特表 2024-545652 横方向にフィルタが配置された液体フィルタユニットおよびその動作方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2024-12-10

(54)【発明の名称】横方向にフィルタが配置された液体フィルタユニットおよびその動作方法

(51)【国際特許分類】

   B01D 29/50 20060101AFI20241203BHJP

   B01D 24/00 20060101ALI20241203BHJP

   B01D 29/11 20060101ALI20241203BHJP

【ＦＩ】

B01D29/24 E

B01D29/08 530A

B01D29/08 540A

B01D29/10 510E

B01D29/10 510G

B01D29/10 530A

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024535318

(86)(22)【出願日】2022-12-07

(85)【翻訳文提出日】2024-07-31

(86)【国際出願番号】 US2022052165

(87)【国際公開番号】W WO2023114072

(87)【国際公開日】2023-06-22

(31)【優先権主張番号】63/289,479

(32)【優先日】2021-12-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】サンパス， シッダールス

(72)【発明者】

【氏名】バーク， クリストファー ポール

(72)【発明者】

【氏名】バベ， アシュトッシュ シリカント

(72)【発明者】

【氏名】リンシコム， ヘイデン

【テーマコード（参考）】

4D116

【Ｆターム（参考）】

4D116AA07

4D116BA01

4D116BB01

4D116BC11

4D116BC23

4D116BC27

4D116BC46

4D116BC47

4D116BC76

4D116BC77

4D116DD05

4D116DD06

4D116EE02

4D116EE11

4D116FF02A

4D116FF03A

4D116FF13B

4D116FF18B

4D116FF20B

4D116GG12

4D116QA39C

4D116QA39D

4D116QA39E

4D116QA39F

4D116QB02

4D116QB11

4D116QB12

4D116QB14

4D116QB16

4D116UU20

4D116VV01

4D116VV07

4D116VV30

(57)【要約】

フィルタユニットは、ハウジングと、ハウジング内に配置された第１のフィルタおよび第２のフィルタと、第１のフィルタおよび第２のフィルタを順番に通って延在する液体流路とを含む。第１のフィルタは、ハウジングに固定された第１の軸方向端部と、第１のフィルタ媒体とを含む。第２のフィルタは、ハウジングに固定された第１の軸方向端部と、第２のフィルタ媒体とを含む。液体は、第１のフィルタ媒体を通って半径方向外側に、第２のフィルタ媒体を通って半径方向内側に誘導される。フィルタユニット内で液体を濾過する方法は、第１のフィルタの第１のフィルタ媒体を通って半径方向外側に液体を通すことと、第１のフィルタから第２のフィルタに液体を誘導することと、第２のフィルタの第２のフィルタ要素を通って半径方向内側に液体を通すこととを含む。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を濾過するためのフィルタユニットであって、
入口および出口を有するハウジングと、
前記ハウジング内に配置され、前記ハウジングの内面に固定された第１の軸方向端部、前記ハウジングの前記入口の開口部の上に配置された軸方向入口、および第１のフィルタ媒体を含む第１のフィルタと、
前記ハウジング内に配置され、前記ハウジングの前記内面に固定された第１の軸方向端部、前記ハウジング内の前記出口の開口部の上に配置された軸方向出口、および第２のフィルタ媒体を含む第２のフィルタと、
前記入口から前記第１のフィルタ媒体および前記第２のフィルタ媒体を順番に通って前記出口まで延在する液体流路であって、前記液体流路が、前記第１のフィルタ媒体を通って半径方向外側に前記液体を誘導し、前記第２のフィルタ媒体を通って前記半径方向内側に前記液体を誘導するように構成される、液体流路と
を備える、フィルタユニット。

【請求項2】

前記第１のフィルタの前記軸方向入口が、前記第１のフィルタの前記第１の軸方向端部に形成され、
前記第２のフィルタの前記軸方向出口が、前記第２のフィルタの前記第１の軸方向端部に形成される、
請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項3】

前記第１のフィルタ媒体が、前記第１のフィルタの半径方向出口となるように構成され、
前記第２のフィルタ媒体が、前記第２のフィルタの半径方向入口となるように構成される、
請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項4】

前記第１のフィルタが、前記ハウジング内で前記第２のフィルタから離間している、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項5】

前記第１のフィルタおよび前記第２のフィルタが、前記ハウジング内で並んで配置される、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項6】

前記液体流路が、順に、
前記第１のフィルタの軸に沿って前記第１のフィルタを通って延在する第１の部分と、
前記第１のフィルタ媒体を通って半径方向外側に延在する第２の部分と、
前記第１のフィルタ媒体から前記第２のフィルタ媒体まで延在する第３の部分と、
前記第２のフィルタ媒体を通って半径方向内側に延在する第４の部分と、
前記第２のフィルタの軸に沿って前記第２のフィルタを通って延在する第５の部分と
を含む、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項7】

前記第３の部分が、前記第１のフィルタに対して半径方向外側であり、前記第２のフィルタに対して半径方向内側である第１の方向に延在する、請求項６に記載のフィルタユニット。

