特表 2024-538370 移動制限特徴部を含むレチクルポッドおよびその組み立て方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-10-18

(54)【発明の名称】移動制限特徴部を含むレチクルポッドおよびその組み立て方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20241010BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024527227

(86)(22)【出願日】2022-11-07

(85)【翻訳文提出日】2024-07-02

(86)【国際出願番号】 US2022049137

(87)【国際公開番号】W WO2023086297

(87)【国際公開日】2023-05-19

(31)【優先権主張番号】63/277,188

(32)【優先日】2021-11-09

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ラシュク， ラス ヴィ．

(72)【発明者】

【氏名】ワイズマン， ブライアン

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131BA13

5F131CA12

5F131GA13

5F131GA24

5F131GA32

5F131GA52

5F131GA63

5F131GA84

(57)【要約】

レチクルポッドは、内側ポッドを含み、ここで、移動制限特徴部が、カバーおよびベースプレートの互いに対する並進移動を規制する。移動制限特徴部は、内側ポッドに含まれたグロス位置合せ特徴部に付加されるものである。移動制限特徴部は、グロス位置合せ特徴部が並進移動に抵抗する前に、移動に抵抗する。移動制限特徴部は、接触面に対する摩擦を提供する弾性体、あるいは弾性接触面上でまたはダイヤフラムもしくは移動制限カップ中で受けられるピンを含むことができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを備え、
前記内側ポッドが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と複数の移動制限特徴部とを含み、前記複数の移動制限特徴部の各々が、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方中に形成された位置合せ保持カットアウトと、前記位置合せ保持カットアウト中に配設された弾性体とを含み、前記弾性体は、前記内側ポッドが組み立てられるときに前記ベースプレートと前記カバーの両方に接触するように構成され、
前記複数の移動制限特徴部は、前記ベースプレートまたは前記カバーの平面に平行な成分を有する力が前記内側ポッドに加えられるとき、前記複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、前記少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が前記力に対する抵抗を提供するより前に、前記力に対する抵抗を提供するように構成されている、
レチクルポッド。

【請求項2】

ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを備え、
前記内側ポッドが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と複数の移動制限特徴部とを含み、前記複数の移動制限特徴部の各々が、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方から延びる嵌合ピンと、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方に設けられた弾性接触面とを含み、前記嵌合ピンは、前記内側ポッドが組み立てられるときに前記弾性接触面に接触するように構成され、
前記複数の移動制限特徴部は、前記ベースプレートまたは前記カバーの平面に平行な成分を有する力が前記内側ポッドに加えられるとき、前記複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、前記少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が前記力に対する抵抗を提供するより前に、前記力に対する抵抗を提供するように構成されている、
レチクルポッド。

【請求項3】

前記弾性接触面が、弾性体に設けられ、前記弾性体は、前記嵌合ピンが前記弾性接触面に接触するように構成されている表面の反対側に中空部分を含む、請求項２に記載のレチクルポッド。

【請求項4】

前記嵌合ピンの各々が、嵌合ピンチャネル中に配設され、各嵌合ピンチャネルが、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの前記一方中に形成されている、請求項２または３に記載のレチクルポッド。

【請求項5】

ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを備え、
前記内側ポッドが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と複数の移動制限特徴部とを含み、前記複数の移動制限特徴部の各々が、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方中に配設されたダイヤフラムと、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方から延びるピンであって、前記ピンは、前記内側ポッドが組み立てられるときに前記ダイヤフラムに接触するように構成されている、ピンと
を含み、
前記ダイヤフラムが、前記カバーまたは前記ベースプレートの平面に直角な方向における変形に対する抵抗よりも大きい、前記カバーまたは前記ベースプレートと同一面の方向における変形に対する抵抗を有し、
前記ピンの各々が、前記複数のダイヤフラムのうちの１つに接触するように構成された端部においてテーパを有し、
前記複数の移動制限特徴部は、前記ベースプレートまたは前記カバーの平面に平行な成分を有する力が前記内側ポッドに加えられるとき、前記複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、前記少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が前記力に対する抵抗を提供するより前に、前記力に対する抵抗を提供するように構成されている、
レチクルポッド。

【請求項6】

前記移動制限特徴部の各々が、前記ダイヤフラムを収容するように構成された位置合せ保持カットアウトと、前記位置合せ保持カットアウト中に前記ダイヤフラムを保持するように構成された保持リングとを含む、請求項５に記載のレチクルポッド。

【請求項7】

前記ピンが、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの前記一方中に形成されたピンチャネル中に配設されている、請求項５または６に記載のレチクルポッド。

【請求項8】

ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを備え、
前記内側ポッドが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と複数の移動制限特徴部とを含み、前記複数の移動制限特徴部の各々が、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方から延びる移動制限ピンと、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方中に設けられた移動制限カップと
を含み、
前記移動制限ピンは、前記内側ポッドが組み立てられるときに前記移動制限カップの複数の異なる表面によって接触されるように構成され、
前記複数の移動制限特徴部は、前記ベースプレートまたは前記カバーの平面に平行な成分を有する力が前記内側ポッドに加えられるとき、前記複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、前記少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が前記力に対する抵抗を提供するより前に、前記力に対する抵抗を提供するように構成されている、
レチクルポッド。

【請求項9】

前記移動制限カップが、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方中に直接的に形成されている、請求項８に記載のレチクルポッド。

【請求項10】

前記移動制限カップが、インサート中に形成され、前記インサートが、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方中に形成された凹部中で受けられるように構成されている、請求項８または９に記載のレチクルポッド。

【請求項11】

レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法であって、
カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、前記カバーおよび前記ベースプレートのうちの他方と係合させることと、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方と係合させることであって、前記複数の移動制限特徴部が、複数の位置合せ保持カットアウトと複数の弾性体とを含み、各弾性体が、前記位置合せ保持カットアウトのうちの１つ中に配設され、前記複数の弾性体の各々は、前記内側ポッドが組み立てられるときに前記ベースプレートと前記カバーの両方に接触するように構成されている、複数の移動制限特徴部の各々を、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方と係合させることと
を含み、
前記カバーまたは前記ベースプレートと同一面の成分を有する力が、前記内側ポッドに作用するとき、前記移動制限特徴部の前記係合は、前記ベースプレートグロス位置合せ特徴部との前記カバーグロス位置合せ特徴部の前記係合が前記力の前記成分に対する抵抗を提供する前に、前記力の前記成分に対する抵抗を提供する、
方法。

【請求項12】

レチクルが、前記内側ポッド内に配置され、前記方法が、
前記レチクルポッドの外側ポッド内に前記内側ポッドを置き、前記レチクルポッドを密閉するために前記外側ポッドを固定することと、
前記内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すことと
をさらに含む、請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法であって、
カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、前記カバーおよび前記ベースプレートのうちの他方と係合させることと、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方と係合させることであって、前記複数の移動制限特徴部が、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方から延びる複数の嵌合ピンと、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方の複数の弾性接触面とを含み、前記複数の嵌合ピンの各々が、前記弾性接触面のうちの１つに接触するように構成された、複数の移動制限特徴部の各々を、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方と係合させることと
を含み、
前記カバーまたは前記ベースプレートと同一面の成分を有する力が、前記内側ポッドに作用するとき、前記移動制限特徴部の前記係合は、前記ベースプレートグロス位置合せ特徴部との前記カバーグロス位置合せ特徴部の前記係合が前記力の前記成分に対する抵抗を提供する前に、前記力の前記成分に対する抵抗を提供する、
方法。

【請求項14】

レチクルが、前記内側ポッド内に配置され、前記方法が、
前記レチクルポッドの外側ポッド内に前記内側ポッドを置き、前記レチクルポッドを密閉するために前記外側ポッドを固定することと、
前記内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すことと
をさらに含む、請求項１３に記載の方法。

【請求項15】

レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法であって、
カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、前記カバーおよび前記ベースプレートのうちの他方と係合させることと、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方と係合させることであって、前記複数の移動制限特徴部は、
複数のダイヤフラムであって、前記複数のダイヤフラムの各々が、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方中に配設された、複数のダイヤフラムと、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方から延びる複数のピンであって、前記複数のピンの各々は、前記内側ポッドが組み立てられるときに前記複数のダイヤフラムのうちの１つに接触するように構成された、複数のピンと
を含む、複数の移動制限特徴部の各々を、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方と係合させることと
を含み、
前記複数のダイヤフラムの各々が、前記カバーまたは前記ベースプレートの平面に直角な方向における変形に対する抵抗よりも大きい、前記カバーまたは前記ベースプレートと同一面の方向における変形に対する抵抗を有し、
前記ピンの各々が、前記複数のダイヤフラムのうちの１つに接触するように構成された端部においてテーパを有し、
前記カバーまたは前記ベースプレートと同一面の成分を有する力が、前記内側ポッドに作用するとき、前記移動制限特徴部の前記係合は、前記ベースプレートグロス位置合せ特徴部との前記カバーグロス位置合せ特徴部の前記係合が前記力の前記成分に対する抵抗を提供する前に、前記力の前記成分に対する抵抗を提供する、
方法。

【請求項16】

レチクルが、前記内側ポッド内に配置され、前記方法が、
前記レチクルポッドの外側ポッド内に前記内側ポッドを置き、前記レチクルポッドを密閉するために前記外側ポッドを固定することと、
前記内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すことと
をさらに含む、請求項１５に記載の方法。

【請求項17】

レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法であって、
カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、前記カバーおよび前記ベースプレートのうちの他方と係合させることと、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方と係合させることであって、前記複数の移動制限特徴部が、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方から延びる複数の移動制限ピンと、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方中に設けられた複数の移動制限カップと
を含む、複数の移動制限特徴部の各々を、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方と係合させることと
を含み、
前記複数の移動制限ピンの各々は、前記内側ポッドが組み立てられるときに前記複数の移動制限カップのうちの１つの複数の異なる表面によって接触されるように構成され、
前記カバーまたは前記ベースプレートと同一面の成分を有する力が、前記内側ポッドに作用するとき、前記移動制限特徴部の前記係合は、前記ベースプレートグロス位置合せ特徴部との前記カバーグロス位置合せ特徴部の前記係合が前記力の前記成分に対する抵抗を提供する前に、前記力の前記成分に対する抵抗を提供する、
方法。

