特表2024-542372薄膜基板を搬送するための真空処理システム、装置および方法

発明の名称　薄膜基板を搬送するための真空処理システム、装置および方法

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 24 位（249件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 61 位（129件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2024-542372

公報発行日　2024年11月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2024-542372

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