特表 2024-544252 垂直方向に配置されたフィルタを備えた液体フィルタユニット、およびその操作方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-11-28

(54)【発明の名称】垂直方向に配置されたフィルタを備えた液体フィルタユニット、およびその操作方法

(51)【国際特許分類】

   B01D 29/50 20060101AFI20241121BHJP

   B01D 29/11 20060101ALI20241121BHJP

   B01D 24/00 20060101ALI20241121BHJP

【ＦＩ】

B01D29/26 B

B01D29/10 510E

B01D29/10 510G

B01D29/08 530A

B01D29/10 530A

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024534652

(86)(22)【出願日】2022-12-08

(85)【翻訳文提出日】2024-07-19

(86)【国際出願番号】 US2022052279

(87)【国際公開番号】W WO2023114085

(87)【国際公開日】2023-06-22

(31)【優先権主張番号】63/289,482

(32)【優先日】2021-12-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】サンパス， シッダールス

(72)【発明者】

【氏名】バベ， アシュトッシュ シリカント

(72)【発明者】

【氏名】バーク， クリストファー ポール

(72)【発明者】

【氏名】リンシコム， ヘイデン

【テーマコード（参考）】

4D116

【Ｆターム（参考）】

4D116BA01

4D116BB01

4D116BC23

4D116BC27

4D116BC46

4D116BC47

4D116BC76

4D116BC77

4D116DD05

4D116DD06

4D116EE01

4D116EE03

4D116FF02A

4D116FF13B

4D116FF18B

4D116FF20B

4D116GG12

4D116QA39C

4D116QA39D

4D116QA39E

4D116QA39F

4D116QB03

4D116QB12

4D116QB14

4D116QB22

4D116QB24

4D116QB25

4D116UU20

4D116VV01

4D116VV07

4D116VV30

(57)【要約】

液体をフィルタ処理するためのフィルタユニットは、入口および出口を有するハウジングと、ハウジング内に配置される第１のフィルタおよび第２のフィルタと、入口から出口まで延在する液体流路とを含む。液体流路は、液体を方向付けて、径方向内側および径方向外側の一方で第１のフィルタの第１のフィルタ媒体に通し、液体を方向付けて、径方向内側および径方向外側の他方で第２のフィルタの第２のフィルタ媒体に通す。フィルタユニット内の液体をフィルタ処理する方法は、液体を第１のフィルタの第１のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の一方に通すことと、液体を第２のフィルタの第２のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の他方に通すこととを含む。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

入口および出口を有するハウジングと、
前記ハウジング内に配置され、第１のフィルタ媒体を含む、第１のフィルタと、
前記ハウジング内に配置され、第２のフィルタ媒体を含む、第２のフィルタと、
前記入口から前記出口まで、直列の前記第１のフィルタ媒体および前記第２のフィルタ媒体を通って延在する液体流路であって、前記液体を、前記第１のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の一方に方向付け、前記液体を、前記第２のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の他方に方向付けるように構成された、液体流路と
を備える、液体をフィルタ処理するためのフィルタユニット。

【請求項2】

前記第１のフィルタおよび前記第２のフィルタが、前記ハウジングの長さに沿って端から端まで配置される、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項3】

前記液体流路が、前記第１のフィルタ媒体を通して径方向外側に前記液体を方向付け、前記第２のフィルタ媒体を通して径方向内側に前記液体を方向付けるように構成され、前記第１のフィルタ媒体が前記第１のフィルタの径方向出口であり、前記第２のフィルタ媒体が前記第２のフィルタの径方向入口である、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項4】

前記液体流路が、前記第１のフィルタ媒体を通して径方向内側に前記液体を方向付け、前記第２のフィルタ媒体を通して径方向外側に前記液体を方向付けるように構成され、前記第１のフィルタ媒体が前記第１のフィルタの径方向入口であり、前記第２のフィルタ媒体が前記第２のフィルタの径方向出口である、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項5】

前記ハウジングが、第１のエンドキャップと第２のエンドキャップとを有し、前記第１のフィルタの第２の端部が前記第１のエンドキャップに固着され、前記ハウジングの第２のエンドキャップが前記第２のフィルタの第２の端部に固着される、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項6】

前記第１のエンドキャップが前記ハウジングの前記入口を含み、前記第２のエンドキャップが前記ハウジングの前記出口を含む、請求項５に記載のフィルタユニット。

【請求項7】

径方向内側および径方向外側が互いに反対方向である、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項8】

前記流路が順に、
前記第１のフィルタを通って軸線方向に延在する第１の部分と、
前記第１のフィルタ媒体を通って径方向内側および径方向外側の前記一方に延在する第２の部分と、
前記第１のフィルタの外側に沿って前記軸線方向に延在するか、前記第１のフィルタの軸線方向入口および前記第２のフィルタの軸線方向出口を通って延在するかの一方である第３の部分と、
前記第２のフィルタ媒体を通って径方向内側および径方向外側の前記他方に延在し、前記第２のフィルタ媒体を通る第４の部分と、
前記第２のフィルタを通って軸線方向に延在する第５の部分と
を含む、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項9】

前記第１のフィルタ媒体および前記第２のフィルタ媒体が同じタイプのフィルタ媒体である、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項10】

前記第１のフィルタ媒体および前記第２のフィルタ媒体が異なるタイプのフィルタ媒体である、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項11】

前記第１のフィルタ媒体および前記第２のフィルタ媒体がそれぞれ、メンブレン、樹脂ビーズ、中空繊維、デプス繊維、スポンジ系媒体、またはそれらの組み合わせから選択される、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項12】

入口および出口を有するハウジングを含むフィルタユニット内の液体をフィルタ処理する方法であって、
前記液体を前記ハウジングの入口から前記ハウジング内に配置された第１のフィルタの第１のフィルタ媒体へと方向付けることと、
前記液体を、前記第１のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の一方に通すことと、
前記液体を前記第１のフィルタから前記ハウジング内に配置された第２のフィルタの第２のフィルタ媒体へと方向付けることと、
前記液体を、前記第２のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の他方に通すことと
を含む、方法。

【請求項13】

前記液体を前記第２のフィルタ媒体から前記ハウジングの出口へと方向付けること
をさらに含む、請求項１２に記載の方法。

【請求項14】

前記液体を前記第２のフィルタ媒体から前記ハウジングの出口へと方向付けることが、前記液体を前記第２のフィルタの軸線方向出口に通すことを含む、請求項１３に記載の方法。

【請求項15】

前記液体を前記第２のフィルタ媒体から前記ハウジングの出口へと方向付けることが、前記液体を前記第１のフィルタおよび前記第２のフィルタの外側で前記出口へと方向付けることを含む、請求項１３に記載の方法。

【請求項16】

前記液体を前記ハウジングの前記入口から前記第１のフィルタの前記第１のフィルタ媒体へと方向付けることが、前記液体を前記第１のフィルタの軸線方向入口に通すことを含む、請求項１２に記載の方法。