【請求項18】

レチクルが、前記内側ポッド内に配置され、前記方法が、
前記レチクルポッドの外側ポッド内に前記内側ポッドを置き、前記レチクルポッドを密閉するために前記外側ポッドを固定することと、
前記内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すことと
をさらに含む、請求項１７に記載の方法。

【請求項19】

ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを備え、
前記内側ポッドが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と複数の移動制限特徴部とを含み、前記複数の移動制限特徴部の各々は、
前記内側ポッドが組み立てられるときに前記ベースプレートに面するように構成された、前記カバーの側面で前記カバーから延びるピンと、
前記ベースプレート中に形成されたスロットであって、前記スロットが、前記ピンを受けるように構成された、スロットと、
前記内側ポッドが組み立てられるときに前記カバーの反対側にある、前記ベースプレートの側面上の、前記スロットをカバーするように構成された可撓性部材であって、前記可撓性部材が、前記ピンの端部によって接触されるように構成された接触面を含み、前記可撓性部材は、前記接触面が前記ピンとの接触によってたわませられ得るように構成されている、可撓性部材と
を含む、レチクルポッド。

【請求項20】

前記内側ポッドが、前記移動制限特徴部のうちの少なくとも３つを含み、各スロットの長軸が、すべての他のスロットの前記長軸とは異なった方向に延びる、請求項１９に記載のレチクルポッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

優先権
本開示は、２０２１年１１月９日の出願日を有する米国仮特許第６３／２７７，１８８号の優先権を主張する。優先権書類は、参照により本明細書に組み込まれる。

【0002】

本開示は、レチクルポッド、詳細には、ファイン位置合せ特徴部ならびにグロス位置合せ特徴部を含むレチクルポッドを対象とする。

【背景技術】

【0003】

レチクルポッドは、レチクルを保持するために、たとえば、極端紫外線（ＥＵＶ）プロセスを含む、フォトリソグラフィなどの処理中にレチクルを固定するために使用され得る。レチクルポッドは、外側ポッドと内側ポッドとを含むことができ、内側ポッドは、カバーとベースプレートとを含む。カバーおよびベースプレートは、金属など、硬質材料から作られ得る。カバーおよびベースプレートの相対的な動きは、硬質材料のこすれを生じ得、これは、カバーおよびベースプレートの面が互いにこすれる摩耗による粒子の生成を生じる。

【発明の概要】

【0004】

本開示は、レチクルポッド、詳細には、ファイン位置合せ特徴部ならびにグロス位置合せ特徴部を含むレチクルポッドを対象とする。

【0005】

実施形態によるレチクルポッドは、たとえば、極端紫外線（ＥＵＶ）プロセスなどのプロセスにおいて使用され得る。移動制限特徴部が、レチクルポッドのカバーおよびベースプレートの相対位置決めを改善するために設けられ得る。移動制限特徴部は、カバーおよびベースプレートのより小さい相対的な動きを規制し、カバーとベースプレートのこすれを低減し、これにより、レチクルポッドの使用中の粒子生成を低減することができる。これは、レチクルポッドを使用して行われるプロセスの純度を改善し、歩留まりを増加させ、粒子汚染による損失、ポッド構成要素の位置合せ不良などを低減することができる。

【0006】

一実施形態では、レチクルポッドは、ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを含む。内側ポッドは、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と、複数の移動制限特徴部とを含む。複数の移動制限特徴部の各々は、カバーまたはベースプレートのうちの一方中に形成された位置合せ保持カットアウトと、位置合せ保持カットアウト中に配設された弾性体とを含む。弾性体は、内側ポッドが組み立てられるときにベースプレートとカバーの両方に接触するように構成される。複数の移動制限特徴部は、ベースプレートまたはカバーの平面に平行な成分を有する力が内側ポッドに加えられるとき、複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が力に対する抵抗を提供するより前に、力に対する抵抗を提供するように構成される。

【0007】

一実施形態では、レチクルポッドは、ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを含む。内側ポッドは、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と、複数の移動制限特徴部とを含む。複数の移動制限特徴部の各々は、カバーまたはベースプレートのうちの一方から延びる嵌合ピンと、カバーまたはベースプレートのうちの他方に設けられた弾性接触面とを含む。嵌合ピンは、内側ポッドが組み立てられるときに弾性接触面に接触するように構成される。複数の移動制限特徴部は、ベースプレートまたはカバーの平面に平行な成分を有する力が内側ポッドに加えられるとき、複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が力に対する抵抗を提供するより前に、力に対する抵抗を提供するように構成される。

【0008】

一実施形態では、弾性接触面は、弾性体に設けられ、弾性体は、嵌合ピンが前記弾性接触面に接触するように構成された表面の反対側に中空部分を含む。

【0009】

一実施形態では、嵌合ピンの各々は、嵌合ピンチャネル中に配設され、各嵌合ピンチャネルは、カバーまたはベースプレートのうちの一方中に形成される。

【0010】

一実施形態では、レチクルポッドは、ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを含む。内側ポッドは、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と、複数の移動制限特徴部とを含む。複数の移動制限特徴部の各々は、カバーまたはベースプレートのうちの一方中に配設されたダイヤフラムと、カバーまたはベースプレートのうちの他方から延びるピンであって、ピンが、内側ポッドが組み立てられるときにダイヤフラムに接触するように構成された、ピンとを含む。ダイヤフラムは、カバーまたはベースプレートの平面に直角な方向における変形に対する抵抗よりも大きい、カバーまたはベースプレートと同一面の方向における変形に対する抵抗を有する。ピンの各々は、複数のダイヤフラムのうちの１つに接触するように構成された端部においてテーパを有する。複数の移動制限特徴部は、ベースプレートまたはカバーの平面に平行な成分を有する力が内側ポッドに加えられるとき、複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が力に対する抵抗を提供するより前に、力に対する抵抗を提供するように構成される。

【0011】

一実施形態では、移動制限特徴部の各々は、ダイヤフラムを収容するように構成された位置合せ保持カットアウトと、位置合せ保持カットアウト中にダイヤフラムを保持するように構成された保持リングとを含む。

【0012】

一実施形態では、ピンは、カバーまたはベースプレートのうちの一方中に形成されたピンチャネル中に配設される。

【0013】

一実施形態では、レチクルポッドは、ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを含む。内側ポッドは、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と、複数の移動制限特徴部とを含む。複数の移動制限特徴部の各々は、カバーまたはベースプレートのうちの一方から延びる移動制限ピンと、カバーまたはベースプレートのうちの他方中に設けられた移動制限カップとを含む。移動制限ピンは、内側ポッドが組み立てられるときに移動制限カップの複数の異なる表面によって接触されるように構成される。複数の移動制限特徴部は、ベースプレートまたはカバーの平面に平行な成分を有する力が内側ポッドに加えられるとき、複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が力に対する抵抗を提供するより前に、力に対する抵抗を提供するように構成される。

【0014】

一実施形態では、移動制限カップは、カバーまたはベースプレートのうちの一方中に直接的に形成される。

【0015】

一実施形態では、移動制限カップは、インサート中に形成され、インサートは、カバーまたはベースプレートのうちの一方中に形成された凹部中で受けられるように構成される。

【0016】

一実施形態では、レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法は、カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、カバーおよびベースプレートのうちの他方と係合させることと、カバーまたはベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、カバーまたはベースプレートのうちの他方と係合させることとを含む。複数の移動制限特徴部は、複数の位置合せ保持カットアウトと複数の弾性体とを含む。各弾性体は、位置合せ保持カットアウトのうちの１つ中に配設され、複数の弾性体の各々は、内側ポッドが組み立てられるときにベースプレートとカバーの両方に接触するように構成される。カバーまたはベースプレートと同一面の成分を有する力が、内側ポッドに作用するとき、移動制限特徴部の係合は、ベースプレートグロス位置合せ特徴部とのカバーグロス位置合せ特徴部の係合が力の成分に対する抵抗を提供する前に、力の成分に対する抵抗を提供する。一実施形態では、レチクルは、内側ポッド内に配置され、方法は、レチクルポッドの外側ポッド内に内側ポッドを置き、レチクルポッドを密閉するために外側ポッドを固定することと、内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すこととをさらに含む。

【0017】

一実施形態では、レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法は、カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、カバーおよびベースプレートのうちの他方と係合させることと、カバーまたはベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、カバーまたはベースプレートのうちの他方と係合させることとを含む。複数の移動制限特徴部は、カバーまたはベースプレートのうちの一方から延びる複数の嵌合ピンと、カバーまたはベースプレートのうちの他方の複数の弾性接触面とを含む。複数の嵌合ピンの各々は、弾性接触面のうちの１つに接触するように構成される。カバーまたはベースプレートと同一面の成分を有する力が、内側ポッドに作用するとき、移動制限特徴部の係合は、ベースプレートグロス位置合せ特徴部とのカバーグロス位置合せ特徴部の係合が力の成分に対する抵抗を提供する前に、力の成分に対する抵抗を提供する。一実施形態では、レチクルは、内側ポッド内に配置され、方法は、レチクルポッドの外側ポッド内に内側ポッドを置き、レチクルポッドを密閉するために外側ポッドを固定することと、内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すこととをさらに含む。

【0018】

一実施形態では、レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法は、カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、カバーおよびベースプレートのうちの他方と係合させることと、カバーまたはベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、カバーまたはベースプレートのうちの他方と係合させることとを含む。複数の移動制限特徴部は、複数のダイヤフラムであって、複数のダイヤフラムの各々が、カバーまたはベースプレートのうちの一方中に配設された、複数のダイヤフラムと、カバーまたはベースプレートのうちの他方から延びる複数のピンとを含む。複数のピンの各々は、内側ポッドが組み立てられるときに複数のダイヤフラムのうちの１つに接触するように構成される。複数のダイヤフラムの各々は、カバーまたはベースプレートの平面に直角な方向における変形に対する抵抗よりも大きい、カバーまたはベースプレートと同一面の方向における変形に対する抵抗を有する。ピンの各々は、複数のダイヤフラムのうちの１つに接触するように構成された端部においてテーパを有する。カバーまたはベースプレートと同一面の成分を有する力が、内側ポッドに作用するとき、移動制限特徴部の係合は、ベースプレートグロス位置合せ特徴部とのカバーグロス位置合せ特徴部の係合が力の成分に対する抵抗を提供する前に、力の成分に対する抵抗を提供する。一実施形態では、レチクルは、内側ポッド内に配置され、方法は、レチクルポッドの外側ポッド内に内側ポッドを置き、レチクルポッドを密閉するために外側ポッドを固定することと、内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すこととをさらに含む。

