特表2024-538225基板を処理する際の均一性を制御するためのフェーズドアレイアンテナおよび方法

発明の名称　基板を処理する際の均一性を制御するためのフェーズドアレイアンテナおよび方法

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 125 位（248件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 134 位（200件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2024-538225

公報発行日　2024年10月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2024-538225

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