【請求項17】

前記第１のフィルタおよび前記第２のフィルタが前記ハウジングの内部空間内に配置され、前記液体を前記ハウジングの前記入口から前記第１のフィルタの前記第１のフィルタ媒体へと方向付けることが、前記液体を前記入口から前記第１のフィルタおよび前記第２のフィルタの外側にある前記ハウジングの前記内部空間内へと方向付けることを含む、請求項１２に記載の方法。

【請求項18】

前記第１のフィルタ媒体および前記第２のフィルタ媒体がそれぞれ、メンブレン、樹脂ビーズ、中空繊維、デプス繊維、スポンジ系媒体、またはそれらの組み合わせから選択される、請求項１２に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、全体として、フィルタユニットに関する。より詳細には、本開示は、液体をフィルタ処理するように構成されたフィルタユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

フィルタは、半導体製造において、流体から夾雑物を除去するのに用いられる場合がある。流体（例えば、液体、水など）はフィルタに通される。フィルタは、液体がフィルタを通り抜ける際に、夾雑物を液体から除去するように構成することができる。夾雑物としては、例えば、固体粒子、液体不純物、および溶存化学種を挙げることができる。

【発明の概要】

【0003】

一実施形態では、液体をフィルタ処理するためのフィルタユニットは、ハウジングと、第１のフィルタと、第２のフィルタと、流体流路とを含む。ハウジングは、入口と出口とを含む。第１のフィルタは、ハウジング内に配置され、第１のフィルタ媒体を含む。第２のフィルタは、ハウジング内に配置され、第２のフィルタ媒体を含む。液体流路は、入口から出口まで、直列の第１のフィルタ媒体および第２のフィルタ媒体を通って延在する。液体流路は、液体を、第１のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の一方に方向付け、液体を、第２のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の他方に方向付けるように構成される。

【0004】

一実施形態では、方法は、フィルタユニット内で液体をフィルタ処理することを対象とする。流体ユニットは、入口および出口を有するハウジングと、ハウジング内に配置される第１のフィルタと、ハウジング内に配置される第２のフィルタとを含む。方法は、液体をハウジングの入口から配置された第１のフィルタの第１のフィルタ媒体へと方向付けることと、液体を、第１のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の一方に通すこととを含む。方法はまた、液体を第１のフィルタから第２のフィルタの第２のフィルタ媒体へと方向付けることと、液体を、第２のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の他方に通すこととを含む。

【図面の簡単な説明】

【0005】

【図1】フィルタユニットの一実施形態を示す正面斜視図である。

【図2】一実施形態による、図１のフィルタユニットを示す断面図である。

【図3】フィルタユニットの一実施形態を示す断面図である。

【図4】フィルタユニット内で液体をフィルタ処理する方法の一実施形態を示すブロックフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0006】

同様の番号は同様の特徴を表す。

【0007】

図１は、フィルタユニット１の一実施形態の側面斜視図を示している。フィルタユニット１は液体をフィルタ処理するように構成される。液体は、フィルタユニット１を通り抜ける際にフィルタ処理される。フィルタユニット１を出入りするフローは、図１に破線の矢印で示されている。フィルタユニット１は、互いに対して垂直方向に配置されてもよい、フィルタ４０、６０（図２に図示）を収容したハウジング１０を含む。いくつかの実施形態では、フィルタユニット１は、特定量の夾雑物を除去した後に取り外して交換されるように構成された、取外し可能なフィルタユニット１である。一実施形態では、フィルタユニット１は、フィルタマニホルド（図示なし）に設置されるように構成することができる。例えば、フィルタマニホルドは、フィルタユニット１に接続し、流体を供給してフィルタユニット１に通す、入口チューブ／パイプ（図示なし）と出口チューブ／パイプ（図示なし）とを含むことができる。

【0008】

図１に示されるように、ハウジング１０は、入口１２と出口１４とを含む。入口１２および出口１４は、ハウジング１０の対向端部に形成される。（フィルタ処理すべき）液体は、入口１２を通ってフィルタユニット１０に入る。液体はハウジング１０内でフィルタ処理され、フィルタ処理された液体は次に、出口１４を通ってフィルタユニット１から排出される。フィルタユニット１は、半導体製造で使用される液体をフィルタ処理するように構成される。例えば、いくつかの実施形態では、フィルタユニット１は、フォトリソグラフィならびに／あるいはウェットエッチングおよびウェット洗浄で使用される液体をフィルタ処理するように構成される。フィルタユニット１によって処理された液体は、１つもしくは複数の酸、塩基、酸化剤、および／または還元剤、あるいはそれらの任意の組み合わせを含んでもよい。例えば、液体は、水（例えば、脱イオン水）、ＨＣｌ、ＨＮＯ_３、イソプロピルアルコールなどであってもよい。ハウジング１０はまた、ガスをフィルタユニット１から排出するのを可能にする、１つまたは複数のベント１６Ａ、１６Ｂを含むことができる。例えば、各ベント１６Ａ、１６Ｂは、液体とともに入るガス（例えば、泡など）をハウジング１０から排気するのを可能にするように構成される。

【0009】

図示される実施形態では、ハウジング１０は、管状体２０と、第１のエンドキャップ２２と、第２のエンド２４とを含む。第１のエンドキャップ２２および第２のエンドキャップ２４は、管状体２０の対向端部に固着される。ハウジング１０は、機械的に、および／または接合によって組み立てられてもよい。図示される実施形態に示されるように、ハウジング１０は、接合によって組み立てることができる（例えば、第１のエンドキャップ２２および第２のエンドキャップ２４がそれぞれ、管状体２０に熱接合される）。例えば、エンドキャップ２２、２４はそれぞれ、管状体２０に接合（例えば、熱接合、接着接合など）されてもよい。一実施形態では、ハウジング１０は機械的に組み立てられてもよい（例えば、エンドキャップ２２、２４がそれぞれ、管状体２０に機械的に取り付けられる）。例えば、エンドキャップ２２、２４および管状体２４は、スナップ嵌め、ロックとキーのメカニズムなどを介して構成されて、互いに機械的に固着されてもよい。かかる実施形態では、ハウジング１０は、エンドキャップ２２、２４それぞれと管状体２０とを密封する、シール（図示なし）を含んでもよい。

【0010】

管形状は管形状の長さに沿って延在する軸線を有し、軸線方向とは軸線に平行に延在する方向を指し、径方向とは、軸線に直交して（例えば、管形状の半径／幅に沿って）延在し、軸線に向かう（内側）かまたは軸線から離れる（外側）方向を指すことが、認識されるべきである。入口１２および出口１４は、ハウジング１０のエンドキャップ２２、２４に形成される。例えば、図１に示されるように、入口１２は、ハウジング１０の第１のエンドキャップ２２に形成され、出口１４は第２のエンドキャップ２４に形成される。