【請求項8】

前記第１のフィルタ媒体および前記第２のフィルタ媒体が、各々薄膜、樹脂ビーズ、中空繊維、深度繊維、スポンジベースの媒体、またはそれらの組合せから選択される、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項9】

前記第１のフィルタ媒体および前記第２のフィルタ媒体が、同じタイプのフィルタ媒体である、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項10】

前記第１のフィルタ媒体および前記第２のフィルタ媒体が、異なるタイプのフィルタ媒体である、請求項１に記載のフィルタユニット。

【請求項11】

フィルタユニット内で液体を濾過する方法であって、前記フィルタユニットが入口および出口を有するハウジングを含み、前記方法が、
前記ハウジングの前記入口から前記ハウジング内に配置された第１のフィルタのフィルタ媒体に前記液体を誘導することであって、前記第１のフィルタが、前記ハウジングの内面に固定された第１の軸方向端部および前記ハウジングの前記入口の開口部の上に配置された軸方向入口を含む、前記液体を誘導することと、
前記第１のフィルタ媒体を通って半径方向外側に前記液体を通すことと、
前記第１のフィルタ媒体から前記ハウジング内に配置された第２のフィルタの第２のフィルタ媒体に前記液体を誘導することであって、前記第２のフィルタが、前記ハウジングの前記内面に固定された第１の軸方向端部および前記ハウジングの前記出口の開口部の上に配置された軸方向出口を含む、前記液体を誘導することと、
前記第２のフィルタ媒体を通って半径方向内側に前記液体を通すことと
を含む、方法。

【請求項12】

前記第２のフィルタ媒体から前記ハウジングの出口に前記液体を誘導すること
をさらに含む、請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

前記第２のフィルタ媒体から前記ハウジングの出口に前記液体を前記誘導することが、前記第２のフィルタの軸方向出口を通って前記液体を通すことを含む、請求項１２に記載の方法。

【請求項14】

前記第１のフィルタ媒体から前記第２のフィルタの前記第２のフィルタ媒体に前記液体を前記誘導することが、前記液体を誘導することを含む、請求項１１に記載の方法。

【請求項15】

前記ハウジングの入口から前記第１のフィルタの前記フィルタ媒体に前記液体を誘導することが、前記第１のフィルタの軸方向入口を通って前記液体を通すことを含む、請求項１１に記載の方法。

【請求項16】

前記第１のフィルタ媒体および前記第２のフィルタ媒体が、薄膜、樹脂ビーズ、中空繊維、深度繊維、スポンジベースの媒体、またはそれらの組合せのうちの１つから選択される、請求項１１に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、一般に、フィルタユニットに関する。より詳細には、本開示は、液体を濾過するように構成されたフィルタユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

フィルタは、流体から汚染物質を除去するために半導体製造において使用することができる。流体（例えば、液体、水など）は、フィルタユニットを通って誘導される。フィルタユニットは、液体がフィルタを通るときに液体から汚染物質を除去するように構成することができる。汚染物質には、例えば、固体粒子、液体不純物、および溶解した化学種が含まれ得る。

【発明の概要】

【0003】

一実施形態では、液体を濾過するためのフィルタユニットは、入口および出口を有するハウジングと、ハウジング内に配置された第１のフィルタと、ハウジング内に配置された第２のフィルタと、液体流路とを含む。第１のフィルタは、ハウジングの内面に固定された第１の軸方向端部と、ハウジングの入口の開口部の上に配置された軸方向入口と、第１のフィルタ媒体とを含む。第２のフィルタは、ハウジングの内面に固定された第１の軸方向端部と、ハウジングの出口の開口部の上に配置された軸方向出口と、第２のフィルタ媒体とを含む。液体流路は、第１のフィルタ媒体および第２のフィルタ媒体を順番に通って入口から出口まで延在する。液体流路内の液体は、第１のフィルタ媒体を通って半径方向外側に、第２のフィルタ媒体を通って半径方向内側に流れる。

【0004】

一実施形態では、方法は、フィルタユニット内で液体を濾過することを対象にする。フィルタユニットは、入口および出口を有するハウジングを含む。方法は、ハウジングの入口からハウジング内に配置された第１のフィルタのフィルタ媒体に液体を誘導することを含む。第１のフィルタは、ハウジングの内面に固定された第１の軸方向端部と、ハウジングの入口の開口部の上に配置された軸方向入口とを含む。方法はまた、第１のフィルタ媒体を通って半径方向外側に液体を通すことと、第１のフィルタ媒体からハウジング内に配置された第２のフィルタの第２のフィルタ媒体に液体を誘導することとを含む。第２のフィルタは、ハウジングの内面に固定された第１の軸方向端部と、ハウジングの出口の開口部の上に配置された軸方向出口とを含む。方法はまた、第２のフィルタ媒体を通って半径方向内側に液体を通すことを含む。

【図面の簡単な説明】

【0005】

【図1】フィルタユニットの一実施形態の側面斜視図である。

【図2】一実施形態による、図１のフィルタユニットの断面図である。

【図3】一実施形態による、図２のフィルタユニットの断面の斜視図である。

【図4】フィルタユニット内で液体を濾過する方法の一実施形態のブロックフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0006】

