特表 2025-502777 インナーレチクルポッドカバーおよびベースプレートシッパー

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2025-01-28

(54)【発明の名称】インナーレチクルポッドカバーおよびベースプレートシッパー

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20250121BHJP

   G03F 1/66 20120101ALI20250121BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

G03F1/66

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024539247

(86)(22)【出願日】2022-12-29

(85)【翻訳文提出日】2024-08-07

(86)【国際出願番号】 US2022054232

(87)【国際公開番号】W WO2023129642

(87)【国際公開日】2023-07-06

(31)【優先権主張番号】63/294,463

(32)【優先日】2021-12-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ティーベン， アンソニー マティウス

(72)【発明者】

【氏名】グリン， フィリップ スチュアート

(72)【発明者】

【氏名】ラシュク， ラス ヴィ．

【テーマコード（参考）】

2H195

5F131

【Ｆターム（参考）】

2H195BA10

2H195BB30

2H195BE12

2H195CA20

5F131AA10

5F131AA12

5F131BA13

5F131CA09

5F131GA12

5F131GA24

5F131GA32

5F131GA53

5F131GA68

5F131GA69

5F131GA85

5F131GA87

5F131GA92

5F131GA99

(57)【要約】

レチクルポッドのカバーまたはベースプレート用のシッピング容器は、第１の固定機構を含んでいる第１のシェルと、第２の固定機構を含んでいる第２のシェルとを含む。第１のシェルおよび第２のシェルが結合されると、シェルがレチクルポッドのカバーまたはベースプレートを収容できる内部空間を画定し、固定機構は、第１または第２のシェルとの、面内の方向のカバーまたはベースプレートの動きを防止するためにカバーまたはベースプレートと嵌合する。固定機構は、カバーまたはベースプレートと接触する剛性固定機構および弾性固定機構の両方があるようなものであってもよい。カバーまたはベースプレートを保管する方法は、第１のシェルと第２のシェルとの間にカバーまたはベースプレートを置くことと、第１のシェルと第２のシェルとを互いに結合することとを含むことができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

レチクルポッドのカバーまたはベースプレート用の容器であって、
複数の第１の固定機構を備える第１のシェルと、
複数の第２の固定機構を備える第２のシェルと
を具備し、
前記第１のシェルおよび前記第２のシェルが一緒に結合されるように構成され、
前記第１のシェルおよび前記第２のシェルが一緒に結合されると、前記第１のシェルおよび前記第２のシェルが内部空間を画定し、前記内部空間が前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートを収容できるように、前記内部空間が大きさを決められ、
前記第１の固定機構が前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートの第１の側に設けられた第１のポッド機構に対応する第１の予め定められた位置のところで前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートと嵌合するように構成され、
前記第２の固定機構が前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートの第２の側に設けられた第２のポッド機構に対応する第２の予め定められた位置のところで前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートと嵌合するように構成され、
前記第１の固定機構が前記第１のポッド機構と嵌合し、前記第２の固定機構が前記第２のポッド機構と嵌合すると、前記嵌合が、前記第１のシェルまたは前記第２のシェルのうちの少なくとも一方との、面内の前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートの動きを制限する、
容器。

【請求項2】

前記第１の固定機構または前記第２の固定機構のうちの少なくとも一方が、弾性材料を各々含む、請求項１に記載の容器。

【請求項3】

前記弾性材料がフルオロエラストマーである、請求項２に記載の容器。

【請求項4】

前記第１の固定機構または前記第２の固定機構のうちの少なくとも一方が、剛性材料を各々含む、請求項１から３のいずれか一項に記載の容器。

【請求項5】

前記剛性材料が、前記第１のシェルまたは前記第２のシェルの本体と同じ材料である、請求項４に記載の容器。

【請求項6】

前記容器が前記レチクルポッドの前記カバー用であり、前記第１の予め定められた位置および前記第２の予め定められた位置のうちの少なくともいくつかが、前記レチクルポッドの前記カバーのスルーホールに対応する、請求項１から５のいずれか一項に記載の容器。

【請求項7】

前記容器が前記レチクルポッドの前記ベースプレート用であり、前記第１の予め定められた位置または前記第２の予め定められた位置のうちの少なくとも一方が、前記レチクルポッドの前記ベースプレートのキネマティックカップリング溝に対応する、請求項１から６のいずれか一項に記載の容器。