【0011】

図２は、フィルタユニット１の断面図である。例えば、図２の図の断面は、フィルタユニット１を二分割する、図１のフィルタユニット１の縦断面である。図２に示されるように、フィルタユニット１は、ハウジング１０と、第１のフィルタ４０と、第２のフィルタ６０とを含む。ハウジング１０は、封止された内部空間２６を有する。フィルタ４０、６０はハウジング１０内に配置される。図２に示されるように、フィルタ４０、６０は、ハウジング１０の内部空間２６内に配置される。フィルタユニット１は、液体がフィルタユニット１を通って流れる液体流路Ｆ_Ａを有する。液体流路Ｆ_Ａは、入口１２から出口１４まで、直列の第１のフィルタ４０および第２のフィルタ６０を通って延在する。液体は、液体流路Ｆ_Ａを通って流れる際に、フィルタ４０、６０によってフィルタ処理される。

【0012】

図２に示されるように、第１のフィルタ４０は、第１のフィルタ媒体４２と、第１の軸線方向端部４４と、第２の軸線方向端部４６とを含む。第１の軸線方向端部４４および第２の軸線方向端部４６は、第１のフィルタ４０の対向端部である。第１のフィルタ媒体４２は、第１のフィルタ４０の第１の軸線方向端部４４と第２の軸線方向端部４６の間で、フィルタ４０の軸線方向（例えば、方向Ｄ_１、方向Ｄ_２）に延在する。第１のフィルタ媒体４２は、第１のフィルタ４０内で管形状を有することができる。図示される実施形態では、第１のフィルタ４０は軸線方向入口４８を含み、第１のフィルタ媒体４２は第１のフィルタ４０の径方向出口を形成する。例えば、液体は、軸線方向入口４８を通って第１のフィルタ４０に入り、（フィルタ処理された後に）第１のフィルタ媒体４２を通して第１のフィルタ４０から排出される。

【0013】

第１のフィルタ４０の第１の軸線方向端部４４は、ハウジング１０に固着される。第１のフィルタ４０の第１の軸線方向端部４４は、ハウジング１０に接合するかまたは機械的に固着することができる。特に、第１の軸線方向端部４４は、ハウジング１０の第１のエンドキャップ２２に固着される。図示される実施形態では、第１の軸線方向端部４４は、ハウジング１０の第１のエンドキャップ２２に接合（例えば、熱接合、接着接合）される。一実施形態では、第１の軸線方向端部４４は、スナップ嵌め、ねじ（例えば、第１の軸線方向端部４４が、第１のエンドキャップ２２にねじ込むねじ山を有する）などを介して、ハウジング１０に機械的に固着されてもよい。図示される実施形態では、第１のフィルタ４０の第１の軸線方向端部４４は、入口１２用のハウジング１０の開口部１３の全体にわたって配置される。液体は、入口１２の開口部１３から、軸線方向入口４８を通って第１のフィルタ４０に流れ込む。第１のフィルタ４０の第１の軸線方向端部４４は、入口１２用の開口部１３全体を覆うので、入口１２を通ってハウジング１０に流れ込む液体が第１のフィルタ２０に流し込まれる。液体は次に、フィルタ媒体４２を通って流れ、第１のフィルタ４０からハウジング１０の内部空間２６内の空き空間へと排出される。例えば、液体は、軸線方向入口４８を通って軸線方向Ｄ_２で第１のフィルタ４０に入り、第１のフィルタ４０から径方向に（例えば、第１のフィルタ４０の径方向Ｄ_３に、第１のフィルタの径方向Ｄ_４に、図２の紙面奥へと真っ直ぐ延在する径方向に、図２の紙面の外へと真っ直ぐ延在する径方向に、など）排出される。例えば、図２に示されるように、液体は、第１のフィルタ４０から複数の径方向（例えば、径方向Ｄ_３、反対の径方向Ｄ_４）に排出される。ハウジング１０の内部空間２６内で、液体は次に、第１のフィルタ４０のフィルタ媒体４２から第２のフィルタ６０のフィルタ媒体６２へと、ハウジング１０の軸線方向Ｄ_２に流れる。

【0014】

図２に示されるように、第２のフィルタ６０は、フィルタ媒体６２と、第１の軸線方向端部６４と、第２の軸線方向端部６６とを含む。第１の軸線方向端部６４および第２の軸線方向端部６６は、第２のフィルタ６０の対向端部である。第２のフィルタ媒体６２は、第２のフィルタ６０の第１の軸線方向端部６４と第２の軸線方向端部６６との間で、フィルタ６０の軸線方向（例えば、軸線方向Ｄ_１、軸線方向Ｄ_２）に沿って延在する。第２のフィルタ媒体６２は、第２のフィルタ６０内で管形状を有することができる。図示される実施形態では、第２のフィルタ６０はまた、第２のフィルタ６０の第１の軸線方向端部６４に形成される軸線方向出口６８を含む。第２のフィルタ媒体６２は、図２に示されるように、第２のフィルタ６０の径方向入口を形成することができる。例えば、液体は、第２のフィルタ媒体６２を通って径方向で第２のフィルタ６０に入り、（フィルタ処理された後に）軸線方向出口６８を通して第２のフィルタ６０から軸線方向に排出される。

【0015】

第２のフィルタ６０の第１の軸線方向端部６４は、ハウジング１０に固着される。第１のフィルタ４０の第１の軸線方向端部６４は、ハウジング１０に接合するかまたは機械的に固着することができる。特に、第２のフィルタ６０の第１の軸線方向端部６４は、ハウジング１０の第２のエンドキャップ２４に固着される。図示される実施形態では、第１の軸線方向端部６４は、ハウジング１０の第１のエンドキャップ２４に接合（例えば、熱接合、接着接合など）される。一実施形態では、第１の軸線方向端部６４は、スナップ嵌め、ねじ（例えば、第１の軸線方向端部６４を内表面２６のねじ山にねじ込む）などを介して、ハウジング１０に機械的に固着されてもよい。第２のフィルタ６０の第１の軸線方向端部６４は、出口１６用のハウジング１０の開口部１５の全体にわたって配置される。図示される実施形態では、第１の軸線方向端部６４は、空いた内部空間２４内にある液体が第２のフィルタ６０を通って流れて、ハウジング１０およびフィルタユニット１から出るように、ハウジング１０との密封接続を形成する。

【0016】

図２に示されるように、第２のフィルタ６０の第１の軸線方向端部６４は、入口１４用のハウジング１０の開口部１５の全体にわたって配置される。第２のフィルタ６０の第１の軸線方向端部６４は、出口１６用のハウジング１０の開口部１６を完全に覆う。第２のフィルタ６０に流れ込む液体は、軸線方向出口６８を通って第２のフィルタ６０から排出されて、ハウジング１０の出口１４に入る。液体は、第２のフィルタ６０の軸線方向出口６８から、ハウジング１０の出口１４に流れ込む。液体は次に、ハウジング１０の出口１４を通して、フィルタユニット１から流れ出る。フィルタ媒体６２は、第２のフィルタ６０の径方向入口を形成することができる。（内部空間２６を通って流れて第１のフィルタ４０から排出された）液体は、フィルタ媒体６２を通って径方向で第２のフィルタ６０に入り（例えば、方向Ｄ_３で第２のフィルタ６０に入る、方向Ｄ_４で第２のフィルタ６０に入るなど）、第２のフィルタ６０から軸線方向に（例えば、方向Ｄ_２に）排出される。