同様の数字は同様の特徴を表す。

【0007】

図１は、フィルタユニット１の一実施形態の側面斜視図を示す。フィルタユニット１は、流体を濾過するように構成される。流体は、フィルタユニット１を通る際に濾過される。フィルタユニット１を出入りする流れは、図１に破線矢印で示されている。フィルタユニット１は、互いに対して横方向に配置され得る（図２に示された）フィルタ４０、６０を収容するハウジング１０を含む。フィルタユニット１は、特定の量の格納容器を取り外した後に取り外され交換されるように構成された取り外し可能なフィルタユニット１である。一実施形態では、フィルタユニット１は、フィルタマニホールド（図示せず）に設置されるように構成することができる。例えば、フィルタマニホールドは、フィルタユニット１に接続され、フィルタユニット１を通して流体を供給する入口チューブ／パイプ（図示せず）および出口チューブ／パイプ（図示せず）を含むことができる。

【0008】

図１に示されたように、ハウジング１０は、入口１２および出口１４を含む。（濾過される）液体は、入口１２を通ってフィルタユニット１０に入る。液体はハウジング１０内で濾過され、濾過された液体は、次いで出口１４を通ってフィルタユニット１から排出される。フィルタユニット１は、半導体製造に使用される液体を濾過するように構成される。例えば、いくつかの実施形態では、フィルタユニット１は、フォトリソグラフィおよび／またはウェットエッチングに使用される液体を濾過し洗浄するように構成される。フィルタユニット１によって濾過された液体は、１つまたは複数の酸、塩基、酸化剤、および／もしくは還元剤、またはそれらの任意の組合せを含む場合がある。例えば、液体は、水（例えば、脱イオン水）、ＨＣｌ、ＨＮＯ_３、イソプロピルアルコールなどであってもよい。ハウジング１０はまた、フィルタユニット１からのガスの排出を可能にするための通気孔１６を含むことができる。例えば、通気孔１６は、液体とともに入るガス（例えば、気泡など）がハウジング１０から放出されることを可能にするように構成される。

【0009】

図示された実施形態では、ハウジング１０は、ベース２０と、ベース２０に取り付けられたカバー２２とを含む。ハウジング１０は、機械的に、かつ／または結合（例えば、熱結合、接着結合など）を介して組み立てられる場合がある。図示された実施形態に示されたように、ハウジング１０は、結合を介して組み立てることができる（例えば、ベース２０に熱結合されたカバー２２）。例えば、カバー２０は、ベース２０に結合（例えば、熱結合、接着結合など）される場合がある。一実施形態では、ハウジング１０は、機械的に組み立てられる場合がある（例えば、ベース２０に機械的に取り付けられたカバー２２）。例えば、カバー２２およびベース２０は、スナップフィットを介して、またはロックキー機構を介して、などで構成され、互いに機械的に固定される場合がある。そのような実施形態では、ハウジング１０は、カバー２２とベース２０との間に封止を提供するためにシール（図示せず）を含む場合がある。図１に示されたように、入口１２および出口１４は、カバー２２の中に形成することができる。入口１２および出口１４は、ハウジング１０の同じ側（例えば、ハウジング１０の上側２３）に設けられる。一実施形態では、ハウジング１０はまた、フィルタユニット１が取り外される前にハウジング１０から液体を排出することを可能にするドレイン（図示せず）を含む場合がある。例えば、ドレインは、ハウジング１０のベース２０（例えば、ハウジング１０の底面）に設けることができる。一実施形態におけるハウジング１０は、ハウジング１０の異なる側に形成された入口１２および出口１４を有する場合があることを諒解されたい。他の実施形態では、ハウジング１０は、図１に示されたベース２０およびカバー２２とは異なる形状および／または異なる部分を有するように形成される場合がある。

【0010】

図２は、フィルタユニット１の断面図である。例えば、図２の図の断面は、図１の線ＩＩ－ＩＩに沿っている。図２に示されたように、フィルタユニット１は、ハウジング１０と、第１のフィルタ４０と、第２のフィルタ６０とを含む。ハウジング１０は、密閉された内部容積２４を有する。フィルタ４０、６０は、ハウジング１０内に配置される。図２に示されたように、フィルタ４０、６０は、ハウジング１０の内部容積２４内に配置される。フィルタユニット１は、フィルタユニット１を通って液体が流れる液体流路Ｆを有する。液体流路Ｆは、第１のフィルタ４０および第２のフィルタ媒体６０を順番に通って入口１２から出口１４まで延在する。液体は、液体流路Ｆを通る際に、フィルタ４０、６０によって濾過される。

