５１４に対して重量荷担していなければならない。例えば、いくつかの実施形態では、１つまたは複数のトレイ５１４は、アンプル５０２またはアンプル側壁５０８に取り付けられず、それにより、１つまたは複数のトレイ５１４は、チューブ部材５２２から懸架される。いくつかの実施形態では、１つまたは複数のトレイ５１４は、支持部材５２０に対して移動可能ではない。
【0057】
いくつかの実施形態では、ロードセルアセンブリ５１６は、シーリング部材５３８、５４０を含む。シーリング部材５３８、５４０は、例えば装置プレート５２８とアンプル蓋５１２との間でロードセル５１８の移動を限定するのに有用であり得る。シーリング部材５３８、５４０は、力を感知するために移動の自由度を必要としないロードセルに有用であり得る。例えば、シーリング部材５３８、５４０は、１つまたは複数の内部ダイヤフラム要素を含むロードセルに有用であり得る。内部ダイヤフラム要素は、ロードセル５１８にかかる力の測定を可能にするのに十分な機械的力に応答して曲がるように構成されてもよい。例えば、ロードセル５１８では、内部ダイヤフラム要素は、１つまたは複数のトレイ５１４によって及ぼされる機械的力に応答して、引っ張り、圧縮、またはこれらの任意の組み合わせを受けるように構成されてもよい。図示する実施形態では、シーリング部材５３８は、ロードセル５１８とアンプル蓋５１２との間に配置され、シーリング部材５４０は、ロードセル５１８と装置プレート５２８との間に配置される。他の実施形態では、ロードセル５１８は、装置プレート５２８とアンプル蓋５１２との間内で移動することが可能にされてもよい。例えば、いくつかの実施形態では、ロードセル５１８は、内部ダイヤフラム要素または他の同様の要素が無い場合、装置プレート５２８とアンプル蓋５１２との間で移動のいくらかの自由度を必要とし得る。
【0058】
図６は、いくつかの実施形態による、前駆体送達システム６００の概略断面図である。前駆体送達システム６００は、圧縮力に基づいて材料レベルを測定または決定するのに有用であり得る。前駆体送達システム６００は、前駆体送達システム５００と同じか、または同様である。したがって、同様の参照番号が使用される。前駆体送達システム５００と６００との間の相違のいくつかが、論じられる。しかし、本開示の範囲から逸脱することなく、他の相違が存在し得ることが理解されよう。
【0059】
図６に示すように、前駆体送達システム６００は、アンプル６０２とロードセルアセンブリ６１６とを含む。アンプル６０２は、内部容積部６０４を画定する。アンプル６０２は、内部容積部６０４を封入するアンプル蓋６１２と、内部容積部６０４内に配置された１つまたは複数のトレイ６１４とを含む。アンプル蓋６１２は、その表面内に形成された凹状空洞６５０を含む。凹状空洞は、ロードセル６１８の少なくとも一部を保持するか、または含むのに十分に寸法設定および／または成形されてもよい。ロードセルアセンブリ６１６は、少なくとも圧縮力を測定するためのロードセル６１８と、装置プレート６２８と、チューブ部材６２２を含む支持部材６２０とを含む。図示する実施形態では、ロードセル６１８は、凹状空洞６５０内の、装置プレート６２８とアンプル蓋６１２との間に配置される。チューブ部材６２２は、ロードセル６１８を１つまたは複数のトレイ６１４に結合する。ロードセル６１８がアンプル６０２の外側に位置しているとき、チューブ部材６２２のための孔が、アンプル蓋６１２内に形成される。チューブ部材６２２は、弁６２４から、ロードセル６１８の貫通孔を通り、アンプル蓋６１２内に形成された孔を通ってアンプル６０２の内部容積部６０４内に延びる。
【0060】
【0061】
図７は、いくつかの実施形態による、前駆体送達システム７００の概略断面図である。図示するように、前駆体送達システム７００は、蒸気ドロー構成に基づく。蒸気ドロー構成では、前駆体送達システム７００は、担体ガスの流れのための通路を含んでもよいが、これは必要ではない。他の実施形態では、前駆体送達システム７００は、担体ガス構成に基づく。担体ガス構成では、前駆体送達システム７００は、担体ガスの流れのための通路を含む。通路は、トレイ、前駆体送達システム７００内のトレイの構成および配置、またはこれらの任意の組み合わせ内に形成されてもよい（またはそれによって画定されてもよい）。
【0062】