【0017】

図２に示されるように、第１のフィルタ４０の第１の軸線方向端部４４および第２のフィルタ６０の第１の軸線方向端部６４は、ハウジング１０の対向端部に接合される。ハウジング１０内で、フィルタ４０、６０は、ハウジング１０の長さＬに沿って端から端まで配置される。例えば、フィルタ４０、６０は、ハウジング１０の長さＬに沿って連続して配置される。フィルタ４０、６０は、ハウジング１０の軸線方向（例えば、方向Ｄ_１、方向Ｄ_２）で重なり合う、互いに最も近い側の軸線方向端部４６、６４を備える。図示される実施形態では、第１のフィルタ４０の第２の軸線方向端部４６は、第２のフィルタ６０の第１の軸線方向端部６４に固着される。一実施形態では、第１のフィルタ４０および第２のフィルタ６０は、単一の統合部分として形成されてもよい。例えば、第１のフィルタ４０のメインフレームおよび第２のフィルタ６０のメインフレームを、単一の統合部分として形成することができ、次に、第１のフィルタ媒体４２および第２のフィルタ媒体６２が単一の統合部分上に設けられる（例えば、取り付けられる、および／または充填される）。一実施形態では、第１のフィルタ４０の第２の軸線方向端部４６は、第２のフィルタ６０の第１の軸線方向端部６４から離隔されてもよい。例えば、かかる実施形態では、第１のフィルタ４０の第２の軸線方向端部４６と第２のフィルタ６０の第１の軸線方向端部６４との間に空間が設けられてもよい。

【0018】

液体流路Ｆ_Ａは、ハウジング１０を通って入口１２から出口１４まで延在する。液体流路は、直列のフィルタ４０、６０を通って延在するように構成される。液体流路Ｆ_Ａは、入口１２から出口１４まで、直列の第１のフィルタ媒体４２および第２のフィルタ媒体６２を通って延在する。液体は、第１のフィルタ媒体４２によってフィルタ処理され、次に第２のフィルタ媒体６２によってフィルタ処理される（例えば、第１のフィルタ媒体４２によってフィルタ処理された液体が、第２のフィルタ媒体６２によってさらにフィルタ処理される）。液体流路Ｆ_Ａは、複数の部分ｆ_Ａ１、ｆ_Ａ２、ｆ_Ａ３、ｆ_Ａ４、ｆ_Ａ５で形成される。一実施形態では、流路の部分ｆ_Ａ１、ｆ_Ａ２、ｆ_Ａ３、ｆ_Ａ４、ｆ_Ａ５は、互いに連続して接続される。例えば、第２の部分ｆ_Ａ２は、第１の部分ｆ_Ａ１を第３の部分ｆ_Ａ３に接続する（例えば、第２の部分ｆ_Ａ２が、第１の部分ｆ_Ａ１の終わりから第３の部分ｆ_Ａ３の始まりまで延在する）。

【0019】

液体流路Ｆ_Ａの第１の部分ｆ_Ａ１は、第１のフィルタ４０の軸線に沿って、第１のフィルタ４０を通って延在する。例えば、第１の部分ｆ_Ａ１は、ハウジング１０の入口１２から軸線方向入口４８を通って第１のフィルタ４０内へと延在する。液体流路Ｆ_Ａの第１の部分ｆ_Ａ１は、（フィルタ処理すべき）液体をハウジング１０の入口１２から第１のフィルタ４０内へと方向付ける。液体流路Ｆ_Ａの第２の部分ｆ_Ａ２は、第１のフィルタ媒体４２を通って径方向外側に延在する。例えば、第２の部分ｆ_Ａ２は、第１のフィルタ媒体４２を通って第１のフィルタ４０から出て、ハウジング１０の内部空間２６内へと延在する。第２の部分ｆ_Ａ２は、第１のフィルタ４０の第１のフィルタ媒体４２から径方向外側へと（例えば、第１のフィルタ４０の外に延在する方向Ｄ_３に、フィルタ４０の外に延在する方向Ｄ_３に、紙面奥へと真っ直ぐ延在する方向に、紙面の外へと真っ直ぐ延在する方向に、など）流れるように、液体を方向付けるように構成される。液体は、第１のフィルタ媒体４２を通り抜ける際にフィルタ処理される。例えば、図示される実施形態では、液体は、第１のフィルタ媒体４２の樹脂ビーズを通り抜ける際にフィルタ処理される。第１のフィルタ媒体４２によってフィルタ処理された液体は、第１のフィルタからハウジング１０の内部空間２６内へと径方向に排出される。

【0020】

液体流路Ｆ_Ａの第３の部分ｆ_Ａ３は、第１のフィルタ４０の外側および第２のフィルタ６０の外側に沿って延在する。第３の部分ｆ_Ａ３は、第１のフィルタ４０および第２のフィルタ６０両方の外側の内部空間２６を通って延在することができる。図２に示されるように、第３の部分ｆ_Ａ３は軸線方向Ｄ_２に延在する。例えば、第３の部分ｆ_Ａ３は、第１のフィルタ４０の第２の軸線方向端部４６および第２のフィルタ６０の第１の軸線方向端部６４を越えて軸線方向Ｄ_２に延在する。図２に示されるように、第３の部分ｆ_Ａ３は、第１の部分および第５の部分ｆ_Ａ５と同じ方向（例えば、方向Ｄ_２）に延在することができる。

【0021】

液体流路Ｆ_Ａの第４の部分ｆ_Ａ４は、第２のフィルタ媒体６２を通って径方向内側に延在する。第４の部分ｆ_Ａ４は、第２のフィルタ６０の外側から（例えば、内部空間２６から）第２のフィルタ６０内へと延在する。第４の部分ｆ_Ａ４は、第２のフィルタ６０内へと径方向内側に（例えば、第２のフィルタ６０内へと延在する方向Ｄ_３に、第２のフィルタ６０内へと延在する方向Ｄ_３に、図２の紙面奥へと真っ直ぐ向かう方向に、図２の紙面の外へと真っ直ぐ向かう方向に、など）延在する。図２に示されるように、第２の部分ｆ_Ａ２および第４の部分ｆ_Ａ４は、反対方向Ｄ_３、Ｄ_４に延在する。