【0011】

第１のフィルタ４０は、第１のフィルタ媒体４２と、第１の軸方向端部４４と、第２の軸方向端部４６と、軸方向入口４８とを含む。第１の軸方向端部４４および第２の軸方向端部４６は、第１のフィルタ４０の軸Ａ_１に沿った第１のフィルタ４０の対向する端部である。例えば、軸Ａ_１は、第１のフィルタ４０の管状形の高さに沿って延在する軸である。軸方向入口４８は、第１のフィルタ４０の第１の軸方向端部４４に形成される。第１のフィルタ媒体４２は、第１のフィルタ４０の第１の軸方向端部４４と第２の軸方向端部４６との間をフィルタ４０の軸方向（例えば、軸方向Ｄ_１、軸方向Ｄ_４）に沿って延在する。第１のフィルタ媒体４２は、第１のフィルタ４０内で管状形を有することができる。第１のフィルタ媒体４２は、第１のフィルタ４０の半径方向出口を形成する。例えば、液体は、その軸方向入口４８を通って第１のフィルタ４０に入り、その第１のフィルタ媒体４２から（濾過された後に）第１のフィルタ４０から排出される。

【0012】

第１のフィルタ４０の第１の軸方向端部４４は、ハウジング１０の内面２６に固定される。第１のフィルタ４０の第１の軸方向端部４４は、ハウジング１０の内面２６に結合されるか、または機械的に固定することができる。図示された実施形態では、第１の軸方向端部４４は、ハウジング１０に結合（例えば、熱結合、接着結合など）される。一実施形態では、第１の軸方向端部４４は、スナップフィット、ねじ山（例えば、第１の軸方向端部４４は、ハウジング１０の内面２６にねじ込まれるねじ山を有する）などを介して、ハウジング１０に機械的に固定される場合がある。第１のフィルタ４０の第１の軸方向端部４４は、入口１２のためのハウジング１０内の開口部１３の上に配置される。液体は、入口１２の開口部１３から第１のフィルタ４０に流入する。第１のフィルタ４０の第１の軸方向端部４４は、入口１２からハウジング１０に流入する液体が第１のフィルタ２０に流入することを強いられるように、入口１２のための開口部１３を完全に覆う。次いで、液体は、フィルタ媒体４２を通って流れ、第１のフィルタ４０からハウジング１０の内部容積２４に排出される。液体は、軸方向Ｄ_１に軸方向入口４８を通って第１のフィルタ４０に入り、第１のフィルタ４０から半径方向（例えば、軸Ａ_１から方向Ｄ_２、軸Ａ_１から方向Ｄ_３、図２の紙面内への方向、図２の紙面外への方向など）に排出される。ハウジング１０の内部容積２４内で、液体は、次いで、第１のフィルタ４０のフィルタ媒体４２から第２のフィルタ４０のフィルタ媒体６２に流れる。図２に示されたように、第１のフィルタ４０の第２の軸方向端部４６は、ハウジング１０から（例えば、ハウジング１０の底部側から）離間するように構成される場合がある。

【0013】

第２のフィルタ６０は、フィルタ媒体６２と、第１の軸方向端部６４と、第２の軸方向端部６６と、軸方向出口６８とを含む。第１の軸方向端部６４および第２の軸方向端部６６は、第２のフィルタ６０の軸Ａ_２に沿った第２のフィルタ６０の対向する端部である。例えば、軸Ａ_２は、第２のフィルタ６０の管状形の長さに沿って延在する軸である。軸方向出口６８は、第２のフィルタ６０の第１の軸方向端部６４に形成されている。第２のフィルタ媒体６２は、第２のフィルタ６０の第１の軸方向端部６４と第２の軸方向端部６６との間をフィルタ６０の軸方向（例えば、軸方向Ｄ_１、軸方向Ｄ_４）に沿って延在する。第２のフィルタ媒体６２は、第１のフィルタ６０内で管状形を有することができる。第２のフィルタ媒体６２は、第２のフィルタ６０の半径方向入口を形成する。例えば、液体は、その第２のフィルタ媒体６２を通って第２のフィルタ６０に半径方向に入り、その軸方向出口６８から（濾過された後に）第２のフィルタ６０から排出される。

【0014】

第２のフィルタ６０の第１の軸方向端部６４は、ハウジング１０の内面２６に固定される。第２のフィルタ６０の第１の軸方向端部４４は、ハウジング１０の内面２６に結合されるか、または機械的に固定することができる。図示された実施形態では、第１の軸方向端部６４は、ハウジング１０に結合（例えば、熱結合、接着結合など）される。一実施形態では、第１の軸方向端部６４は、スナップフィット、ねじ山（例えば、第１の軸方向端部６４は、内面２６内のねじ山にねじ込まれる）などを介して、ハウジング１０に機械的に固定される場合がある。第２のフィルタ６０の第１の軸方向端部６４は、出口１６のためのハウジング１０内の開口部１５の上に配置される。第２のフィルタ６０の第１の軸方向端部６４は、出口１６のためのハウジング１０内の開口部１６を完全に覆う。第１の軸方向端部６４は、開放内部容積２４内の流体が第２のフィルタ６０を通って流れてハウジング１０およびフィルタユニット１を出ることを強いられるように、ハウジング１０の内面２６との密封接続を形成する。