【0019】

一実施形態では、レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法は、カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、カバーおよびベースプレートのうちの他方と係合させることと、カバーまたはベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、カバーまたはベースプレートのうちの他方と係合させることとを含む。複数の移動制限特徴部は、カバーまたはベースプレートのうちの一方から延びる複数の移動制限ピンと、カバーまたはベースプレートのうちの他方中に設けられた複数の移動制限カップとを含む。複数の移動制限ピンの各々は、内側ポッドが組み立てられるときに複数の移動制限カップのうちの１つの複数の異なる表面によって接触されるように構成される。カバーまたはベースプレートと同一面の成分を有する力が、内側ポッドに作用するとき、移動制限特徴部の係合は、ベースプレートグロス位置合せ特徴部とのカバーグロス位置合せ特徴部の係合が力の成分に対する抵抗を提供する前に、力の成分に対する抵抗を提供する。一実施形態では、レチクルは、内側ポッド内に配置され、方法は、レチクルポッドの外側ポッド内に内側ポッドを置き、レチクルポッドを密閉するために外側ポッドを固定することと、内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すこととをさらに含む。

【0020】

一実施形態では、レチクルポッドは、ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを含む。内側ポッドは、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と、複数の移動制限特徴部とを含む。複数の移動制限特徴部の各々は、内側ポッドが組み立てられるときにベースプレートに面するように構成された、カバーの側面でカバーから延びるピンと、ベースプレート中に形成されたスロットであって、スロットが、ピンを受けるように構成された、スロットと、内側ポッドが組み立てられるときにカバーの反対側にある、ベースプレートの側面上の、スロットをカバーするように構成された可撓性部材とを含む。可撓性部材は、ピンの端部によって接触されるように構成された接触面を含み、可撓性部材は、接触面がピンとの接触によってたわませられ得るように構成される。

【0021】

一実施形態では、内側ポッドは、移動制限特徴部のうちの少なくとも３つを含む。一実施形態では、各スロットの長軸は、すべての他のスロットの長軸とは異なった方向に延びる。

【0022】

一実施形態では、レチクルポッドは、ベースプレート中に形成されたベースプレート保持特徴をさらに含み、可撓性部材は、ベースプレート保持特徴と係合するように構成された可撓性部材保持特徴を含む。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】一実施形態による、レチクルポッドを示す図である。

【図2】一実施形態による、レチクルポッドの内側ポッドの断面図を示す図である。

【図3】一実施形態による、レチクルポッドの内側ポッドの断面図を示す図である。

【図4】一実施形態による、レチクルポッドの内側ポッドの断面図を示す図である。

【図5】一実施形態による、レチクルポッドのベースプレート中のダイヤフラムの平面図を示す図である。

【図6】一実施形態による、レチクルポッドの内側ポッドの断面図を示す図である。

【図7】一実施形態による、レチクルポッドの内側ポッドのベースプレートを示す図である。

【図8】一実施形態による、レチクルポッドの内側ポッドの断面図を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

本開示は、レチクルポッド、詳細には、ファイン位置合せ特徴部ならびにグロス位置合せ特徴部を含むレチクルポッドを対象とする。

【0025】

図１は、一実施形態による、レチクルポッドを示す。レチクルポッド１００は、レチクル１０２を収容するように構成される。レチクルポッド１００は外側ポッド１０４を含み、外側ポッド１０４は、ポッドドーム１０６とポッドドア１０８とを含む。レチクルポッド１００は、ベースプレート１１２とカバー１１４とを含む内側ポッド１１０をさらに含む。内側ポッド１１０は、グロス位置合せ特徴部１１６をさらに含む。

【0026】

レチクルポッド１００は、詳細には、たとえば、極端紫外線（ＥＵＶ）を含むフォトリソグラフィなどの処理のための移送、ハンドリング、および処理中にレチクルを格納するように構成されたポッドである。レチクルは、たとえば、半導体ウエハのためのフォトリソグラフィマスクである。レチクル１０２は、たとえば、移送、ハンドリング、またはＥＵＶなどのフォトリソグラフィによる処理などの処理のためにレチクルポッド１００内に含まれていることができるレチクルである。

【0027】

レチクルポッド１００は、外側ポッド１０４を含む。外側ポッド１０４は、内側ポッド１１０を収容するように構成される。外側ポッド１０４は、ポッドドーム１０６とポッドドア１０８とを含むことができる。外側ポッド１０４は、たとえば、ポリマー材料から作られ得る。ポッドドーム１０６およびポッドドア１０８は、ポッドドーム１０６およびポッドドア１０８が、たとえば、ラッチングメカニズム（図示せず）を介して、密閉空間を定義するために互いに固定され得るように構成され得る。

【0028】

内側ポッド１１０は、レチクル１０２を収容するように構成される。内側ポッド１１０は、内側ポッド１１０が外側ポッド１０４の中に置かれ得るようにサイズ決定され得る。内側ポッド１１０は、金属材料を含むことができ、たとえば、金属から作られる、コーティングを有する金属から作られる、１つまたは複数の金属成分を含む、などである。内側ポッド１１０は、ベースプレート１１２とカバー１１４とを含む。ベースプレート１１２およびカバー１１４は、内側ポッド１１０内にレチクル１０２を密閉するために一緒に置かれるように構成される。ベースプレート１１２およびカバー１１４は、以下で説明され、図２～図６に示されているように、ベースプレート１１２およびカバー１１４の位置合せのための特徴を含むことができる。位置合せのための特徴は、ベースプレート１１２およびカバー１１４が互いに接する接触面におけるこすれを低減するために、ベースプレート１１２およびカバー１１４の互いに対する相対的な動きを低減するように構成され得る。位置合せのための特徴は、内側ポッド１１０の組立をガイドするために使用されるグロス位置合せ特徴部１１６に付加されるものであり得る。一実施形態では、位置合せのための特徴は、グロス位置合せ特徴部１１６に設けられ得、たとえば、グロス位置合せ特徴部１１６の少なくとも一部分にショルダー、レッジ、または他のそのような特徴を設ける。

【0029】

グロス位置合せ特徴部１１６は、内側ポッド１１０の適切な組立を容易にするために、ベースプレート１１２およびカバー１１４の一方または両方に設けられ得る。グロス位置合せ特徴部は、内側ポッド１１０が組み立てられているときにベースプレート１１２およびカバー１１４の相対的な位置合せをガイドまたは律するのに適した任意の特徴であり得る。図１に示されている実施形態では、グロス位置合せ特徴部１１６は、カバー１１４の外周の部分におけるカバー１１４の伸張部であり、内側ポッド１１０が組み立てられるときにベースプレート１１２に面する、カバー１１４の表面に関して外側に突出する。図１に示されている実施形態では、グロス位置合せ特徴部１１６は、内側ポッド１１０が組み立てられるときにベースプレート１１２が受けられるエリアを定義する。一実施形態では、グロス位置合せ特徴部１１６は、ベースプレート１１２またはカバー１１４の隅角部に設けられ得る。一実施形態では、グロス位置合せ特徴部１１６は、ベースプレート１１２またはカバー１１４の隅角部以外の、ベースプレート１１２またはカバー１１４の外周の部分に設けられ得る。一実施形態では、グロス位置合せ特徴部１１６は、内側ポッド１１０が組み立てられるときに互いに係合する第１および第２のグロス位置合せ特徴部を含むことができる。使用され得る他のグロス位置合せ特徴部１１６は、非限定的な例として、たとえば、図６に示されており、以下で説明されるピンおよび対応するチャネルを含む。

【0030】

図２は、一実施形態による、レチクルポッドの内側ポッドの断面図を示す。内側ポッド２００は、カバー２０２を含む。カバー２０２は、接触面２０４を含む。レチクルポッド２００は、ベースプレート２０６をさらに含む。ベースプレート２０６は、位置合せ保持カットアウト２０８を含む。弾性体２１０が、位置合せ保持カットアウト２０８中に配設され得る。

【0031】

内側ポッド２００は、図１に示されており、上記で説明されたレチクルポッド１００の内側ポッドなど、レチクルポッドの内側ポッドである。内側ポッド２００は、レチクルポッドの外側ポッド内に嵌まるようにサイズ決定され得る。内側ポッド２００は、さらに、上記で説明され、図１に示されているレチクル１０２など、レチクルを含んでいることが可能な内部空間を定義するように構成され得る。

【0032】

カバー２０２は、上記で説明され、図１に示されているレチクルポッド１００のカバー１１４など、レチクルポッドのカバーである。カバー２０２は、カバー２０２およびベースプレート２０６が内側ポッド２００を形成するために組み立てられるとき、カバー２０２がベースプレート２０６および／または弾性体２１０の少なくとも一部分に接触するように構成された、接触面２０４を含む。一実施形態では、接触面２０４は、カバー２０２のベア材料である。一実施形態では、接触面２０４は、カバー２０２の材料上のコーティングを含むことができる。一実施形態では、接触面２０４は、カバー２０２の平坦な表面である。一実施形態では、接触面２０４は、実質的に滑らかな表面である。一実施形態では、接触面２０４は、テクスチャリングを含むことができ、テクスチャリングの非限定的な例は、溝、粗面化されたセクション、比較的隆起したバンプ、それらの組合せなどを含む。