前駆体送達システム７００は、複数のアンプルからなる本体７０２を含む。複数のアンプルからなる本体７０２は、第１のアンプル７０４と第２のアンプル７０６とを含む。第１のアンプル７０４は、アンプルベース７０８と、アンプルベース７０８を囲むアンプル側壁７０９とを含んでもよい。アンプルベース７０８は、複数のアンプルからなる本体７０２の底面を形成してもよい。第１のアンプル７０４および第２のアンプル７０６は、リム開口部７１０によって接続されてもよい。第２のアンプル７０６は、アンプル側壁７１１と、アンプル蓋７１２とを含んでもよい。アンプル蓋７１２は、複数のアンプルからなる本体７０２の内部容積部７１４を封入してもよい。内部容積部７１４は、第１のアンプル７０４および第２のアンプル７０６の長さの少なくとも一部に沿って延びてもよい。他の実施形態では、前駆体送達システム７００は、単一アンプルの本体であってもよい。例えば、前駆体送達システム７００は、第１のアンプル７０４または第２のアンプル７０６のうちの１つなどの１つだけのアンプルを含んでもよい。
【0063】
複数のアンプルからなる本体７０２は、１つまたは複数のトレイ７１６およびロードセル７１８を保持するのに十分に寸法設定される。１つまたは複数のトレイ７１６は、ある量の前駆体材料を保持するように構成される。１つまたは複数のトレイ７１６は、ロードセル７１８上に配置されてもよい。例えば、１つまたは複数のトレイ７１６は、１つまたは複数のトレイ７１６上に存在する材料の量を測定するのに十分な構成でロードセル７１８上に配置されてもよい。いくつかの実施形態では、１つまたは複数のトレイ７１６は、１つまたは複数のトレイがロードセル７１８上に機械的力を及ぼすのに十分な構成でロードセル７１８上に配置されてもよい。いくつかの実施形態では、ロードセル７１８は、１つまたは複数のトレイ７１６に対して重量荷担しており、または重量荷担構成にある。いくつかの実施形態では、１つまたは複数のトレイ７１６は、ロードセル７１８の表面上に直接配置される。他の実施形態では、１つまたは複数のトレイ７１６は、ロードセル７１８の表面上に直接配置されない。これらの他の実施形態のいくつかにおいて、ロードセル７１８に結合された表面は、１つまたは複数のトレイ７１６に対して重量荷担している。
【0064】
本明細書で使用する専門用語は、実施形態を説明することを意図しており、限定的であることは意図しない。用語「１つ（ａ）」、「１つ（ａｎ）」、および「その」は、別途明確に示されない限り、複数形も同様に含む。本明細書で使用するときの用語「含む」および／または「備えている」は、言及した特徴、整数、ステップ、動作、要素、および／または構成要素の存在を明記するが、１つまたは複数の他の特徴、整数、ステップ、動作、要素、および／または構成要素の存在または追加を排除しない。
【0065】
本開示の範囲から逸脱することなく、使用される材料の構造、ならびに部材の形状、サイズ、および配置に対して変更が加えられてもよいことを理解されたい。本明細書の論議および実施形態は例として提供され、本開示の範囲および趣旨は、以下の特許請求の範囲によって示されている。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【手続補正書】
【提出日】2024-07-05
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
前駆体送達システムであって、アンプルと、
アンプル内に配置されている少なくとも１つのトレイと、
少なくとも１つのトレイに結合されたロードセルと
を含み、
ロードセルは、少なくとも１つのトレイがロードセル上に機械的力を及ぼすのに十分な構成で少なくとも１つのトレイに結合されており、
機械的力は、少なくとも１つのトレイ上に存在する前駆体材料の量に相関的である、前駆体送達システム。
【請求項2】
ロードセルが、アンプル内に配置されている、請求項１に記載の前駆体送達システム。
【請求項3】
支持部材をさらに含み、
支持部材は、少なくとも１つのトレイがロードセル上に機械的力を及ぼすのに十分な構成で少なくとも１つのトレイをロードセルに結合している、請求項１に記載の前駆体送達システム。
【請求項4】
少なくとも１つのトレイが支持部材に取り付けられている、請求項３に記載の前駆体送達システム。
【請求項5】
前駆体送達システムであって、アンプルと、
アンプル内に配置されているロードセルと、
ロードセル上に配置されている少なくとも１つのトレイと
を含み、
少なくとも１つのトレイは、少なくとも１つのトレイがロードセル上に機械的力を及ぼすのに十分な構成でロードセル上に配置されており、
機械的力は、少なくとも１つのトレイ上に存在する材料の量に相関的である、前駆体送達システム。
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図3】
【手続補正3】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図5】
【手続補正4】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図6】
【手続補正5】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図7】
【国際調査報告】