【0015】

図２に示されたように、第１のフィルタ４０の第１の軸方向端部４４および第２のフィルタ６０の第１の軸方向端部６４は、ハウジング１０の同じ側に固定することができる。例えば、フィルタ４０、６０の第１の軸方向端部４４、６４は、各々図２のハウジング１０の上側（例えば、カバー２２）に結合される。一実施形態では、入口１２および出口１４のためのハウジング１０の内面２６の開口部１３、１５は、ハウジング１０の異なる側（例えば、上面、底面、側壁など）に配置される場合がある。そのような実施形態では、フィルタ４０、６０の第１の軸方向端部４４、６４は、ハウジング１０の前記異なる側面に結合される場合がある。

【0016】

第２のフィルタ６０の第１の軸方向端部６４は、入口１４のためのハウジング１０内の開口部１５の上に配置される。第２のフィルタ６０に流入した液体は、第２のフィルタ６０からその軸方向出口６８を通ってハウジング１０内の出口１４に排出される。液体は、第２のフィルタ６０の軸方向出口６８からハウジング１０の出口１４に流入する。次いで、液体は、ハウジング１０の出口１４からフィルタユニット１の外に流出する。フィルタ媒体６２は、第２のフィルタ６０の半径方向入口を形成する。（内部容積２４を通って流れて第１のフィルタ４０から排出された）液体は、フィルタ媒体６２を通って第２のフィルタ６０に半径方向（例えば、軸Ａ_２に向かう方向Ｄ_２、軸Ａ_２に向かう方向Ｄ_３、図２の紙面内の方向、図２の紙面外の方向など）に入り、第２のフィルタ６０から軸方向（例えば、方向Ｄ_４）に排出される。図２に示されたように、第２のフィルタ６０の第２の軸方向端部６６は、ハウジング１０から（例えば、ハウジング１０の底部側から）離間するように構成される場合がある。

【0017】

液体流路Ｆは、入口１２から出口１４までハウジング１０を通って延在する。液体流路は、フィルタ４０、６０を順番に通って延在するように構成される。液体流路Ｆは、第１のフィルタ４０の第１のフィルタ媒体４２および第２のフィルタ６０を順番に通って入口１２から出口１４まで延在する。液体は、最初に第１のフィルタ媒体４２によって濾過され、次いで第２のフィルタ媒体６２によって濾過される（例えば、第１のフィルタ媒体４２によって濾過された液体は、第２のフィルタ媒体６２によってさらに濾過される）。液体流路Ｆは、複数の部分ｆ_１、ｆ_２、ｆ_３、ｆ_４、ｆ_５から形成される。一実施形態では、流路の部分ｆ_１、ｆ_２、ｆ_３、ｆ_４、ｆ_５は、互いに連続して接続される。例えば、第２の部分ｆ_２は、第１の部分ｆ_１を第３の部分ｆ_３に接続する（例えば、第２の部分ｆ_２は、第１の部分ｆ_１の終わりから第３の部分ｆ_３の始まりまで延在する）。

【0018】

液体流路Ｆの第１の部分ｆ_１は、第１のフィルタ４０の軸Ａ_１に沿って第１のフィルタ４０を通って延在する。例えば、第１の部分ｆ_１は、ハウジング１０の入口１２から軸方向入口４８を通って第１のフィルタ４０内に延在する。液体流路Ｆの第１の部分ｆ_１は、（濾過される）液体をハウジング１０の入口１２から第１のフィルタ４０に誘導する。液体流路Ｆの第２の部分ｆ_２は、第１のフィルタ媒体４２を通って半径方向外側に延在する。例えば、第２の部分ｆ_２は、第１のフィルタ２４から第１のフィルタ媒体４２を通ってハウジング１０の内部容積２４内に延在する。第２の部分ｆ_２は、第１のフィルタ４０の第１のフィルタ媒体４２から半径方向外側（例えば、軸Ａ_１から方向Ｄ_２、軸Ａ_１から方向Ｄ_３、軸Ａ_１から紙面内への方向、軸Ａ_１から紙面外への方向など）に流れるように誘導するように構成される。液体は、第１のフィルタ媒体４２を通る際に濾過される。例えば、図示された実施形態では、液体は、第１のフィルタ媒体４２の樹脂ビーズを通る際に濾過される。次いで、第１のフィルタ媒体４２によって濾過された液体は、第１のフィルタからハウジング１０の内部容積２４に軸方向に排出される。

【0019】

液体流路Ｆの第３の部分ｆ_３は、第１のフィルタ４０の第１のフィルタ媒体４２から第２のフィルタ６０の第２のフィルタ媒体６２まで延在する。図３に示されたように、第３の部分ｆ_３は、ハウジング１０の開放部分内部容積２４を通って第１のフィルタ４０から第２のフィルタ６０まで延在する。例えば、図２に示されたように、第３の部分ｆ_３は、第１のフィルタ４０および第２のフィルタ６０の両方の外部の内部容積２４を通って延在することができる。図２に示されたように、第３の部分ｆ_３は、第２の部分ｆ_２と同じ方向（例えば、方向Ｄ_２）に延在することができる。