【0022】

液体流路Ｆ_Ａの第５の部分ｆ_Ａ５は、第２のフィルタ６０を通って延在する。第５の部分ｆ_Ａ５は軸線方向Ｄ_２に延在する。例えば、第５の部分ｆ_Ａ５は、第２のフィルタ６０内から軸線方向出口６８を通ってハウジング１０の出口１４まで延在する。液体流路Ｆ_Ａの第５の部分ｆ_Ａ５は、フィルタ処理された液体を、第２のフィルタ６０からハウジング１０の出口１４へと方向付ける。第５の部分ｆ_Ａ５は、第２のフィルタ６０を通って軸線方向（例えば、方向Ｄ_２）に延在する。例えば、第５の部分ｆ_Ａ５は、第１の部分ｆ_Ａ１と同じ軸線方向Ｄ_２に延在することができる。第５の部分ｆ_Ａ５は、（第２のフィルタ処理媒体６２によってフィルタ処理された後の）液体を、第２のフィルタ６０からハウジング１０の出口１４へと方向付けるように構成される。フィルタ処理された液体は次に、ハウジング１０の出口１４を通してフィルタユニット１から排出される。（フィルタ処理すべき）液体は、入口１２を通ってフィルタユニット１に入り、フィルタ４０、６０および直列のそのフィルタ媒体４２、６２に通され、次に、フィルタ処理された液体は出口１４から排出される。

【0023】

フィルタユニット１のフィルタ４０、６０は、例えば、固体微粒子、液体不純物（例えば、有機物質など）、および／または溶存化学種（例えば、溶存金属、イオンなど）を含む、夾雑物をフィルタ処理するように構成されてもよい。フィルタユニット１で使用されるフィルタ媒体４２、６２は、フィルタユニット１が所望の夾雑物を液体から除去するように選択することができる。

【0024】

図２に示されるように、第１のフィルタ媒体４２および第２のフィルタ媒体６２は、異なるタイプのフィルタ媒体である。かかる実施形態では、第１のフィルタ媒体４２は、第１のタイプの夾雑物フィルタ処理を提供し、第２のフィルタ媒体６２は、第２のタイプの夾雑物フィルタ処理を提供する。例えば、第１のフィルタ媒体４２は金属イオンフィルタ処理を提供してもよく、第２のフィルタ媒体６２は粒子フィルタ処理を提供してもよい。一実施形態では、第１のフィルタ媒体４２は、使用する間に粒子（例えば、樹脂ビーズなど）を生成することがあり、第２のフィルタ媒体６２は、第１のフィルタ媒体４２によって生成された粒子を捕捉する粒子フィルタ処理を提供してもよい。これは、有利には、単一のフィルタユニットが、単一のユニットで複数のタイプの夾雑物フィルタ処理を提供すること、および／または粒子を生成するタイプのフィルタ媒体を採用することを可能にすることができる。

【0025】

一実施形態では、第１のフィルタ媒体４２および第２のフィルタ媒体６２は、同じタイプのフィルタ媒体であってもよい。かかる一実施形態では、第１のフィルタ媒体４２および第２のフィルタ媒体６２は、同じタイプの夾雑物フィルタ処理を提供する。第１のフィルタ媒体４２は、液体中の夾雑物を第１の濃度まで除去するように構成することができ、第２のフィルタ媒体６２は、液体中の夾雑物を第２のより低い濃度までさらに除去するように構成することができる。これは、有利には、フィルタユニットが、多量の夾雑物を含有する液体に対する高負荷の濾過を提供するのを可能にすることができる。

【0026】

図示される実施形態では、第１のフィルタ媒体４２は樹脂ビーズである。樹脂ビーズは充填層の形態である。一実施形態では、樹脂ビーズは、１つのタイプ（単一成分）または複数のタイプ（多成分）であることができる。図示される実施形態では、第２のフィルタ媒体６２はメンブレンである。メンブレンフィルタは、一実施形態では、単層または多層（例えば、布地層、ポリマーコーティング層など）を有することができる。一実施形態では、第１のフィルタ媒体４２および第２のフィルタ媒体６２はそれぞれ、メンブレン、樹脂ビーズ、中空繊維、デプス繊維（depth fibers）、スポンジ系媒体、またはそれらの組み合わせのうち１つから選択されてもよい。例えば、メンブレンは、有機物質、金属、粒子、イオン（例えば、カチオンおよびアニオン）などを、液体からフィルタ処理するように構成することができる。例えば、樹脂ビーズは、金属有機物質（例えば、活性炭層などの形態の樹脂ビーズ）をフィルタ処理するように構成することができる。例えば、デプス繊維は、一般に、高汚染負荷用途で使用するように構成される。

【0027】

図３は、フィルタユニット１００の別の実施形態の断面図である。フィルタユニット１００は、全体として、後述する点を除いて、図１および図２のフィルタユニット１と同様の特徴を有する。例えば、フィルタユニット１００は、図１および図２のフィルタユニット１に関して上述したのと同様に、入口１１２および出口１１４を有するハウジング１１０と、ハウジング１１０内に配置された第１のフィルタ１４０および第２のフィルタ１６０と、入口１１２から出口１１４まで、直列の第１のフィルタ１４０および第２のフィルタ１６０を通って延在する液体流路Ｆ_Ｂとを含む。例えば、第１のフィルタ１４０は、ハウジング１１０の第１のエンドキャップ１２２に固着された第１の軸線方向端部１４４を含み、第２のフィルタ１４０は、ハウジング１１０の反対側の第２のエンドキャップ１２４に固着された第２の軸線方向端部１４６を含む。第１のフィルタ１４０は第１のフィルタ媒体１４２を含み、第２のフィルタ１６０は第２のフィルタ媒体１６２を含み、図２および図３のフィルタ媒体４２、６２に関して記載したのと同様の特徴を有する。一実施形態では、ハウジング１１０は、図１および図２のハウジング１０に関して記述したような（例えば、ベント１６Ａ、ベント１６Ｂ）、ガスを排気する１つまたは複数のベントを含んでもよい。

【0028】

図３に示されるように、第１のフィルタ１４０は、第１のフィルタ１４０の第２の軸線方向端部１４６に形成された軸線方向出口１４８を含む。第１のフィルタ媒体１４２は、第１のフィルタ１４０の径方向入口であるように構成される。第１のフィルタ１４０は、第１のフィルタ媒体１４２によってフィルタ処理された液体（例えば、第１のフィルタ１４０に流れ込む流体）を、軸線方向出口１４８を通して排出するように構成される。第２のフィルタ１６０は、第２のフィルタ１６０の第１の軸線方向端部１６４に形成された軸線方向入口１６８を含む。第２のフィルタ媒体１６２は、第２のフィルタ１６０の径方向出口であるように構成される。第１のフィルタ１４０の第２の軸線方向端部１４６は、第１のフィルタ１６０の軸線方向出口１４８が第２のフィルタ１６０の軸線方向入口１６８に流体接続するようにして、第２のフィルタ１６０の第１の軸線方向端部１６４に固着される。例えば、第１のフィルタ１４０の第２の軸線方向端部１４６は、第２のフィルタ１６０の第１の軸線方向端部１６４に接合（例えば、熱接合）することができる。軸線方向端部１４６、１６４は、第１のフィルタ１４０の軸線方向出口１４８が第２のフィルタの軸線方向入口１６８と重なり合うようにして接続される。一実施形態では、第１のフィルタ１４０および第２のフィルタ１６０は、単一の統合部分として形成されてもよい。例えば、第１のフィルタ１４０のメインフレームおよび第２のフィルタ１６０のメインフレームを、単一の統合部分として形成することができ、次に、第１のフィルタ媒体１４２および第２のフィルタ媒体１６２が単一の統合部分上に設けられる（例えば、取り付けられる、および／または充填される）。