【0033】

ベースプレート２０６は、内側ポッド２００のベースプレートである。ベースプレート２０６は、内側ポッド２００を形成するためにカバー２０２と接合されるように構成され、内側ポッド２００は、上記で説明され、図１に示されているレチクル１０２など、レチクルを含んでいることが可能な内部空間を提供する。ベースプレート２０６は、複数の位置合せ保持カットアウト２０８を含む。１つの代表的な位置合せ保持カットアウト２０８が、図２に示されているが、ベースプレート２０６は、複数のそのような保持カットアウト２０８を有することができる。一実施形態では、ベースプレート２０６は、少なくとも３つの位置合せ保持カットアウト２０８を含む。一実施形態では、ベースプレート２０６は、４つの位置合せ保持カットアウト２０８を含む。一実施形態では、位置合せ保持カットアウトは、ベースプレート２０６の外周の周りで分散され得る。一実施形態では、位置合せ保持カットアウトは、ベースプレート２０６の隅角部に近接して配置され得る。位置合せ保持カットアウト２０８は、各々、内側ポッド２００が組み立てられるときにカバー２０２に面する、ベースプレート２０６の表面中に形成された開口である。位置合せ保持カットアウト２０８は、各々、弾性体２１０が位置合せ保持カットアウト２０８中に保持され得、弾性体２１０の一部分がベースプレート２０６の表面から突き出るように弾性体２１０を収容するのに適した任意の形状を有することができる。一実施形態では、ベースプレート２０６に設けられた位置合せ保持カットアウト２０８のすべては、同じ形状を有する。一実施形態では、ベースプレート２０６に設けられた位置合せ保持カットアウト２０８のうちの少なくともいくつかは、互いに異なる形状を有することができる。

【0034】

弾性体２１０は、弾性材料から作られた物体であり、内側ポッドが組み立てられるとき、弾性体２１０の一部分が接触面２０４においてカバー２０２に接触することができるように、弾性体２１０の一部分が、ベースプレート２０６の表面より上に延びるように、位置合せ保持カットアウト２０８のうちの１つの中に置かれるように構成された物体である。弾性体２１０は、位置合せ保持カットアウト２０８の形状に基づく任意の好適な形状を有することができる。一実施形態では、弾性体２１０は、球状形状であり得る。実施形態では、内側ポッド２００中で使用される弾性体２１０は、各々、同じ形状を有することができる。実施形態では、異なる形状を有する弾性体２１０が、１つの内側ポッド２００中で使用され得る。弾性体２１０は、任意の好適な弾性または圧縮性材料を含むことができる。弾性または圧縮性材料は、内側ポッド２００内に含まれているレチクルの処理中の条件に耐えることが可能な材料であり得る。弾性または圧縮性材料は、非限定的な例として、フルオロエラストマーなどのエラストマーであり得る。

【0035】

図２は、カバー２０２に設けられている接触面２０４と、ベースプレート２０６に設けられている位置合せ保持カットアウト２０８とを示すが、接触面および位置合せ保持カットアウトは、接触面２０４がベースプレート２０６に含まれるように、および位置合せ保持カットアウト２０８がカバー２０２中に設けられ、弾性体２１０が、位置合せ保持カットアウト２０８中に置かれ、内側ポッド２００が組み立てられるときにベースプレート２０６に面するカバー２０２の表面から外側に延びるように、入れ替えられ得ることを理解されたい。

【0036】

内側ポッド２００が組み立てられるとき、接触面２０４は、弾性体２１０に接触し、圧縮する。接触面２０４と弾性体２１０との間の摩擦は、互いに対するカバー２０２およびベースプレート２０６の相対的な動きに抵抗する力を提供することができ、ここで、相対的な動きは、カバー２０２またはベースプレート２０６と同一面の成分を含む。これは、カバー２０２とベースプレート２０６との間のこすれ、および対応する粒子生成を低減することができる。

【0037】

接触面２０４および位置合せ保持カットアウト２０８および弾性体２１０は、カバー２０２およびベースプレート２０６を保持する移動制限特徴部を形成することができる。移動制限特徴部は、カバー２０２またはベースプレート２０６のうちの一方に設けられたグロス位置合せピン、およびカバー２０２またはベースプレート２０６のうちの他方の対応するグロス位置合せチャネルなど、図６に示されており、以下で論じられる第１および第２のグロス位置合せ特徴部など、内側ポッド２００にも含まれる第１および第２のグロス位置合せ特徴部とは別個であり、それらとは異なり得、ここで、グロス位置合せチャネルは、グロス位置合せピンを受ける。

【0038】

図３は、一実施形態による、レチクルポッドの内側ポッドの断面図を示す。内側ポッド３００は、カバー３０２を含む。カバー３０２は、嵌合ピン３０４を含む。図３に示されている実施形態では、嵌合ピン３０４は、嵌合ピンチャネル３０６中に配設される。内側ポッド３００は、ベースプレート３０８をさらに含む。ベースプレート３０８は、弾性接触面３１０を含む。図３に示されている実施形態では、弾性接触面３１０は、弾性体３１２に含まれる。弾性体３１２は、ベースプレート３０８中に形成された位置合せ保持カットアウト３１４中に配設され得る。

【0039】

内側ポッド３００は、図１に示されており、上記で説明されたレチクルポッド１００の内側ポッドなど、レチクルポッドの内側ポッドである。内側ポッド３００は、レチクルポッドの外側ポッド内に嵌まるようにサイズ決定され得る。内側ポッド３００は、さらに、上記で説明され、図１に示されているレチクル１０２など、レチクルを含んでいることが可能な内部空間を定義するように構成され得る。

【0040】

カバー３０２は、上記で説明され、図１に示されているレチクルポッド１００のカバー１１４など、レチクルポッドのカバーである。カバー３０２は、複数の嵌合ピン３０４を含む。各嵌合ピン３０４は、内側ポッド３００が組み立てられるときにベースプレート３０８に面する、カバー３０２の側面でカバー３０２から延びるピンである。嵌合ピン３０４の各々は、ベースプレート３０８に設けられた弾性接触面３１０に接触するように構成される。一実施形態では、嵌合ピン３０４は、カバー３０２と一体に形成される。一実施形態では、嵌合ピン３０４は、カバー３０２中に形成された嵌合ピンチャネル３０６中に配設された、カバー３０２とは別個の構成要素である。一実施形態では、嵌合ピン３０４の一部または全部は、カバー３０２とは別個に形成され、嵌合ピンチャネル３０６の中に挿入された嵌合ピンである。一実施形態では、嵌合ピンチャネル３０６中に配設された嵌合ピン３０４は、嵌合ピン３０４と嵌合ピンチャネル３０６との間の機械的接続によって固定され得る。一実施形態では、機械的接続は、プレス嵌めであり得る。一実施形態では、嵌合ピンチャネル３０６は、カバー３０２の厚さ全体を通って延びるスルーホールである。一実施形態では、嵌合ピンチャネルは、内側ポッド３００が組み立てられるときにベースプレート３０８に面する、カバー３０２の表面からあらかじめ決定された深さに形成される。

【0041】

ベースプレート３０８は、レチクルポッドのベースプレートである。ベースプレート３０８は、弾性接触面３１０が、内側ポッド３００が組み立てられるときにカバー３０２の嵌合ピン３０４の各々に接触するように設けられ得るように構成される。弾性接触面３１０は、内側ポッド３００が組み立てられるときにカバー３０２に面する、弾性材料から作られた、ベースプレート３０８に設けられた表面であり得、したがって、弾性接触面３１０は、カバー３０２に設けられた嵌合ピン３０４によって接触される。弾性接触面３１０は、内側ポッド３００が組み立てられるときにカバー３０２に面する、ベースプレート３０８の表面より上に持ち上げられるか、その表面と面一であるか、またはその表面に関して押下された表面であり得る。一実施形態では、少なくとも３つの弾性接触面３１０が、ベースプレート３０８に設けられ得る。一実施形態では、４つの弾性接触面３１０が、ベースプレート３０８に設けられ得る。一実施形態では、弾性接触面３１０は、ベースプレート３０８の隅角部に近接して設けられ得る。

【0042】

弾性接触面３１０は、ベースプレート３０８中に形成された位置合せ保持カットアウト３１４中に配設された弾性体３１２を使用して設けられ得る。弾性体３１２は、弾性接触面を含み、位置合せ保持カットアウト３１４中に保持されるように構成された任意の好適な形状を有する物体であり得る。位置合せ保持カットアウト３１４は、弾性体３１２の少なくとも一部分を受け取るのに適した任意の形状を有することができる。弾性体３１２は、非限定的な例として、フルオロエラストマーなどのエラストマーなど、任意の好適な弾性または圧縮性材料から作られ得る。弾性体３１２は、弾性材料から作られた物体である。一実施形態では、弾性体３１２は、位置合せ保持カットアウト３１４の中に挿入可能であるプラグである。一実施形態では、弾性体３１２は、位置合せ保持カットアウト３１４の外周よりも大きい外周を有するリップを含む。一実施形態では、弾性体３１２は、位置合せ保持カットアウト３１４に対応する形状を有する挿入部分を含み、したがって、プレス嵌めが、弾性体３１２とベースプレート３０８との間に形成され得る。一実施形態では、弾性体は、固体である。一実施形態では、弾性体３１２は、嵌合ピン３０４によって接触される、弾性体３１２の部分の反対側に中空セクションを含む。

【0043】

内側ポッド３００が組み立てられるとき、嵌合ピン３０４は、各々、弾性接触面３１０のうちの対応する１つに接触する。嵌合ピン３０４は、弾性接触面３１０の中に押し込まれ、この接触は、カバー３０２またはベースプレート３０８と同一面の成分がある、カバー３０２およびベースプレート３０８の相対的な移動を規制する。嵌合ピン３０４および弾性接触面３１０は、移動制限ピンおよびチャネルなど、カバー３０２および／またはベースプレート３０８に含まれたグロス位置合せ特徴部に追加で、それらとは異なる移動制限特徴部を形成することができる。移動制限特徴部は、ベースプレート３０８およびカバー３０２の互いに対する横方向移動または並進移動を制限することができる。そのようなグロス位置合せ特徴部の例が、たとえば、以下で論じられ、図６に示されている。内側ポッド３００が組み立てられるとき、カバー３０２およびベースプレート３０８は、互いに接触することができる。実施形態では、いくつかのエリアが、互いに対応するカバー３０２およびベースプレート３０８の領域において接触しないことを、製造公差など、表面における差異が引き起こし得る。

【0044】

図３に示されている実施形態は、ベースプレート３０８に弾性接触面３１０を、およびカバー３０２に嵌合ピン３０４を設けるが、これらの特徴は、嵌合ピンチャネル３０６、弾性体３１２、および位置合せ保持カットアウト３１４の位置の対応する変更を伴って、嵌合ピン３０４がベースプレート３０８に設けられ、弾性接触面がカバー３０２に設けられるように、入れ替えられ得ることを理解されたい。