【0020】

液体流路Ｆの第４の部分ｆ_４は、第２のフィルタ媒体６２を通って半径方向内側に延在する。第４の部分ｆ_４は、第２のフィルタ６０の外側から（例えば、内部容積２４から）第２のフィルタ６０内に延在する。第４の部分ｆ_４は、第２のフィルタ６０内に半径方向内側（例えば、軸Ａ_２に向かう方向Ｄ_２、軸Ａ_２に向かう方向Ｄ_２、軸Ａ_２から紙面内への方向、軸Ａ_２から紙面外への方向など）に延在する。図２に示されたように、第２の部分ｆ_２、第３の部分ｆ_３、第４の部分ｆ_４は、すべて同じ方向Ｄ_２に延在する場合がある。

【0021】

液体流路Ｆの第５の部分ｆ_５は、第２のフィルタ６０の軸Ａ_２に沿って第２のフィルタ６０を通って延在する。例えば、第５の部分ｆ_５は、第２のフィルタ６０内から軸方向出口６８を通ってハウジング１０の出口１４まで延在する。液体流路Ｆの第５の部分ｆ_５は、濾過された液体を第２のフィルタ６０からハウジング１０の出口１４に誘導する。第５の部分ｆ_５は、第２のフィルタ６０を通って軸方向（例えば、方向Ｄ_４）に延在する。例えば、第５の部分ｆ_５は、第１の部分ｆ_１とは反対の軸方向Ｄ_４に延在することができる。第５の部分ｆ_５は、（第２のフィルタ媒体４２によって濾過された後の）液体を第２のフィルタ６０からハウジングの出口１４に誘導するように構成される。次いで、濾過された液体は、ハウジング１０の出口１４からフィルタユニット１から排出される。（濾過される）液体は、入口１２を通ってフィルタユニット１に入り、フィルタ４０、４２、およびそれらのフィルタ媒体４２、６２を順番に通過し、次いで濾過された液体は出口１４から排出される。

【0022】

フィルタユニット１のフィルタ４０、６０は、例えば、固体微粒子、液体不純物（例えば、有機物など）、および／または溶解した化学種（例えば、溶解した金属、イオンなど）を含む汚染物質を濾過するように構成される場合がある。フィルタユニット１で使用されるフィルタ媒体４２、６２は、フィルタユニット１が液体から所望の汚染物質を除去するように選択することができる。

【0023】

図２に示されたように、第１のフィルタ媒体４２および第２のフィルタ媒体６２は、異なるタイプのフィルタ媒体である。そのような実施形態では、第１のフィルタ媒体４２は第１のタイプの汚染物質濾過を提供し、第２のフィルタ媒体６２は第２のタイプの汚染物質濾過を提供する。例えば、第１のフィルタ媒体４２は金属イオン濾過を提供することができ、第２のフィルタ媒体６２は粒子濾過を提供することができる。一実施形態では、第１のフィルタ媒体４２は、使用中に粒子（例えば、樹脂ビーズなど）を生成する場合があり、第２のフィルタ媒体６２は、第１のフィルタ媒体４２によって生成された粒子を捕捉する粒子濾過を提供することができる。これにより、有利なことに、単一のフィルタユニットが単一のユニット内で複数のタイプの汚染物質濾過を提供すること、および／または粒子を生成するタイプのフィルタ媒体を使用することを可能にすることができる。

【0024】

一実施形態では、第１のフィルタ媒体４２および第２のフィルタ媒体６２は、同じタイプのフィルタ媒体であり得る。そのような実施形態では、第１のフィルタ媒体４２および第２のフィルタ媒体６２は、同じタイプの汚染物質濾過を提供する。第１のフィルタ媒体４２は、液体内の第１の濃度まで汚染物質を除去するように構成することができ、第２のフィルタ媒体６２は、液体内の第２の低い濃度まで汚染物質をさらに除去するように構成することができる。これは、有利なことに、フィルタユニットが大量の汚染物質を含有する液体に対して高負荷濾過を提供することを可能にすることができる。

【0025】

図示された実施形態では、第１のフィルタ媒体４２は樹脂ビーズである。樹脂ビーズは充填層の形態である。一実施形態では、樹脂ビーズは、１つのタイプ（単一成分）または複数のタイプ（複数成分）であり得る。図示された実施形態では、第２のフィルタ媒体６２は薄膜である。一実施形態における薄膜フィルタは、単層または多層（例えば、布地層、ポリマーコーティング層など）を有することができる。一実施形態では、第１のフィルタ媒体４２および第２のフィルタ媒体６２は、各々薄膜、樹脂ビーズ、中空繊維、深度繊維、スポンジベースの媒体、またはそれらの組合せのうちの１つから選択される場合がある。例えば、薄膜は、有機物、金属、粒子、イオン（例えば、カチオンおよびアニオン）などを液体から濾過するように構成することができる。例えば、樹脂ビーズは、金属有機物（例えば、活性炭層の形態の樹脂ビーズなど）を濾過するように構成することができる。例えば、深度繊維は、一般に、高汚染物質負荷用途で使用するように構成される。