【0029】

図３に示されるように、ハウジング１１０の内部空間１２６は、上部内部空間１２６Ａと下部内部空間１２６Ｂとを含む。フィルタユニット１００は、上部内部空間１２６Ａを下部内部空間１２６Ｂから分離するディバイダ１９０を含む。ハウジング１１０の入口１１２は上部内部空間１２６Ａに接続し（例えば、フィルタ処理されていない液体を上部内部空間１２６Ａ内へと方向付ける）、出口１１４は下部内部空間１２４Ｂから接続する。液体流路Ｆ_Ｂによって図示されるように、フィルタユニット１００の構成によって、液体はフィルタ１４０、１６０を通り抜けて、上部内部空間１２６Ａから下部内部空間１２６Ｂへと流れる（例えば、ハウジング１１０内で入口１１２から出口１１４へと流れる）。例えば、上部内部空間１２６Ａは、フィルタ１４０、１６０の接続された軸線方向出口１４８および軸線方向入口１６８を通して、下部内部空間１２６Ｂに接続される。

【0030】

第１のフィルタ媒体１４２は、第１のフィルタ１４０の径方向入口であり、第２のフィルタ媒体１６２は、第２のフィルタ１６０の径方向出口である。液体は、第１のフィルタ媒体１４２を通って径方向で第１のフィルタ１４０に入り（例えば、第１のフィルタ１４０内へと延在する方向Ｄ_３に、第１のフィルタ１４０内へと延在する方向Ｄ_４に、など）、（フィルタ処理された後に）第１のフィルタ１４０の軸線方向（例えば、方向Ｄ_２）で軸線方向出口１４８を通して第１のフィルタ１４０から排出される。液体は、（第１のフィルタ１４０から）軸線方向入口１６８を通って第２のフィルタ１６０の軸線方向で（例えば、方向Ｄ_２で）第２のフィルタ１６０に流れ込み、第２のフィルタ媒体１６２を通して第２のフィルタ１６０から径方向に（例えば、第２のフィルタ１６０内へと延在する方向Ｄ_３に、第２のフィルタ１６０内へと延在する方向Ｄ_４に、など）排出される。例えば、図３に示されるように、液体は、第２のフィルタ１６０から複数の径方向（例えば、径方向Ｄ_３、反対の径方向Ｄ_４）に排出される。図示される実施形態では、液体は、第１のフィルタ媒体１４２を通って径方向内側に方向付けられ、第２のフィルタ媒体１６２を通して径方向外側に方向付けられる。

【0031】

液体流路Ｆ_Ｂは、ハウジング１１０を通って入口１１２から出口１１４まで延在する。液体流路は、直列のフィルタ１４０、１６０を通って延在するように構成される。液体流路Ｆ_Ｂは、入口１１２から出口１１４まで、直列の第１のフィルタ１４２および第２のフィルタ１６２を通って延在する。液体は、第１のフィルタ媒体１４２によってフィルタ処理され、次に第２のフィルタ媒体１６２によってフィルタ処理される（例えば、第１のフィルタ媒体１４２によってフィルタ処理された液体が、第２のフィルタ媒体１６２によってさらにフィルタ処理される）。液体流路Ｆ_Ｂは、複数の部分ｆ_Ｂ１、ｆ_Ｂ２、ｆ_Ｂ３、ｆ_Ｂ４、ｆ_Ｂ５で形成される。一実施形態では、流路の部分ｆ_Ｂ１、ｆ_Ｂ２、ｆ_Ｂ３、ｆ_Ｂ４、ｆ_Ｂ５は、互いに連続して接続される。例えば、第２の部分ｆ_Ｂ２は、第１の部分ｆ_Ｂ１を第３の部分ｆ_Ｂ３に接続する（例えば、第２の部分ｆ_Ｂ２が、第１の部分ｆ_Ｂ１の終わりから第３の部分ｆ_Ｂ３の始まりまで延在する）。

【0032】

液体流路Ｆ_Ｂの第１の部分ｆ_Ｂ１は、第１のフィルタ１４０の外側に沿って内部空間１２６を通って延在する。第１の部分ｆ_Ｂ１は、フィルタ１４０、１６０の外側にあり、ハウジング１１０の軸線方向（例えば、方向Ｄ_２）に延在する。例えば、第１の部分ｆ_Ｂ１は、ハウジング１１０の入口１１２からフィルタ１４０、１６０の外側の上部内部空間１２６内へと延在する。液体流路Ｆ_Ｂの第１の部分ｆ_Ｂ１は、（フィルタ処理すべき）液体をハウジング１１０の入口１１２から第１のフィルタのフィルタ媒体１４２へと方向付ける。

【0033】

液体流路Ｆ_Ｂの第２の部分ｆ_Ｂ２は、第１のフィルタ媒体１４２を通って径方向内側に延在する。例えば、第２の部分ｆ_Ｂ２は、ハウジング１１０の内部空間１２６から（例えば、上部内部空間１２６Ａから）第１のフィルタ媒体１４２を通って第１のフィルタ１２４内へと延在する。第２の部分ｆ_Ｂ２は、液体を方向付けて、第１のフィルタ媒体１４２を通って径方向内側に（例えば、第１のフィルタ１４０内へと延在する方向Ｄ_３に、第１のフィルタ１４０内へと延在する方向Ｄ_４に、など）流すように構成される。液体は、図２および図３の第１のフィルタ媒体４２の場合と同様に、第１のフィルタ媒体１４２を通り抜ける際にフィルタ処理される。

【0034】

液体流路Ｆ_Ｂの第３の部分ｆ_Ｂ３は、第１のフィルタ１４０から第２のフィルタ１６０まで延在する。第３の部分ｆ_Ｂ３は、第１のフィルタ１４０の軸線に沿って（例えば、軸線方向Ｄ_２に）第１のフィルタ１４０を通って延在し、第２のフィルタ１６０の軸線に沿って（例えば、軸線方向Ｄ_２に）第２のフィルタ１６０を通って延在する。第３の部分ｆ_Ｂ３は、第１のフィルタ１４０の軸線方向出口１４８および第２のフィルタ１６０の軸線方向入口１６８を通って延在する。第３の部分ｆ_Ｂ３は、第１のフィルタ媒体１４２によってフィルタ処理された液体を、第１のフィルタ１４０から第２のフィルタ１６０内へと方向付けるように構成される。例えば、第３の部分ｆ_Ｂ３内を流れる液体は、第１のフィルタ１４０の軸線方向出口１４８から第２のフィルタ１６０の軸線方向入口１６８内へと排出される。図３に示されるように、第３の部分ｆ_Ｂ３は、第１の部分ｆ_Ｂ１と同じ方向（例えば、方向Ｄ_２）に延在することができる。