【請求項8】

前記第１の予め定められた位置および前記第２の予め定められた位置が、前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートの非機能的な場所に対応する、請求項１から６のいずれか一項に記載の容器。

【請求項9】

前記第１のシェルおよび前記第２のシェルが、ポリカーボネートまたはポリオレフィンを各々含む、請求項１から８のいずれか一項に記載の容器。

【請求項10】

レチクルポッドのカバーまたはベースプレートを保管する方法であって、
容器の第１のシェル内へと前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートを置くことであり、前記第１のシェルが複数の第１の固定機構を含み、前記第１のシェル内へと前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートを置くことが、前記カバーまたは前記ベースプレートの第１の側の第１のポッド機構を前記複数の第１の固定機構と嵌合させることを含む、前記カバーまたは前記ベースプレートを置くことと、
前記容器の第２のシェルを前記容器の前記第１のシェルに結合することであり、前記第２のシェルが第２の嵌合機構を含み、前記容器の前記第２のシェルを前記第１のシェルに結合することが、前記カバーまたは前記ベースプレートの第２の側の第２のポッド機構を前記第２の固定機構と嵌合させることを含む、前記第２のシェルを前記第１のシェルに結合することと
を含み、
前記第１のポッド機構との前記第１の固定機構の前記嵌合および前記第２のポッド機構との前記第２の固定機構の前記嵌合が、前記第１のシェルまたは前記第２のシェルのうちの少なくとも一方との、面内の前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートの動きを制限する、
方法。

【請求項11】

前記第１の固定機構または前記第２の固定機構のうちの少なくとも一方が、弾性材料を各々含む、請求項１０に記載の方法。

【請求項12】

前記弾性材料がフルオロエラストマーである、請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

前記第１の固定機構または前記第２の固定機構のうちの少なくとも一方が、剛性材料を各々含む、請求項１０から１２のいずれか一項に記載の方法。

【請求項14】

前記剛性材料が、前記第１のシェルまたは前記第２のシェルの本体と同じ材料である、請求項１３に記載の方法。

【請求項15】

保管される前記カバーまたは前記ベースプレートが、前記レチクルポッドの前記カバーであり、前記第１の固定機構および前記第２の固定機構のうちの少なくともいくつかが、前記レチクルポッドの前記カバーに形成されたスルーホールと嵌合する、請求項１０から１４のいずれか一項に記載の方法。

【請求項16】

保管される前記カバーまたは前記ベースプレートが、前記レチクルポッドの前記ベースプレートであり、前記第１の固定機構および前記第２の固定機構のうちの少なくともいくつかが、前記レチクルポッドの前記ベースプレートのキネマティックカップリング溝と嵌合する、請求項１０から１５のいずれか一項に記載の方法。

【請求項17】

前記第１の固定機構および前記第２の固定機構が、前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートの非機能的な場所と嵌合する、請求項１０から１５のいずれか一項に記載の方法。

【請求項18】

前記第１のシェルおよび前記第２のシェルが、ポリカーボネートまたはポリオレフィンを各々含む、請求項１０から１７のいずれか一項に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この開示は、レチクルポッドのインナーポッドとして使用されるカバーおよび／またはベースプレート用のシッピング容器を対象とする。

【0002】

優先権
この開示は、２０２１年１２月２９日の出願日を有する米国仮特許出願番号第６３／２９４，４６３号の優先権を主張し、本明細書中に援用により取り込まれている。

【背景技術】

【0003】

例えば、極紫外（ＥＵＶ）などのフォトリソグラフィを通して処理されようとしているレチクルは、アウターポッドおよびインナーポッドを含むレチクルポッドに保管され搬送されることがある。インナーポッドは、ベースプレートおよびカバーを含むことができる。

【発明の概要】

【0004】

この開示は、レチクルポッドのインナーポッドとして使用されるカバーおよび／またはベースプレート用のシッピング容器を対象とする。

【0005】

実施形態によるシッピング容器は、カバーおよびベースプレートのユーザへのシッピング中にレチクルインナーポッドのカバーおよび／またはベースプレートを保護できる。これは、カバーおよび／またはベースプレートへの損傷の発生を削減でき、したがって運搬中の利用可能なカバーおよびベースプレートの損失を削減するまたは防止する。実施形態では、シッピング容器は、シッピング空間の与えられた容積でシッピングされ得るカバーおよび／またはベースプレートの数を増加できる。シッピング容器は、カバーおよび／またはベースプレートに対する衝撃の効果を削減しながらカバーおよび／またはベースプレートの両方を堅くしっかりと固定するために対向する堅固で硬い保持点を使用できる。実施形態によるシッピング容器は、カバーおよび／またはベースプレートがカバーおよび／またはベースプレートをさらに改変せずにシッピング容器内にしっかりと固定され得るように、カバーおよび／またはベースプレートのデザインに既に存在する機構と相互に接続するように構成されてもよい。