【0026】

図３は、フィルタユニット１の斜視断面図である。図３は、図２の断面の斜視図である。フィルタ４０、６０は、各々中空である。フィルタ４０、６０は、各々管状形を有する。管状形は、第２の軸方向端部４６、６６において蓋をされている。図３に示されたように、各フィルタ４０、６０の管状形は円筒形である。フィルタ４０、６０は、他の実施形態では異なる管状形を有する場合があることを諒解されたい。例えば、フィルタ４０、６０の一方または両方は、他の実施形態では、正方形管状形、楕円形管状形、三角形管状形、非多角形管状形などを有する場合がある。そのような実施形態では、フィルタ４０、６０は、同じかまたは異なる形状を有する場合がある。液体は、第１のフィルタ４０の第１のフィルタ媒体４２から半径方向に排出される。例えば、液体は、第１のフィルタ４０から半径方向Ｄ_２、Ｄ_３、Ｄ_５、Ｄ_６に排出することができる。

【0027】

図２および図３に示されたように、フィルタ４０、６０は、ハウジング１０の内部容積２４内で互いに離間している。第１のフィルタ４０は、その軸方向端部４４、４６の間を延在する１つまたは複数の側面５０、５２を含む。第２のフィルタは、その軸方向端部４４、４６の間を延在する１つまたは複数の側面７０、７２を含む。図２および図３に示されたように、フィルタ４０、６０は、ハウジング１０内に並んで配置することができる。一実施形態では、各フィルタ４０、６０の側面は、図３に示されたように、フィルタ４０、６０の単一の円周面によって形成される場合がある。フィルタ４０、４６の側面５０、５２、７０、７２は、各々ハウジング１０内でハウジング１０から離間している。フィルタ４０、４６の各々は、それらの軸方向端部４４、４６、６４、６６を介してハウジング１０のみと接触するように構成することができる。図２および図３に示されたように、フィルタ４０、６０の各々は、ハウジング１０に接触するその第１の軸方向端部４４のみを有するように構成することができる。例えば、第１のフィルタ４０は、第１のフィルタ４０の対向する側面である第１の側面５０および第２の側面５２を有することができ、第２のフィルタ６０は、第２のフィルタ６０の対向する側面である第１の側面７０および第２の側面７２を有することができる。第１のフィルタ４０の第２の側面５２および第２のフィルタ６０の第１の側面７０は、互いに向き合う。第１のフィルタ４０の第１の側面５０および第２の側面７２は、ハウジング１０の対向する側壁に向かって反対方向に向き合う。

【0028】

図４は、フィルタユニット内で液体を濾過する方法１０００のフロー図である。方法１０００は、図１～図３のフィルタユニット１に適用される場合がある。方法１０００は、１０１０から始まる。

【0029】

１０１０において、液体は、ハウジング（例えば、ハウジング１０）の入口（例えば、入口１２）から第１のフィルタの第１のフィルタ媒体（例えば、第１のフィルタ４０の第１のフィルタ媒体４２）に誘導される。一実施形態では、１０１０において液体を誘導することは、第１のフィルタの軸方向入口（例えば、軸方向入口４８）を通って液体を通すこと１０１２を含む。次いで、方法１０００は１０２０に進む。

【0030】

１０２０において、液体は、フィルタ媒体を半径方向外側に通過する。例えば、液体は、第２のフィルタから、ハウジングとフィルタとの間にあるハウジングの内部容積の開放空間（例えば、内部容積２４の開放空間）に誘導される。次いで、方法は１０３０に進む。

【0031】

１０３０において、液体は、第１のフィルタ媒体から第２のフィルタの第２のフィルタ媒体（例えば、第２のフィルタ６０の第２のフィルタ媒体６２）に誘導される。１０３０において、液体は、フィルタ間のハウジングの内部容積の開放空間を通って誘導される。次いで、方法１０００は１０４０に進む。

【0032】

１０４０において、液体は、第２のフィルタ媒体を半径方向内側に通過する。例えば、液体は、第２のフィルタ媒体を通って流れることにより、第２のフィルタに流入するように誘導される。一実施形態では、次いで、方法１０００は１０５０に進むこともできる。

【0033】

１０５０において、液体は、第２のフィルタ媒体からハウジングの出口（例えば、出口１４）に誘導される。一実施形態では、１０５０においてハウジングの出口に液体を誘導することは、第２のフィルタの軸方向出口（例えば、軸方向出口６８）を通って液体を通すこと１０５２を含むことができる。例えば、１０５０において液体を誘導することは、第２のフィルタの軸方向出口から出口のためのハウジング内の開口部（例えば、開口部１５）に液体を誘導することを含む。