【0035】

液体流路Ｆ_Ｂの第４の部分ｆ_Ｂ４は、第２のフィルタ媒体１６２を通って径方向外側に延在する。第４の部分ｆ_Ａ４は、第２のフィルタ１６０の内側から内部空間１２６内へ（例えば、下部内部空間１２６Ｂ内へ）と延在する。第４の部分ｆ_Ａ４は、第２のフィルタ１６０内の液体を方向付けて、第２のフィルタ媒体１６２を通って径方向外側に（例えば、第２のフィルタ１６０の外に延在する方向Ｄ_３に、第２のフィルタ１６０の外に延在する径方向Ｄ_３に、など）内部空間１２６内へと流すように構成される。図３に示されるように、第２の部分ｆ_Ｂ２および第４の部分ｆ_Ｂ４は、反対方向Ｄ_３、Ｄ_４に延在する。

【0036】

液体流路Ｆ_Ｂの第５の部分ｆ_Ｂ５は、第１のフィルタ１４０の外側に沿って内部空間１２６を通って延在する。第５の部分ｆ_Ｂ５は、フィルタ１４０、１６０の外側にあり、ハウジング１１０の軸線方向Ｄ_２に延在する。例えば、第５の部分ｆ_Ｂ５は、フィルタ１４０、１６０の外側の下部内部空間１２６Ｂから、ハウジング１１０の出口１１４まで延在する。第５の部分ｆ_Ｂ５は、（第２のフィルタ処理媒体１６２によってフィルタ処理された後の）液体を、第２のフィルタ１６０からハウジング１１０の出口１１４へと方向付ける。図３に示されるように、第５の部分ｆ_Ｂ５は、液体流路Ｆ_Ｂの第１の部分ｆ_Ｂ２および第３の部分ｆ_Ｂ２と同じ方向Ｄ_２に延在することができる。フィルタ処理された液体は次に、フィルタユニット１００を通してハウジング１１０の出口１１４から排出される。（フィルタ処理すべき）液体は、入口１１２を通ってフィルタユニット１０１に入り、フィルタ１４０、１４２および直列のそのフィルタ媒体１４２、１６２に通され、次に、フィルタ処理された液体は出口１１４から排出される。

【0037】

図４は、フィルタユニット内で液体をフィルタ処理する方法１０００のブロックフロー図である。方法１０００は、図１および図２のフィルタユニット１、ならびに図３のフィルタユニット１００に適用されてもよい。フィルタユニットは、ハウジング（例えば、ハウジング１０、ハウジング１１０）と、ハウジング内に配置された第１のフィルタ（例えば、第１のフィルタ４０、第１のフィルタ１４０）および第２のフィルタ（例えば、第２のフィルタ６０、第２のフィルタ１６０）とを含む。方法１０００は１０１０で始まる。

【0038】

１０１０で、液体は、ハウジングの入口（例えば、入口１２、入口１１２）から、第１のフィルタの第１のフィルタ媒体（例えば、第１のフィルタ媒体４２、第１のフィルタ媒体１４２）へと方向付けられる。一実施形態では、１０１０で液体を方向付けることは、液体を第１のフィルタの軸線方向入口（例えば、軸線方向入口４８）に通すこと１０１２を含むことができる。一実施形態では、１０１０で液体を方向付けることは、液体を入口から、第１および第２のフィルタの外側にあるハウジングの内部空間（例えば、内部空間２６、内部空間１２６）内へと方向付けること１０１４を含むことができる。方法１０００は次に１０２０に進む。

【0039】

１０２０で、液体は、第１のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の一方に通される。一実施形態では、１０２０で、液体は、第１のフィルタ媒体を通して径方向外側に通る（例えば、液体流路Ｆ_Ａの第２の部分ｆ_Ａ２）。例えば、液体は、第１のフィルタを出てハウジングの内部空間の空き空間（例えば、第１のフィルタ４０の外側に沿った内部空間２４の空き空間）内へと方向付けられる。一実施形態では、１０２０で、液体は、第１のフィルタ媒体を通して径方向内側に通る（例えば、液体流路Ｆ_Ｂの第２の部分ｆ_Ｂ２）に通る。方法１０００は次に１０３０に進む。例えば、液体は、内部空間から第１のフィルタ内へと（例えば、上部内部空間１２６Ａから第１のフィルタ１４０内へと）方向付けられる。方法１０００は次に１０３０に進む。

【0040】

１０３０で、液体は、第１のフィルタ媒体から第２のフィルタの第２のフィルタ媒体（例えば、第２のフィルタ媒体６２、第２のフィルタ媒体１６２）へと方向付けられる。一実施形態では、１０３０で液体を方向付けることは、第１のフィルタの外側に沿ってハウジングの内部空間を通って液体を方向付けること（例えば、液体流路Ｆ_Ａの第３の部分ｆ_Ａ３）１０３２を含む。一実施形態では、１０３０で液体を方向付けることは、第１のフィルタの軸線方向出口（例えば、軸線方向出口１４８）および第２のフィルタの軸線方向入口（例えば、軸線方向入口１６８）に液体を通すこと１０３４を含むことができる。方法１０００は次に１０４０に進む。

【0041】

１０４０で、液体は、第２のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の他方に通される。一実施形態では、１０２０では、液体は第１のフィルタ媒体を通して径方向外側に通され、１０４０では、液体は第２のフィルタ媒体を通して径方向内側に通される（例えば、液体流路Ｆ_Ａの第４の部分ｆ_Ａ４）。例えば、液体は、第２のフィルタ媒体を通して、ハウジングの内部空間（例えば、フィルタ２０、４０の外側の内部空間２４）から第２のフィルタ内へと径方向内側に方向付けられる。一実施形態では、１０２０では、液体は第１のフィルタ媒体を通して径方向内側に通され、１０４０では、液体は第２のフィルタ媒体を通して径方向外側に通される（例えば、液体流路Ｆ_Ｂの第４の部分ｆ_Ｂ４）。例えば、液体は、フィルタ媒体を通してハウジングの内部空間（例えば、下部内部空間１２６Ｂ）内へと径方向外側に方向付けられる。一実施形態では、方法１０００は次に、１０５０にも進んでもよい。