【0006】

レチクルポッドのカバーまたはベースプレート用の容器は、複数の第１の固定機構を備える第１のシェルと、複数の第２の固定機構を備える第２のシェルとを含む。上記第１のシェルおよび上記第２のシェルが一緒に結合されるように構成される。上記第１のシェルおよび上記第２のシェルが一緒に結合されると、上記第１のシェルおよび上記第２のシェルが内部空間を画定する。上記内部空間が上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートを収容できるように、上記内部空間が大きさを決められる。上記第１の固定機構が、上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートの第１の側に設けられた第１のポッド機構に対応する第１の予め定められた位置のところで上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートと嵌合するように構成される。上記第２の固定機構が、上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートの第２の側に設けられた第２のポッド機構に対応する第２の予め定められた位置のところで上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートと嵌合するように構成される。上記第１の固定機構が上記第１のポッド機構と嵌合し、上記第２の固定機構が上記第２のポッド機構と嵌合すると、上記嵌合が、上記第１のシェルまたは上記第２のシェルのうちの少なくとも一方との、面内の上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートの動きを制限する。

【0007】

ある実施形態では、上記第１の固定機構または上記第２の固定機構のうちの少なくとも一方が、弾性材料を各々含む。ある実施形態では、上記弾性材料が、フルオロエラストマーである。

【0008】

ある実施形態では、上記第１の固定機構または上記第２の固定機構のうちの少なくとも一方が、剛性材料を各々含む。ある実施形態では、上記剛性材料が、上記第１のシェルまたは上記第２のシェルの本体と同じ材料である。

【0009】

ある実施形態では、上記容器が上記レチクルポッドの上記カバー用であり、上記第１の予め定められた位置および上記第２の予め定められた位置のうちの少なくともいくつかが、上記レチクルポッドの上記カバーのスルーホールに対応する。

【0010】

ある実施形態では、上記容器が、上記レチクルポッドの上記ベースプレート用であり、上記第１の予め定められた位置または上記第２の予め定められた位置のうちの少なくとも一方が、上記レチクルポッドの上記ベースプレートのキネマティックカップリング溝に対応する。

【0011】

ある実施形態では、上記第１の予め定められた位置および上記第２の予め定められた位置が、上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートの非機能的な場所に対応する。

【0012】

ある実施形態では、上記第１のシェルおよび上記第２のシェルが、ポリカーボネートまたはポリオレフィンを各々含む。

【0013】

ある実施形態では、レチクルポッドのカバーまたはベースプレートを保管する方法は、容器の第１のシェル内へと上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートを置くことを含む。上記第１のシェルが複数の第１の固定機構を含む。上記第１のシェル内へと上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートを置くことが、上記カバーまたは上記ベースプレートの第１の側の第１のポッド機構を上記複数の第１の固定機構と嵌合させることを含む。上記方法は、上記容器の第２のシェルを上記容器の上記第１のシェルに結合することをさらに含む。上記第２のシェルが第２の嵌合機構を含む。上記容器の第２のシェルを上記第１のシェルに結合することが、上記カバーまたは上記ベースプレートの第２の側の第２のポッド機構を上記第２の固定機構と嵌合させることを含む。上記第１のポッド機構との上記第１の固定機構の上記嵌合および上記第２のポッド機構との上記第２の固定機構の上記嵌合が、上記第１のシェルまたは上記第２のシェルのうちの少なくとも一方との、面内の上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートの動きを制限する。

【0014】

ある実施形態では、上記第１の固定機構または上記第２の固定機構のうちの少なくとも一方が、弾性材料を各々含む。ある実施形態では、上記弾性材料がフルオロエラストマーである。

【0015】

ある実施形態では、上記第１の固定機構または上記第２の固定機構のうちの少なくとも一方が、剛性材料を各々含む。ある実施形態では、上記剛性材料が、上記第１のシェルまたは上記第２のシェルの本体と同じ材料である。