【0045】

図４は、一実施形態による、レチクルポッドの内側ポッドの断面図を示す。内側ポッド４００は、カバー４０２を含む。カバー４０２は、ピン４０４を含む。図４に示されている実施形態では、ピン４０４は、カバー４０２中に形成されたピンチャネル４０６中に配設され得る。内側ポッド４００は、ベースプレート４０８をさらに含む。ベースプレート４０８は、ダイヤフラム開口４１０を含むことができる。ダイヤフラム４１２が、ダイヤフラム開口４１０の各々中に設けられ得る。保持リング４１４が、各ダイヤフラム４１２をそれのそれぞれのダイヤフラム開口４１０中に固定するために設けられ得る。

【0046】

内側ポッド４００は、図１に示されており、上記で説明されたレチクルポッド１００の内側ポッドなど、レチクルポッドの内側ポッドである。内側ポッド４００は、レチクルポッドの外側ポッド内に嵌まるようにサイズ決定され得る。内側ポッド４００は、さらに、上記で説明され、図１に示されているレチクル１０２など、レチクルを含んでいることが可能な内部空間を定義するように構成され得る。

【0047】

カバー４０２は、内側ポッド４００に含まれるカバーである。カバー４０２は、内側ポッド４００が組み立てられるときにベースプレート４０８に面する、カバー４０２の表面から延びる複数のピン４０４を含む。ピン４０４は、ピンが、ダイヤフラム４１２中に設けられた開口中で受けられたとき、あらかじめ決定された深さに挿入され得るように、テーパまたは曲線を有する先端を有することができる。一実施形態では、ピン４０４は、カバー４０２と一体に形成され得る。一実施形態では、ピン４０４は、各々、カバー４０２中に形成されたピンチャネル４０６中に配設される。ピン４０４は、非限定的な例として、各ピン４０４とそれのそれぞれのピンチャネル４０６との間のプレス嵌めなど、任意の好適な接続によってピンチャネル４０６中に固定され得る。一実施形態では、３つまたはそれ以上のピン４０４が、カバー４０２に設けられ得る。一実施形態では、４つのピン４０４が、カバー４０２に設けられ得る。一実施形態では、ピン４０４は、カバー４０２の隅角部に近接して配設され得る。一実施形態では、ピンチャネル４０６は、内側ポッド４００が組み立てられるときにベースプレート４０８に面する、カバー４０２の表面からあらかじめ決定された深さに凹陥している開口である。一実施形態では、ピンチャネル４０６は、カバー４０２の厚さ全体を通って延びるスルーホールであり得る。

【0048】

ベースプレート４０８は、内側ポッド４００に含まれるベースプレートである。ベースプレート４０８は、ピン４０４が、カバー４０２およびベースプレート４０８が内側ポッド４００を形成するために組み立てられるときにダイヤフラム４１２中で受けられ得るように、カバー４０２のピン４０４の位置に対応する位置に形成された複数のダイヤフラム開口４１０を含む。ダイヤフラム開口４１０は、ダイヤフラム４１２を含んでいるように各々が構成された、ベースプレート４０８中の開口である。一実施形態では、ダイヤフラム開口４１０は、内側ポッドが組み立てられるときにカバー４０２に面する、ベースプレート４０８の表面から凹陥している段差、ショルダー、またはレッジを含む。一実施形態では、ダイヤフラム開口４１０の一部分は、ベースプレート４０８の厚さ全体を通って延びるスルーホールである。一実施形態では、ダイヤフラム開口４１０は、ベースプレート４０８の厚さを完全に通って延びない。

【0049】

ダイヤフラム４１２は、ダイヤフラム開口４１０の各々中に配設される。ダイヤフラム４１２は、カバー４０２がベースプレート４０８に組み付けられたとき、ピン４０４のうちの１つの端部を受けるように構成される。ダイヤフラム４１２は、ピン４０４の端部を受ける部分が、ダイヤフラム４１２の平面に実質的に直角な方向に変位され得るように構成される。ダイヤフラム４１２は、ピン４０４の端部を受ける部分の、ダイヤフラム４１２の平面に平行な方向における動きに対する実質的により大きい抵抗を提供することができる。ダイヤフラム４１２は、たとえば、鋼材など、任意の好適な材料から作られ得る。ダイヤフラム４１２の例が、図５に示されており、以下でさらに詳細に説明される。

【0050】

保持リング４１４は、ダイヤフラム開口４１０中にダイヤフラム４１２を保持するように構成される。保持リング４１４は、たとえば、スナップリングであり得る。保持リング４１４は、ポリマーまたは金属材料を含む任意の好適な材料から作られ得る。保持リング４１４は、ダイヤフラム開口４１０中に設けられた段差、ショルダー、またはレッジに対してダイヤフラム４１２を保持することができる。保持リング４１４は、ダイヤフラム開口４１０と係合し、ダイヤフラム開口４１０内の所定の位置にダイヤフラム４１２を保持するのに適した任意の形状を有することができる。一実施形態では、保持リング４１４は、ダイヤフラム開口４１０の形状に対応する形状を有することができる。

【0051】

内側ポッド４００が、カバー４０２およびベースプレート４０８を一緒に置くことによって組み立てられるとき、ピン４０４のテーパを付けられた端部は、各々、ダイヤフラム４１２のうちの１つと係合する。ピン４０４の端部を受けるダイヤフラム４１２の部分は、内側ポッド４００がほとんど抵抗なしに組み立てられ得るように、ダイヤフラム４１２に直角な方向に動くことができる。ダイヤフラム４１２とピン４０４の係合は、ダイヤフラム４１２の性質、およびダイヤフラム４１２の平面と同一面の変形に対するダイヤフラム４１２の抵抗と、ダイヤフラム４１２の平面に直角な変形に対するダイヤフラム４１２の抵抗との違いにより、カバー４０２またはベースプレート４０８と同一面である、カバー４０２およびベースプレート４０８の相対的な動きを規制することができる。それゆえに、カバー４０２またはベースプレート４０８と同一面の成分を有するカバー４０２およびベースプレート４０８の相対的な動きは、規制され、内側ポッド４００が組み立てられるときのベースプレート４０８に対するカバー４０２のこすれを制限する。ピン４０４およびダイヤフラム４１２は、図６に示されており、以下で説明されるグロス位置合せ特徴部など、カバー４０２およびベースプレート４０８中に形成された第１および第２のグロス位置合せ特徴部とは別個であり、それらとは異なる移動制限特徴部を形成することができる。

【0052】

図４は、カバー４０２から延びるピン４０４と、ベースプレート４０８中に形成されたダイヤフラム開口４１０中に配設されたダイヤフラム４１２とを示すが、これらの特徴は、ピンチャネル４０６および保持リング４１４などの他の特徴の位置への対応する変更を伴って、ピン４０４が代わりにベースプレート４０８から延び、ダイヤフラム４１２が、カバー４０２中に代わりに形成されたダイヤフラム開口４１０中に配設されるように、入れ替えられ得ることを理解されたい。

【0053】

図５は、一実施形態による、レチクルポッドのベースプレート中のダイヤフラムの平面図を示す。ダイヤフラム５００は、中央開口リング５０２と、ばねビーム開口５０６を含むことができる複数のばねビーム５０４とを含む。ダイヤフラム５００は、ベースプレート５１０中に形成されたダイヤフラム開口５０８の中に取り付けられる。ダイヤフラム５００は、保持リング５１２によってダイヤフラム開口５０８中に固定され得る。

【0054】

ダイヤフラム５００は、上記で論じられたダイヤフラム４１２の一実施形態である。ダイヤフラム５００は、ダイヤフラム５００の平面に直角な方向に変形可能であるように、およびダイヤフラム５００の平面に平行な方向における変形に対する実質的により大きい抵抗を提供するように構成される。ダイヤフラム５００は、上記で説明され、図４に示されているピン４０４など、ピンの先端を受けるように構成された中央開口リング５０２を含む。中央開口リング５０２は、テーパを付けられた、または湾曲した部分に沿ったピンの先端と係合するように構成され得る。中央開口リング５０２は、図５に示されている円形開口など、ピンを受け、ピンと係合するのに適した任意の形状を有することができる。中央開口リング５０２は、ばねビーム５０４によって支持される。ばねビーム５０４は、中央開口リング５０２の周りで放射状に分散され得る。ばねビーム５０４は、ダイヤフラム５００の平面に直角に中央開口リング５０２を動かす変形を可能にするのに適した任意の形状を有することができる。一実施形態では、ばねビーム５０４は、各々、それら自体のそれぞれのばねビーム開口５０６を含む。ばねビームは、各々、（図示されていない、保持リング５１２によってカバーされた）ダイヤフラム５００の外周に接続することができる。

【0055】

ダイヤフラム開口５０８は、ベースプレート５１０中に形成された開口である。ダイヤフラム開口５０８は、ダイヤフラム５００を収容するのに適した任意の形状であり得る。一実施形態では、ダイヤフラム開口５０８は、レチクルポッド５１０の表面から凹陥しており、ダイヤフラム５００が段差またはレッジ上に載ることができるようにサイズ決定された、段差、ショルダー、またはレッジを含む。一実施形態では、ダイヤフラム開口５０８は、あらかじめ決定された深さを有する、レチクルポッド５１０の表面からの凹部である。一実施形態では、ダイヤフラム開口５０８は、ベースプレート５１０の厚さ全体を通して穿孔された少なくとも一部分を含む。

【0056】

保持リング５１２は、ダイヤフラム開口５０８内にダイヤフラム５００を保持するように構成される。保持リング５１２は、ダイヤフラム５００の外周に対応し、ダイヤフラム開口５０８の少なくとも一部分内に嵌まるのに適した任意の形状を有することができる。一実施形態では、保持リング５１２は、スナップリングである。一実施形態では、保持リング５１２は、所定の位置にダイヤフラム５００の位置を固定するために、ダイヤフラム開口５０８中に形成された段差、ショルダー、またはレッジに対してダイヤフラムを押すことができる。

【0057】

図６は、一実施形態による、レチクルポッドの内側ポッドの断面図を示す。レチクルポッド６００は、カバー６０２を含む。カバー６０２は、移動制限ピン６０４を含む。移動制限ピン６０４は、カバー６０２中に設けられた移動制限チャネル６０６中に配設され得る。レチクルポッド６０４は、ベースプレート６０８をさらに含む。ベースプレート６０８は、移動制限カップ６１０を含む。図６に示されている実施形態では、移動制限カップ６１０は、インサート６１２に設けられ、インサートは、ベースプレート６０８中に形成された凹部６１４中に設けられる。補助接触面６１６も設けられ得る。図６に示されている実施形態では、第１のグロス位置合せ特徴部６１８および第２のグロス位置合せ特徴部６２０も見られ得る。