【0034】

一実施形態における方法１０００は、図１～図３のフィルタユニット１に関して上述された特徴を含むように修正される場合があることを諒解されたい。

【0035】

態様
態様１～１０のいずれかは、態様１１～１６のいずれかと組み合わせることができる。

【0036】

態様１．液体を濾過するためのフィルタユニットであって、入口および出口を有するハウジングと、ハウジング内に配置され、ハウジングの内面に固定された第１の軸方向端部、ハウジングの入口の開口部の上に配置された軸方向入口、および第１のフィルタ媒体を含む第１のフィルタと、ハウジング内に配置され、ハウジングの内面に固定された第１の軸方向端部、ハウジング内の出口の開口部の上に配置された軸方向出口、および第２のフィルタ媒体を含む第２のフィルタと、入口から第１のフィルタ媒体および第２のフィルタ媒体を順番に通って出口まで延在する液体流路であって、液体流路が、第１のフィルタ媒体を通って半径方向外側に液体を誘導し、第２のフィルタ媒体を通って半径方向内側に液体を誘導するように構成される、液体流路とを備える、フィルタユニット。

【0037】

態様２．第１のフィルタの軸方向入口が、第１のフィルタの第１の軸方向端部に形成され、第２のフィルタの軸方向出口が、第２のフィルタの第１の軸方向端部に形成される、態様１のフィルタユニット。

【0038】

態様３．第１のフィルタ媒体が、第１のフィルタの半径方向出口となるように構成され、第２のフィルタ媒体が、第２のフィルタの半径方向入口となるように構成される、態様１および２のいずれか１つのフィルタユニット。

【0039】

態様４．第１のフィルタが、ハウジング内で第２のフィルタから離間している、態様１～３のいずれか１つのフィルタユニット。

【0040】

態様５．第１のフィルタおよび第２のフィルタが、ハウジング内で並んで配置される、態様１～４のいずれか１つのフィルタユニット。

【0041】

態様６．液体流路が、順に、第１のフィルタの軸に沿って第１のフィルタを通って延在する第１の部分と、第１のフィルタ媒体を通って半径方向外側に延在する第２の部分と、第１のフィルタ媒体から第２のフィルタ媒体まで延在する第３の部分と、第２のフィルタ媒体を通って半径方向内側に延在する第４の部分と、第２のフィルタの軸に沿って第２のフィルタを通って延在する第５の部分とを含む、態様１～５のいずれか１つのフィルタユニット。

【0042】

態様７．第３の部分が、第１のフィルタに対して半径方向外側であり、第２のフィルタに対して半径方向内側である第１の方向に延在する、態様６に記載のフィルタユニット。

【0043】

態様８．第１のフィルタ媒体および第２のフィルタ媒体が、各々薄膜、樹脂ビーズ、中空繊維、深度繊維、スポンジベースの媒体、またはそれらの組合せから選択される、態様１～７のいずれか１つのフィルタユニット。

【0044】

態様９．第１のフィルタ媒体および第２のフィルタ媒体が、同じタイプのフィルタ媒体である、態様１～８のいずれか１つのフィルタユニット。

【0045】

態様１０．第１のフィルタ媒体および第２のフィルタ媒体が、異なるタイプのフィルタ媒体である、態様１～８のいずれか１つのフィルタユニット。

【0046】

態様１１．フィルタユニット内で液体を濾過する方法であって、フィルタユニットが入口および出口を有するハウジングを含み、方法が、ハウジングの入口からハウジング内に配置された第１のフィルタのフィルタ媒体に液体を誘導することであって、第１のフィルタが、ハウジングの内面に固定された第１の軸方向端部およびハウジングの入口の開口部の上に配置された軸方向入口を含む、液体を誘導することと、第１のフィルタ媒体を通って半径方向外側に液体を通すことと、第１のフィルタ媒体からハウジング内に配置された第２のフィルタの第２のフィルタ媒体に液体を誘導することであって、第２のフィルタが、ハウジングの内面に固定された第１の軸方向端部およびハウジングの出口の開口部の上に配置された軸方向出口を含む、液体を誘導することと、第２のフィルタ媒体を通って半径方向内側に液体を通すこととを含む、方法。

【0047】

態様１２．第２のフィルタ媒体からハウジングの出口に液体を誘導することをさらに含む、態様１１の方法。

【0048】

態様１３．第２のフィルタ媒体からハウジングの出口に液体を誘導することが、第２のフィルタの軸方向出口を通って液体を通すことを含む、態様１１および１２のいずれか１つの方法。

【0049】

態様１４．第１のフィルタ媒体から第２のフィルタの第２のフィルタ媒体に液体を誘導することが、液体を誘導することを含む、態様１１～１３のいずれか１つの方法。

【0050】

態様１５．ハウジングの入口から第１のフィルタのフィルタ媒体に液体を誘導することが、第１のフィルタの軸方向入口を通って液体を通すことを含む、態様１１～１４のいずれか１つの方法。

【0051】

態様１６．第１のフィルタ媒体および第２のフィルタ媒体が、薄膜、樹脂ビーズ、中空繊維、深度繊維、スポンジベースの媒体、またはそれらの組合せのうちの１つから選択される、態様１１～１５のいずれか１つの方法。

【0052】

本出願に開示された例は、すべての点で例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。本発明の範囲は、前述の説明ではなく添付の特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内にあるすべての変更は、特許請求の範囲に包含されることが意図される。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【国際調査報告】