【0016】

ある実施形態では、保管される上記カバーまたは上記ベースプレートが、上記レチクルポッドの上記カバーであり、上記第１の固定機構および上記第２の固定機構のうちの少なくともいくつかが、上記レチクルポッドの上記カバーに形成されたスルーホールと嵌合する。

【0017】

ある実施形態では、保管される上記カバーまたは上記ベースプレートが、上記レチクルポッドの上記ベースプレートであり、上記第１の固定機構および上記第２の固定機構のうちの少なくともいくつかが、上記レチクルポッドの上記ベースプレートのキネマティックカップリング溝と嵌合する。

【0018】

ある実施形態では、上記第１の固定機構および上記第２の固定機構が、上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートの非機能的な場所と嵌合する。

【0019】

ある実施形態では、上記第１のシェルおよび上記第２のシェルが、ポリカーボネートまたはポリオレフィンを各々含む。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】ある実施形態によるレチクルポッドのカバーまたはベースプレート用の容器の図である。

【図2A】ある実施形態に従って容器に保管されるレチクルポッドのベースプレートの第１の側の図である。

【図2B】図２Ａのベースプレートの第１の側で使用されるように構成された第１のシェルの図である。

【図2C】図２Ａに示したベースプレートの第２の側の図である。

【図2D】図２Ｃのベースプレートの第２の側で使用されるように構成された第２のシェルの図である。

【図3A】ある実施形態に従って容器に保管されるレチクルポッドのカバーの第１の側の図である。

【図3B】図３Ａのカバーの第１の側で使用されるように構成された第１のシェルの図である。

【図3C】図３Ａに示したカバーの第２の側の図である。

【図3D】図３Ｃのカバーの第２の側で使用されるように構成された第２のシェルの図である。

【図4】ある実施形態による方法のフローチャートである。

【図5】収納されるレチクルとの容器のコンタクト部の界面の図である。

【図6】収納されるレチクルとの容器のコンタクト部の別の界面の図である。

【図7】収納されるレチクルとの容器のコンタクト部の別の界面の図である。

【図8】収納されるレチクルとの容器のコンタクト部の別の界面の図である。

【図9】収納されるレチクルとの容器のコンタクト部の別の界面の図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

この開示は、レチクルポッドのインナーポッドとして使用されるカバーおよび／またはベースプレート用のシッピング容器を対象とする。

【0022】

図１は、ある実施形態によるレチクルポッドのカバーまたはベースプレート用の容器を示す。容器１００は、第１のシェル１０２を含み、第１のシェル１０２上に設けられた複数の第１のコンタクト部１０４をともなう。容器１００はまた、第２のシェル１０６も含み、第２のシェル１０６上に設けられた複数の第２のコンタクト部１０８をともなう。容器１００は、レチクルポッドのカバーまたはベースプレート１１０を収納するために使用されてもよい。

【0023】

容器１００は、カバーまたはベースプレート１１０を収納するように構成される。容器１００は、容器１００により画定される内部空間にカバーまたはベースプレート１１０を収容するように構成される。容器１００は、中に保管されるカバーまたはベースプレート１１０の保管および／または運搬のために使用されてもよい。ある実施形態では、容器１００に収納されるべきカバーまたはベースプレート１１０は、レチクルポッドインナーポッドのカバーである。

【0024】

第１のシェル１０２および第２のシェル１０６は、それぞれの固定機構を各々含む。固定機構は、各々のシェル１０２、１０６に設けられる機構であり、カバーまたはベースプレートが容器１００の内側にあるときにカバーまたはベースプレート１１０と機械的に嵌合するように構成される。カバーまたはベースプレート１１０との固定機構の機械的な嵌合は、容器１００内のある特定の位置にカバーまたはベースプレートを保持し、カバーまたはベースプレート１１０の動きを制限するまたは防止する。ある実施形態では、固定機構の嵌合は、第１のシェル１０２および／または第２のシェル１０６との面内の成分を含め第１のシェル１０２および／または第２のシェル１０６に対するカバーまたはベースプレート１１０の動きを制限するまたは防止する。図１に示した実施形態では、第１のコンタクト部１０４は、第１のシェル１０２の固定機構であり、第２のコンタクト部１０８は、第２のシェル１０６の固定機構である。固定機構は、容器１００内のカバーまたはベースプレートの動きを制限するまたは防止するように、カバーまたはベースプレート１１０と嵌合できる第１のシェル１０２および第２のシェル１０６のいずれかの好適な機構であってもよい。固定機構の非限定的な実施形態が、図５～図９に示され、下記に説明される。