【0058】

内側ポッド６００は、図１に示されており、上記で説明されたレチクルポッド１００の内側ポッドなど、レチクルポッドの内側ポッドである。内側ポッド６００は、レチクルポッドの外側ポッド内に嵌まるようにサイズ決定され得る。内側ポッド６００は、さらに、上記で説明され、図１に示されているレチクル１０２など、レチクルを含んでいることが可能な内部空間を定義するように構成され得る。

【0059】

カバー６０２は、内側ポッド６００に含まれるカバーである。カバー６０２は、移動制限ピン６０４を含む。一実施形態では、カバー６０２は、少なくとも３つの移動制限ピン６０４を含む。一実施形態では、カバー６０２は、４つの移動制限ピン６０４を含む。一実施形態では、カバー６０２は、カバー６０２の各隅角部に近接して移動制限ピン６０４を含む。移動制限ピン６０４は、内側ポッド６００が組み立てられるときにベースプレート６０８に面する、カバー６０２の表面から突出する。移動制限ピン６０４は、各々、テーパを付けられた、または湾曲した先端を有することができる。一実施形態では、移動制限ピン６０４は、カバー６０２と一体に形成され得る。一実施形態では、移動制限ピン６０４は、移動制限チャネル６０６中に配設され得る。移動制限ピン６０４は、任意の好適な方法によって移動制限チャネル６０６中に保持され得る。一実施形態では、移動制限ピン６０４は、移動制限チャネル６０６内にプレス嵌めされる。一実施形態では、移動制限チャネル６０６は、カバー６０２の表面から凹陥している。一実施形態では、移動制限チャネル６０６は、カバー６０２の厚さ全体を通って延びるスルーホールである。

【0060】

ベースプレート６０８は、内側ポッド６００のベースプレートである。ベースプレート６０８は、カバー６０２に設けられた移動制限ピン６０４のうちの１つを受けるように各々構成された移動制限カップ６１０を含む。移動制限カップ６１０は、それらの相対位置が移動制限ピンの位置に対応するように位置決めされ得る。一実施形態では、移動制限カップは、ベースプレート６０８自体中に形成された特徴であり、たとえば、ベースプレート６０８からの整形されたカットアウトである。一実施形態では、移動制限カップ６１０は、各々、内側ポッド６００が組み立てられるときに移動制限ピン６０４が移動制限カップ６１０中で受けられたとき、移動制限ピン６０４との複数の離散接点を提供するように構成される。一実施形態では、移動制限カップ６１０は、対応する移動制限ピン６０４との接点を提供するように構成された複数の傾斜部分を含むことができる。一実施形態では、移動制限カップ６１０は、各々、ベースプレート６０８の表面において矩形形状を有することができる。一実施形態では、移動制限カップ６１０は、ベースプレート６０８中に形成された凹部６１４の中に置かれるように構成されたインサート６１２中に形成される。凹部６１４は、インサート６１２を受け、保持するように構成される。一実施形態では、凹部６１４は、プレス嵌めを介してインサートを保持する。インサート６１２は、インサート６１２が、移動制限ピンの動きを規制し、内側ポッド６００が使用されるいかなる処理にも耐えることができる限り、金属、被覆された金属、ポリマー材料などを含む、任意の好適な材料から作られ得る。凹部６１４およびインサート６１２は、概して、矩形形状を有することができる。一実施形態では、これらの矩形形状の長軸は、凹部６１４およびインサート６１２の長軸が、カバー６０２またはベースプレート６０８の側面のうちのいずれとも平行でなくなるように、カバー６０２またはベースプレート６０８の側面に関して角度付けされ得る。

【0061】

補助接触面６１６は、移動制限ピン６０４とのさらなる接触を提供するために、ベースプレート６０８に設けられ得る。一実施形態では、補助接触面６１６は、ベースプレート６０８の表面より上に延びる。一実施形態では、補助接触面６１６は、ベースプレート６０８と一体であり得る。一実施形態では、補助接触面６１６は、インサート６１２に含まれる。補助接触面６１６は、各々、移動制限ピン６０４のうちの１つの側面に接触するように構成され得る。

【0062】

図６は、内側ポッド６００に含まれたグロス位置合せ特徴部をさらに示す。図１～図４の特定のビューでは見えないが、内側ポッド１１０、２００、３００、および４００は、図６において見える第１および第２のグロス位置合せ特徴部６１８、６２０など、第１および第２のグロス位置合せ特徴部をも含むことを理解されたい。第１および第２のグロス位置合せ特徴部６１８および６２０は、内側ポッド６００の組立をガイドするために、およびベースプレート６０８にカバー６０２を固定するのを支援するために、互いにインターフェースするように構成される。一実施形態では、第１および第２のグロス位置合せ特徴部６１８、６２０は、移動制限ピン６０４および移動制限カップ６１０などの移動制限特徴部の係合より前に、互いに係合する。一実施形態では、第１および第２のグロス位置合せ特徴部６１８、６２０は、移動制限ピン６０４および移動制限カップ６１０などの移動制限特徴部の係合の後に、互いに係合する。一実施形態では、第１および第２のグロス位置合せ特徴部６１８、６２０は、移動制限ピン６０４および移動制限カップ６１０などの移動制限特徴部の係合と同時に、互いに係合する。

【0063】

第１のグロス位置合せ特徴部６１８は、突出部、たとえば、カバー６０２から延びる突出部であり得る。第１のグロス位置合せ特徴部６１８は、カバー６０２と一体に形成され得るか、または図６に示されているように、カバー６０２中に形成されたチャネル中に配設され、それから延びるピンであり得る。

【0064】

第２のグロス位置合せ特徴部６２０は、第１のグロス位置合せ特徴部６１８を受けるように構成されたチャネルであり得る。第２のグロス位置合せ特徴部は、第１および第２のグロス位置合せ特徴部６２０の係合が、カバー６０２またはベースプレート６０８と同一面である、カバー６０２およびベースプレート６０８の相対的な動きを可能にするように第１のグロス位置合せ特徴部６１８を受けるのに必要であるよりも多くの空間があるように、構成され得る。第１および第２のグロス位置合せ特徴部６１８、６２０は、随意に、第１のグロス位置合せ特徴部６１８がベースプレート６０８から突出し、第２のグロス位置合せ特徴部６２０がカバー６０２中に形成されるように、入れ替えられ得る。第１のグロス位置合せ特徴部６１８および対応する第２のグロス位置合せ特徴部６２０のインターフェースは、カバーまたはベースプレートと同一面の最高０．２ミリメートル（ｍｍ）の相対的な動きが、第１および第２のグロス位置合せ特徴部６１８、６２０のインターフェースがさらなる動きを禁止するまでに可能にされ得るようなものであり得る。

【0065】

内側ポッド６００が、ベースプレート６０８にカバー６０２を接合することによって組み立てられるとき、移動制限ピン６０４の各々は、移動制限カップ６１０および補助接触面６１６によって提供された複数の接触面の各々とインターフェースする。それらの複数の接触面との移動制限ピン６０４の各々の係合は、カバー６０２またはベースプレート６０８と同一面の相対的な動きが規制されるように、ベースプレート６０８に対するカバー６０２の動きを規制することができる。

【0066】

図６に示されている内側ポッド６００は、カバー６０２に移動制限ピン６０４を含み、移動制限カップ６１０は、ベースプレート６０８に設けられるが、これらの特徴は、移動制限ピン６０４が代わりにベースプレート６０８から突出し、移動制限カップがカバー６０２に設けられ、移動制限チャネル６０６、凹部６１４、および補助接触面６１６など、任意の対応する特徴が、対応して、カバー６０２からベースプレート６０８に入れ替えられ、その逆も同様であるように、入れ替えられ得ることを理解されたい。

【0067】

移動制限特徴部は、それぞれ、図２、図３、図４、および図６において内側ポッド２００、３００、４００、および６００中に個々に示されているが、それらの図に示されている個々の移動制限特徴部は、組み合わせられ得、たとえば、内側ポッド２００、３００、４００、および／または６００のうちの２つまたはそれ以上からの対応する移動制限特徴部を、別の内側ポッドのカバーおよびベースプレートに含めることを理解されたい。

【0068】

図７は、一実施形態による、レチクルポッドの内側ポッドのベースプレートを示す。ベースプレート７００は、内側ポッドのカバーに面する表面７０４に形成された複数のスロット７０２を含む。スロット７０２は、各々、ベースプレート７００の反対の側面に設けられ、接触面７０８を有する、可撓性部材７０６によって裏打ちされる。

【0069】

スロット７０２は、ベースプレート７００中に形成される。スロット７０２は、ベースプレート７００の本体を通って延びる。スロット７０２は、以下で説明され、図８に示されているピン８０４を有するカバー８０２など、内側ポッドを形成するためにベースプレート７００とともに使用されるカバーに設けられたピンを受けるようにサイズ決定される。スロット７０２は、各スロットの少なくとも一部分が、レチクルがベースプレート７００を含む内側ポッドに格納されたときにレチクルが位置決めされるエリアから延びるように位置決めされる。スロット７０２の各々は、長軸を有する。一実施形態では、ベースプレート７００は、３つのスロット７０２を含む。スロット７０２は、任意の好適な２次元形状、たとえば、円形穴、矩形、卵形、スタジアムまたはカプセル形状などを有することができる。一実施形態では、スロット７０２は、ベースプレート７００の平面に直角なまっすぐな側面を含む。一実施形態では、スロット７０２は、スロット７０２がベースプレート７００を通って延びるにつれて、スロット７０２がテーパになるように、ベースプレートの平面に関して角度付けされた側面を有する。スロット７０２は、スロット７０２の各々の中へのピンの挿入を容易にするための導入部を含むことができる。一実施形態では、スロット７０２は、ベースプレート７０２とともに使用されるカバーに面する、スロット７０２の側面にベベルおよび／またはＲ面取りを含む。一実施形態では、スロット７０２の各々の長軸は、異なった方向に延びる。一実施形態では、スロット７０２は、スロット７０２が、表面７００に対向するベースプレート７００の側面中に形成されたキネマティックカップリング溝にミラー配列されるように位置決めされる。一実施形態では、ベースプレート７００は、４つまたはそれ以上のスロット７０２を含む。一実施形態では、スロット７０２のうちの少なくとも２つの長軸は、共線または平行である。一実施形態では、ベースプレート７００に設けられたスロット７０２の長軸は、ベースプレート７００の中心において交差する。

