特表2024-539017回転ペデスタルに対して傾斜したＰＶＤ源

発明の名称　回転ペデスタルに対して傾斜したＰＶＤ源

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（548件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 34 位（547件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2024-539017

公報発行日　2024年10月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2024-539017

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