【0025】

第１のシェル１０２は、容器１００の一部分を形成する。第１のシェル１０２は、内部空間を部分的に画定するように構成され、その結果、カバーまたはベースプレート１１０が、内部空間内に保持されることがある。第１のシェル１０２は、複数の第１のコンタクト部１０４を含む。ある実施形態では、第１のシェル１０２は、ポリマ材料製である。ある実施形態では、第１のシェル１０２は、ポリカーボネート、ポリオレフィン、またはアクリロニトリルブタジエンスチレン（ＡＢＳ）ポリマ製である。第１のシェル１０２は、カバーまたはベースプレート１１０が固定機構として容器１００内に保管されるときに、カバーまたはベースプレート１１０に面するように構成された第１のシェル１０２の側に形成される第１のコンタクト部１０４を含むことができる。第１のコンタクト部１０４は、容器１００内にカバーまたはベースプレート１１０を保持するために接触されるべきカバーまたはベースプレート１１０上の位置に対応する位置の第１のシェル１０２上に設けられる。第１のコンタクト部１０４は、カバーまたはベースプレート１１０上の重要でない位置に対応する位置に設けられてもよい。カバーまたはベースプレート１１０上の重要でない位置は、保管中または運搬中に偶発的な損傷がカバーまたはベースプレート１１０を含むレチクルポッドの機能に材料的に悪影響を及ぼさないエリアである。カバーまたはベースプレート１１０の重要なエリアは、封止表面、高研磨エリア、表面上の眼に見えるメッキのエリア、カバーまたはベースプレート１１０がレチクルを収納する内部空間内のエリア、等を含むことができる。カバーまたはベースプレート１１０の重要でないエリアは、カバーまたはベースプレート１１０のコーナー部および側面、カバーまたはベースプレート１１０に形成されたスルーホール、安全キャッチホール、キネマティックカップリング（ＫＣ）溝、等を含むことができる。

【0026】

第１のコンタクト部１０４は、第１のシェル１０２の材料を含むことができる。ある実施形態では、第１のコンタクト部１０４は、例えば、第１のコンタクト部１０４がカバーまたはベースプレート１１０と相互に接続するはずの弾性部品をさらに含むことができる。そのときには、弾性部品は、例えば、１つまたは複数のエラストマーなどのいずれかの好適な弾性材料であってもよい。ある実施形態では、弾性部品は、熱可塑性エラストマーである。ある実施形態では、弾性部品は、フルオロエラストマーである。弾性部品は、架橋結合したポリマ材料で作られてもよい。弾性部品で使用され得る材料の非限定的な例は、ＦＫＭまたはＶｉｔｏｎ（商標）などのフッ素ゴムを含む。ある実施形態では、第１のコンタクト部１０４は、カバーまたはベースプレート１１０と接触している表面のところに弾性材料または剛性材料のうちの一方で設けられ、第２のコンタクト部１０８は、カバーまたはベースプレート１１０と接触している表面のところに弾性材料または剛性材料のうちの他方で設けられる。この実施形態では、カバーまたはベースプレートは、一方の側で剛性材料により、他方の側で弾性材料により接触される。剛性材料は、いずれかの好適な剛性材料であってもよい。ある実施形態では、剛性材料は、第１のシェル１０２または第２のシェル１０６として使用された材料と同じである。ある実施形態では、剛性材料は、ポリカーボネート、超高分子量ポリエチレンなどのポリオレフィン、またはＡＢＳである。

【0027】

第２のシェル１０６は、容器１００の別の一部分を形成する。第２のシェル１０６と第１のシェル１０２とが結合されると、容器１００は、カバーまたはベースプレート１１０を囲むように構成される。第２のシェル１０６は、剛性材料、例えば、ポリカーボネート、超高分子量ポリエチレンなどのポリオレフィン、またはＡＢＳ製であってもよい。ある実施形態では、第２のシェル１０６は、第１のシェル１０２と同じ材料製である。第２のシェル１０６および第１のシェル１０２は、ラッチ、タブ、ヒンジ、スナップフィット機構、磁性表面、等などのいずれかの好適な密封機構またはそれらの組み合わせにより結合されてもよい。図１に示した実施形態では、容器１００は、第１のシェル１０２と第２のシェル１０６とを互いにしっかりと固定するためヒンジ１１２およびラッチ１１４を含む。