【0070】

可撓性部材７０６は、スロット７０２の中に挿入されたピンが、各々、スロット７０２がそれを通って延びるベースプレート７００の本体を通過した後に、可撓性部材７０６に接触するように提供される。可撓性部材７０６は、弾性のあるポリマー材料、金属ばねアーム、またはピンが接触面７０８に接触したときに可撓性部材の接触面７０８がたわませられることを可能にする任意の他の好適な可撓性材料を含むことができる。接触面７０８は、可撓性部材が裏打ちするスロット７０２の延びる方向に沿ったピンの動きを規制するためにカバーのピンと係合するように構成された可撓性部材７０６の一部分であり、これにより、前記ピンを含むカバーの動きを制限する。可撓性部材７０６は、接触面７０８が、テーパ、角度付けされた端部、またはピンに形成された任意の他のそのような好適な表面においてピンと係合するようにたわむことができる。可撓性部材７０６は、接触面７０８のたわみが、ベースプレート７００を含む内側ポッドが組み立てられるときにピンがスロット７０２を通って突き出る深さに一致するように制御されるように選択された可撓性を有することができる。

【0071】

図８は、一実施形態による、レチクルポッドの内側ポッドの断面図を示す。内側ポッド８００は、ピン８０４を含むカバー８０２を含む。ピン８０４は、端部８０６を含む。内側ポッド８００は、スロット８１０を含むベースプレート８０８をさらに含む。可撓性部材８１２が、スロット８１０の各々に設けられる。各可撓性部材は、接触面８１４と可撓性部材保持特徴８１６とを含む。可撓性部材保持特徴８１６は、ベースプレート８０８中に形成されたベースプレート保持特徴８１８と係合するように構成される。

【0072】

カバー８０２は、ベースプレート８０８と組み合わせられたとき、レチクルを収容するように構成された内部空間を含む内側ポッド８００を形成するように構成された、レチクルポッドのカバーである。カバー８０２は、ピン８０４を含む。ピン８０４は、レチクルが内側ポッド８００内に格納されたときにレチクルが存在し得る位置において内側ポッドを通ってピン８０４が延びないように位置決めされ得る。ピン８０４は、ピン８０４が、内側ポッド８００が組み立てられるときに接触面８１４に接触するようにスロット８１０を通って延びることができるような長さだけ延びる。１つまたは複数のピン８０４が、対応するベースプレート８０８に含まれたスロット８１０の各々について設けられ得、たとえば、３つのピン８０４が、上記で説明され、図７に示されている３つのスロット７０２を有するベースプレート７００とともに使用されるカバー８０２中に設けられる。

【0073】

ピン８０４の各々は、端部８０６を含む。端部８０６は、それぞれのスロット８１０において可撓性部材８１２によって提供される接触面８１４と係合するように整形され得る。一実施形態では、端部８０６は、テーパを付けられる。一実施形態では、端部８０６は、ピン８０４の伸張の方向に平行または直角でない角度付けされた表面を含む。一実施形態では、端部８０６は、点に来る。端部８０６が接触面８１４と係合したとき、スロット８１０に沿ったピン８０４の動きは、接触面８１４との端部８０６または端部８０６の一部分の接触によって規制され得る。

【0074】

ベースプレート８０８は、内側ポッド８００のベースプレートである。ベースプレート８０８は、ベースプレート８０８中に形成されたスロット８１０を含む。スロット８１０は、ベースプレート８０８の厚さを通って延びる。各スロット８１０は、カバー８０２に設けられた対応するピン８０４を受けるように構成される。スロットは、図７に示されているスロット７０２について上記で説明されたように、任意の好適な数および配列で含まれ得る。可撓性部材８１２は、内側ポッド８００が組み立てられるときにカバー８０２の反対側にある、ベースプレート８０８の側面に設けられる。可撓性部材８１２は、スロット８１０によって形成された開口の少なくとも一部分をカバーするように整形され得る。可撓性部材８１２は、カバー８０２の反対側にある側面上で、スロット８１０によって形成された開口をカバーする。可撓性部材８１２は、スロット８１０が延びる方向に沿ったカバー８０２の動きを規制するように、ピン８０４と係合するように構成された接触面８１４を提供する。可撓性部材８１２は、接触面８１４がピン８０４との接触によってたわませられ得るように構成される。接触面８１４および接触面８１４のたわみは、接触面が、スロット８１０に沿ったピン８０４の並進移動を規制し、これにより、特定の位置にカバー８０２を保持するために、角度付けされた表面、テーパなど、ピン８０４の端部８０６の特徴と係合するように構成され得る。スロット８１０および接触面８１４とのピン８０４の係合を介したカバー８０２の保持は、これにより、位置合せが維持され、カバー８０２およびベースプレート８０８の接触面における摺動および粒子生成が低減されるように、ベースプレート８０８に対するカバー８０２の並進移動を規制することができる。

【0075】

可撓性部材８１２は、可撓性部材保持特徴８１６を含み、ベースプレート８０８は、ベースプレート保持特徴８１８を含む。可撓性部材保持特徴８１６およびベースプレート保持特徴８１８は、ベースプレート８０８に可撓性部材８１２を固定するのに適した任意の対応する特徴であり得る。一実施形態では、ベースプレート保持特徴８１８は、可撓性部材保持特徴８１６として可撓性部材８１２に設けられた突出部を受けるように構成された溝または穴であり得る。一実施形態では、可撓性部材保持特徴は、ベースプレート保持特徴８１８の中にプレス嵌めされ得る。一実施形態では、溝または穴は、可撓性部材保持特徴８１６からのフランジ、タブ、または他のそのような突出部を受けるように構成されたアンダーカットを受けることができる。一実施形態では、接着剤が、ベースプレート保持特徴８１８に可撓性部材保持特徴８１６を固定するために設けられ得る。

【0076】

態様：

【0077】

以下の態様のうちのいずれも、以下の態様のうちの他のいずれかと組み合わせられ得ることを理解されたい。

【0078】

態様１．ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを備え、
内側ポッドが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と複数の移動制限特徴部とを含み、複数の移動制限特徴部の各々が、
カバーまたはベースプレートのうちの一方中に形成された位置合せ保持カットアウトと、位置合せ保持カットアウト中に配設された弾性体とを含み、弾性体は、内側ポッドが組み立てられるときにベースプレートとカバーの両方に接触するように構成され、
複数の移動制限特徴部は、ベースプレートまたはカバーの平面に平行な成分を有する力が内側ポッドに加えられるとき、複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が力に対する抵抗を提供するより前に、力に対する抵抗を提供するように構成された、
レチクルポッド。

【0079】

態様２．ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを備え、
内側ポッドが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と複数の移動制限特徴部とを含み、複数の移動制限特徴部の各々が、
カバーまたはベースプレートのうちの一方から延びる嵌合ピンと、カバーまたはベースプレートのうちの他方に設けられた弾性接触面とを含み、嵌合ピンは、内側ポッドが組み立てられるときに弾性接触面に接触するように構成され、
複数の移動制限特徴部は、ベースプレートまたはカバーの平面に平行な成分を有する力が内側ポッドに加えられるとき、複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が力に対する抵抗を提供するより前に、力に対する抵抗を提供するように構成された、
レチクルポッド。

【0080】

態様３．弾性接触面が、弾性体に設けられ、弾性体は、嵌合ピンが前記弾性接触面に接触するように構成された表面の反対側に中空部分を含む、態様２に記載のレチクルポッド。

【0081】

態様４．嵌合ピンの各々が、嵌合ピンチャネル中に配設され、各嵌合ピンチャネルが、カバーまたはベースプレートのうちの一方中に形成された、態様２から３のいずれか１つに記載のレチクルポッド。

【0082】

態様５．ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを備え、
内側ポッドが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と複数の移動制限特徴部とを含み、複数の移動制限特徴部の各々が、
カバーまたはベースプレートのうちの一方中に配設されたダイヤフラムと、
カバーまたはベースプレートのうちの他方から延びるピンであって、ピンは、内側ポッドが組み立てられるときにダイヤフラムに接触するように構成された、ピンと
を含み、
ダイヤフラムが、カバーまたはベースプレートの平面に直角な方向における変形に対する抵抗よりも大きい、カバーまたはベースプレートと同一面の方向における変形に対する抵抗を有し、
ピンの各々が、複数のダイヤフラムのうちの１つに接触するように構成された端部においてテーパを有し、
複数の移動制限特徴部は、ベースプレートまたはカバーの平面に平行な成分を有する力が内側ポッドに加えられるとき、複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が力に対する抵抗を提供するより前に、力に対する抵抗を提供するように構成された、
レチクルポッド。

【0083】

態様６．移動制限特徴部の各々が、ダイヤフラムを収容するように構成された位置合せ保持カットアウトと、位置合せ保持カットアウト中にダイヤフラムを保持するように構成された保持リングとを含む、態様５に記載のレチクルポッド。

【0084】

態様７．ピンが、カバーまたはベースプレートのうちの一方中に形成されたピンチャネル中に配設された、態様５または６に記載のレチクルポッド。

【0085】

態様８．ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを備え、
内側ポッドが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と複数の移動制限特徴部とを含み、複数の移動制限特徴部の各々が、
カバーまたはベースプレートのうちの一方から延びる移動制限ピンと、
カバーまたはベースプレートのうちの他方中に設けられた移動制限カップと
を含み、
移動制限ピンは、内側ポッドが組み立てられるときに移動制限カップの複数の異なる表面によって接触されるように構成され、
複数の移動制限特徴部は、ベースプレートまたはカバーの平面に平行な成分を有する力が内側ポッドに加えられるとき、複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が力に対する抵抗を提供するより前に、力に対する抵抗を提供するように構成された、
レチクルポッド。