【0042】

１０５０で、液体は、第２のフィルタ媒体からハウジングの出口（例えば、出口１４、出口１１４）へと方向付けられる。一実施形態では、１０５０で液体をハウジングの出口へと方向付けることは、第２のフィルタの軸線方向出口（例えば、軸線方向出口６８）に液体を通すこと１０５２を含むことができる。例えば、１０５２で液体を軸線方向出口に通すことは、液体を、第２のフィルタの軸線方向出口から出口用のハウジングの開口部（例えば、開口部１５）内へと方向付けることを含むことができる。一実施形態では、１０５０で液体をハウジングの出口へと方向付けることは、フィルタ処理された液体を第１および第２のフィルタの外側へと方向付けること１０５４を含むことができる（例えば、フィルタ処理された液体は、下部内部空間１２６Ｂの第２のフィルタ媒体１６２から排出される）。例えば、１０５４で、フィルタ処理された液体をフィルタの外側へと方向付けることは、液体を第２のフィルタの外側に沿って方向付けること（例えば、液体流路Ｆ_Ｂの第５の部分ｆ_Ｂ５）を含むことができる。

【0043】

一実施形態における方法１０００は、図１および２のフィルタユニット１に関して上述したような特徴、ならびに／あるいは図３のフィルタユニット１００に関して上述したような特徴を含むように、修正されてもよいことが認識されるべきである。

【0044】

態様
態様１～１１はいずれも、態様１２～１８のいずれかと組み合わせることができる。

【0045】

態様１。入口および出口を有するハウジングと、ハウジング内に配置され、第１のフィルタ媒体を含む第１のフィルタと、ハウジング内に配置され、第２のフィルタ媒体を含む第２のフィルタと、入口から出口まで、直列の第１のフィルタ媒体および第２のフィルタ媒体を通って延在する液体流路であって、液体を、第１のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の一方に方向付け、液体を、第２のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の他方に方向付けるように構成された、液体流路とを備える、液体をフィルタ処理するためのフィルタユニット。

【0046】

態様２。第１のフィルタおよび第２のフィルタが、ハウジングの長さに沿って端から端まで配置される、態様１に記載のフィルタユニット。

【0047】

態様３。液体流路が、第１のフィルタ媒体を通して径方向外側に液体を方向付け、第２のフィルタ媒体を通して径方向内側に液体を方向付けるように構成され、第１のフィルタ媒体が第１のフィルタの径方向出口であり、第２のフィルタ媒体が第２のフィルタの径方向入口である、態様１および２のいずれか１つに記載のフィルタユニット。

【0048】

態様４。液体流路が、第１のフィルタ媒体を通して径方向内側に液体を方向付け、第２のフィルタ媒体を通して径方向外側に液体を方向付けるように構成され、第１のフィルタ媒体が第１のフィルタの径方向入口であり、第２のフィルタ媒体が第２のフィルタの径方向出口である、態様１および２のいずれか１つに記載のフィルタユニット。

【0049】

態様５。ハウジングが、第１のエンドキャップと第２のエンドキャップとを有し、第１のフィルタの第２の端部が第１のエンドキャップに固着され、ハウジングの第２のエンドキャップが第２のフィルタの第２の端部に固着される、態様１から４のいずれか１つに記載のフィルタユニット。

【0050】

態様６。第１のエンドキャップがハウジングの入口を含み、第２のエンドキャップがハウジングの出口を含む、態様５に記載のフィルタユニット。

【0051】

態様７。径方向内側および径方向外側が互いに反対方向である、態様１から６のいずれか１つに記載のフィルタユニット。

【0052】

態様８。流路が順に、第１のフィルタを通って軸線方向に延在する第１の部分と、第１のフィルタ媒体を通って径方向内側および径方向外側の一方に延在する第２の部分と、第１のフィルタの外側に沿って軸線方向に延在するか、第１のフィルタの軸線方向入口および第２のフィルタの軸線方向出口を通って延在するかの一方である第３の部分と、第２のフィルタ媒体を通って径方向内側および径方向外側の他方に延在し、第２のフィルタ媒体を通る第４の部分と、第２のフィルタを通って軸線方向に延在する第５の部分とを含む、態様１から７のいずれか１つに記載のフィルタユニット。

【0053】

態様９。第１のフィルタ媒体および第２のフィルタ媒体が同じタイプのフィルタ媒体である、態様１から８のいずれか１つに記載のフィルタユニット。

【0054】

態様１０。第１のフィルタ媒体および第２のフィルタ媒体が異なるタイプのフィルタ媒体である、態様１から８のいずれか１つに記載のフィルタユニット。

【0055】

態様１１。第１のフィルタ媒体および第２のフィルタ媒体がそれぞれ、メンブレン、樹脂ビーズ、中空繊維、デプス繊維、スポンジ系媒体、またはそれらの組み合わせから選択される、態様１から８のいずれか１つに記載のフィルタユニット。

【0056】

態様１２。入口および出口を有するハウジングを含むフィルタユニット内の液体をフィルタ処理する方法であって、液体をハウジングの入口からハウジング内に配置された第１のフィルタの第１のフィルタ媒体へと方向付けることと、液体を、第１のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の一方に通すことと、液体を第１のフィルタからハウジング内に配置された第２のフィルタの第２のフィルタ媒体へと方向付けることと、液体を、第２のフィルタ媒体を通して径方向内側および径方向外側の他方に通すこととを含む、方法。

【0057】

態様１３。液体を第２のフィルタ媒体からハウジングの出口へと方向付けることをさらに含む、態様１２に記載の方法。

【0058】

態様１４。液体を第２のフィルタ媒体からハウジングの出口へと方向付けることが、液体を第２のフィルタの軸線方向出口に通すことを含む、態様１２および１３のいずれか１つに記載の方法。

【0059】

態様１５。液体を第２のフィルタ媒体からハウジングの出口へと方向付けることが、液体を第１のフィルタおよび第２のフィルタの外側で出口へと方向付けることを含む、態様１２および１３のいずれか１つに記載の方法。

【0060】

態様１６。液体をハウジングの入口から第１のフィルタの第１のフィルタ媒体へと方向付けることが、液体を第１のフィルタの軸線方向入口に通すことを含む、態様１２、１３、および１４のいずれか１つに記載の方法。

【0061】

態様１７。第１のフィルタおよび第２のフィルタがハウジングの内部空間内に配置され、液体をハウジングの入口から第１のフィルタの第１のフィルタ媒体へと方向付けることが、液体を入口から第１のフィルタおよび第２のフィルタの外側にあるハウジングの内部空間内へと方向付けることを含む、態様１２、１３、および１５のいずれか１つに記載の方法。

【0062】

態様１８。第１のフィルタ媒体および第２のフィルタ媒体がそれぞれ、メンブレン、樹脂ビーズ、中空繊維、デプス繊維、スポンジ系媒体、またはそれらの組み合わせから選択される、態様１２から１７のいずれか１つに記載の方法。

【0063】

本出願に開示した実施例は、あらゆる点で例示的であって限定的ではないものとみなされるべきである。本発明の範囲は前述の説明ではなく添付の特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と等価の意味および範囲内にあるすべての変更が包含されるものとする。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【国際調査報告】