【0086】

態様９．移動制限カップが、カバーまたはベースプレートのうちの一方中に直接的に形成された、態様８に記載のレチクルポッド。

【0087】

態様１０．移動制限カップが、インサート中に形成され、インサートが、カバーまたはベースプレートのうちの一方中に形成された凹部中で受けられるように構成された、態様８または９に記載のレチクルポッド。

【0088】

態様１１．レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法であって、
カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、カバーおよびベースプレートのうちの他方と係合させることと、
カバーまたはベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、カバーまたはベースプレートのうちの他方と係合させることであって、複数の移動制限特徴部が、複数の位置合せ保持カットアウトと複数の弾性体とを含み、各弾性体が、位置合せ保持カットアウトのうちの１つ中に配設され、複数の弾性体の各々は、内側ポッドが組み立てられるときにベースプレートとカバーの両方に接触するように構成された、複数の移動制限特徴部の各々を、カバーまたはベースプレートのうちの他方と係合させることと
を備え、
カバーまたはベースプレートと同一面の成分を有する力が、内側ポッドに作用するとき、移動制限特徴部の係合は、ベースプレートグロス位置合せ特徴部とのカバーグロス位置合せ特徴部の係合が力の成分に対する抵抗を提供する前に、力の成分に対する抵抗を提供する、
方法。

【0089】

態様１２．レチクルが、内側ポッド内に配置され、方法が、
レチクルポッドの外側ポッド内に内側ポッドを置き、レチクルポッドを密閉するために外側ポッドを固定することと、
内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すことと
をさらに備える、態様１１に記載の方法。

【0090】

態様１３．レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法であって、
カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、カバーおよびベースプレートのうちの他方と係合させることと、
カバーまたはベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、カバーまたはベースプレートのうちの他方と係合させることであって、複数の移動制限特徴部が、カバーまたはベースプレートのうちの一方から延びる複数の嵌合ピンと、カバーまたはベースプレートのうちの他方の複数の弾性接触面とを含み、複数の嵌合ピンの各々が、弾性接触面のうちの１つに接触するように構成された、複数の移動制限特徴部の各々を、カバーまたはベースプレートのうちの他方と係合させることと
を備え、
カバーまたはベースプレートと同一面の成分を有する力が、内側ポッドに作用するとき、移動制限特徴部の係合は、ベースプレートグロス位置合せ特徴部とのカバーグロス位置合せ特徴部の係合が力の成分に対する抵抗を提供する前に、力の成分に対する抵抗を提供する、
方法。

【0091】

態様１４．レチクルが、内側ポッド内に配置され、方法が、
レチクルポッドの外側ポッド内に内側ポッドを置き、レチクルポッドを密閉するために外側ポッドを固定することと、
内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すことと
をさらに備える、態様１３に記載の方法。

【0092】

態様１５．レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法であって、
カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、カバーおよびベースプレートのうちの他方と係合させることと、
カバーまたはベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、カバーまたはベースプレートのうちの他方と係合させることであって、複数の移動制限特徴部は、
複数のダイヤフラムであって、複数のダイヤフラムの各々が、カバーまたはベースプレートのうちの一方中に配設された、複数のダイヤフラムと、
カバーまたはベースプレートのうちの他方から延びる複数のピンであって、複数のピンの各々は、内側ポッドが組み立てられるときに複数のダイヤフラムのうちの１つに接触するように構成された、複数のピンと
を含む、複数の移動制限特徴部の各々を、カバーまたはベースプレートのうちの他方と係合させることと
を備え、
複数のダイヤフラムの各々が、カバーまたはベースプレートの平面に直角な方向における変形に対する抵抗よりも大きい、カバーまたはベースプレートと同一面の方向における変形に対する抵抗を有し、
ピンの各々が、複数のダイヤフラムのうちの１つに接触するように構成された端部においてテーパを有し、
カバーまたはベースプレートと同一面の成分を有する力が、内側ポッドに作用するとき、移動制限特徴部の係合は、ベースプレートグロス位置合せ特徴部とのカバーグロス位置合せ特徴部の係合が力の成分に対する抵抗を提供する前に、力の成分に対する抵抗を提供する、
方法。

【0093】

態様１６．レチクルが、内側ポッド内に配置され、方法が、
レチクルポッドの外側ポッド内に内側ポッドを置き、レチクルポッドを密閉するために外側ポッドを固定することと、
内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すことと
をさらに備える、態様１５に記載の方法。

【0094】

態様１７．レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法であって、
カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、カバーおよびベースプレートのうちの他方と係合させることと、
カバーまたはベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、カバーまたはベースプレートのうちの他方と係合させることであって、複数の移動制限特徴部が、
カバーまたはベースプレートのうちの一方から延びる複数の移動制限ピンと、
カバーまたはベースプレートのうちの他方中に設けられた複数の移動制限カップと
を含む、複数の移動制限特徴部の各々を、カバーまたはベースプレートのうちの他方と係合させることと
を備え、
複数の移動制限ピンの各々は、内側ポッドが組み立てられるときに複数の移動制限カップのうちの１つの複数の異なる表面によって接触されるように構成され、
カバーまたはベースプレートと同一面の成分を有する力が、内側ポッドに作用するとき、移動制限特徴部の係合は、ベースプレートグロス位置合せ特徴部とのカバーグロス位置合せ特徴部の係合が力の成分に対する抵抗を提供する前に、力の成分に対する抵抗を提供する、
方法。

【0095】

態様１８．レチクルが、内側ポッド内に配置され、方法が、
レチクルポッドの外側ポッド内に内側ポッドを置き、レチクルポッドを密閉するために外側ポッドを固定することと、
内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すことと
をさらに備える、態様１７に記載の方法。

【0096】

態様１９．ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを備え、
内側ポッドが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と複数の移動制限特徴部とを含み、複数の移動制限特徴部の各々が、
内側ポッドが組み立てられるときにベースプレートに面するように構成された、カバーの側面でカバーから延びるピンと、
ベースプレート中に形成されたスロットであって、スロットが、ピンを受けるように構成された、スロットと、
内側ポッドが組み立てられるときにカバーの反対側にある、ベースプレートの側面上の、スロットをカバーするように構成された可撓性部材であって、可撓性部材が、ピンの端部によって接触されるように構成された接触面を含み、可撓性部材は、接触面がピンとの接触によってたわませられ得るように構成された、可撓性部材と
を含む、レチクルポッド。

【0097】

態様２０．内側ポッドが、移動制限特徴部のうちの少なくとも３つを含む、態様１９に記載のレチクルポッド。

【0098】

態様２１．各スロットの長軸が、すべての他のスロットの長軸とは異なった方向に延びる、態様２０に記載のレチクルポッド。

【0099】

態様２２．ベースプレート中に形成されたベースプレート保持特徴をさらに備え、可撓性部材が、ベースプレート保持特徴と係合するように構成された可撓性部材保持特徴を含む、態様１９に記載のレチクルポッド。

【0100】

本出願で開示された例は、あらゆる点で、例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。本発明の範囲は、上記の説明によってではなく、添付の特許請求の範囲によって指し示され、特許請求の範囲と同等の意味および範囲内に入るすべての変更は、特許請求の範囲の中に包含されるものとする。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【手続補正書】

【提出日】2024-07-29

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを備えたレクチルポッドであって、
前記内側ポッドが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と複数の移動制限特徴部とを含み、前記複数の移動制限特徴部の各々が、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方から延びる嵌合ピンと、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方に設けられた弾性接触面とを含み、前記嵌合ピンは、前記内側ポッドが組み立てられるときに前記弾性接触面に接触するように構成され、
前記複数の移動制限特徴部は、前記ベースプレートまたは前記カバーの平面に平行な成分を有する力が前記内側ポッドに加えられるとき、前記複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、前記少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が前記力に対する抵抗を提供するより前に、前記力に対する抵抗を提供するように構成されている、
レチクルポッド。

【請求項2】

前記弾性接触面が、弾性体に設けられ、前記弾性体は、前記嵌合ピンが前記弾性接触面に接触するように構成されている表面の反対側に中空部分を含む、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項3】

ベースプレートとカバーとを含む内側ポッドを備えたレクチルポッドであって、
前記内側ポッドが、少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部と複数の移動制限特徴部とを含み、前記複数の移動制限特徴部の各々が、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方から延びる移動制限ピンと、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方中に設けられた移動制限カップと
を含み、
前記移動制限ピンは、前記内側ポッドが組み立てられるときに前記移動制限カップの複数の異なる表面によって接触されるように構成され、
前記複数の移動制限特徴部は、前記ベースプレートまたは前記カバーの平面に平行な成分を有する力が前記内側ポッドに加えられるとき、前記複数の移動制限特徴部のうちの少なくとも１つが、前記少なくとも１つのグロス位置合せ特徴部が前記力に対する抵抗を提供するより前に、前記力に対する抵抗を提供するように構成されている、
レチクルポッド。

【請求項4】

レチクルポッドの内側ポッドを固定する方法であって、
カバーおよびベースプレートのうちの一方に含まれた１つまたは複数のグロス位置合せ特徴部を、前記カバーおよび前記ベースプレートのうちの他方と係合させることと、
前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの一方に設けられた複数の移動制限特徴部の各々を、前記カバーまたは前記ベースプレートのうちの他方と係合させることと
を含み、
前記複数の移動制限特徴部が、複数の位置合せ保持カットアウトと複数の弾性体とを含み、各弾性体が、前記位置合せ保持カットアウトのうちの１つ中に配設され、前記複数の弾性体の各々は、前記内側ポッドが組み立てられるときに前記ベースプレートと前記カバーの両方に接触するように構成され、
前記カバーまたは前記ベースプレートと同一面の成分を有する力が、前記内側ポッドに作用するとき、前記移動制限特徴部の前記係合は、前記ベースプレートグロス位置合せ特徴部との前記カバーグロス位置合せ特徴部の前記係合が前記力の前記成分に対する抵抗を提供する前に、前記力の前記成分に対する抵抗を提供する、
方法。

【請求項5】

レチクルが、前記内側ポッド内に配置され、前記方法が、
前記レチクルポッドの外側ポッド内に前記内側ポッドを置き、前記レチクルポッドを密閉するために前記外側ポッドを固定することと、
前記内側ポッドに極端紫外線プロセスを施すことと
をさらに含む、請求項４に記載の方法。

【国際調査報告】