【0028】

第２のシェル１０６は、固定機構として第２のコンタクト部１０８を含む。カバーまたはベースプレート１１０の第２の側上の予め定められた接触点に対応するように構成された位置でシェル１０６上に位置する第２のコンタクト部１０８は、第１のコンタクト部１０４により接触される第１の側とは反対である。第２のコンタクト部１０８は、カバーまたはベースプレート１１０の第２の側上の重要でない位置に対応するように設置されてもよい。第２のコンタクト部１０８は、剛性材料を含むことができる。第２のコンタクト部１０８は、第２のシェル１０６の材料を含むことができる。第２のコンタクト部１０８は、第１のコンタクト部１０４に関して上に説明した弾性構成要素のうちのいずれかなどの弾性構成要素を含むことができる。ある実施形態では、第１のコンタクト部１０４および第２のコンタクト部１０８は、一方の側では剛性材料と、反対側では弾性材料とレチクルまたはベースプレート１１０とが接触するように結合する。ある実施形態では、第１のコンタクト部１０４および第２のコンタクト部１０８は、対向する側の各々で剛性材料とレチクルまたはベースプレート１１０とが接触するように結合する。ある実施形態では、第１のコンタクト部１０４および第２のコンタクト部１０８は、対向する側の各々で弾性材料とレチクルまたはベースプレートとが接触するように結合する。

【0029】

ある実施形態では、第２のコンタクト部１０８のうちの一部またはすべておよび第１のコンタクト部１０４のうちの一部またはすべては、スルーホール、カバーまたはベースプレート１１０の周辺部、等などのカバーまたはベースプレート１１０に形成された共通機構と相互に接続できる。ある実施形態では、第２のコンタクト部１０８は、容器１００が閉じられたときに第１のコンタクト部１０４の反対側である。ある実施形態では、第１のコンタクト部１０４と第２のコンタクト部１０８とは、カバーまたはベースプレート１１０が容器１００内に設置されるときに互いに接触できる。ある実施形態では、第１のコンタクト部１０４のうちの一部またはすべては、カバーまたはベースプレート１１０の第１の側上の１セットの機構のコンタクト部であり、第２のコンタクト部のうちの一部またはすべては、カバーまたはベースプレート１１０の第２の側に設けられた機構の別の第２のセットに接触するように構成される。

【0030】

第１のコンタクト部１０４と、カバーまたはベースプレート１１０と、第２のコンタクト部１０８との間の接触は、カバーまたはベースプレート１１０が第１のシェル１０２および第２のシェル１０６のうちの一方または両方と面内の方向に著しく動かないようにカバーまたはベースプレート１１０がしっかりと固定されるように容器１００内で保持されるようなものである。小さな一時的な動きが、第１のコンタクト部１０４および／もしくは第２のコンタクト部１０８の弾性材料の使用に依存して、または容器１００およびカバーもしくはベースプレート１１０の一方もしくは両方に関する部品の損耗もしくは製造許容誤差内の変動に起因して生じることがある。

【0031】

図２Ａは、ある実施形態に従って容器内に保管されるレチクルポッドのベースプレートの第１の側を示す。ベースプレート２００の第１の側は、ベースプレート２００を含むレチクルポッドが組み立てられたときに外に向かって面する側であってもよい。ベースプレート２００の第１の側は、安全キャッチホール２０２、重量削減ポケット２０４、およびキネマティックカップリング溝などのキネマティックカップリング機構２０６を含む。安全キャッチホール２０２、重量削減ポケット２０４、およびキネマティックカップリング機構２０６のうちのいずれか、一部またはすべては、下記に論じられ、図２Ｂに示されるように第１のシェルコンタクト部２１４によって接触されるベースプレートの第１の側の点として使用されてもよい。反射鏡ゾーン２０８が、ベースプレート２００の第１の側に設けられてもよい。反射鏡ゾーン２０８は、レチクルの取り扱い中にベースプレートの向きを合わせるために使用されてもよい。

【0032】

図２Ｂは、図２Ａのベースプレートの第１の側で使用されるように構成された第１のシェルを示す。第１のシェル２１０は、シェル本体２１２および複数の第１のシェルコンタクト部２１４を含む。シェル本体２１２は、ベースプレート２００を収納するように内部空間の一部分を画定する。複数の第１のシェルコンタクド２１４は、第１のシェル２１０および第２のシェル２３０を含んでいる容器が組み立てられるときにベースプレート２００の第１の側に面するように構成されたシェル本体２１０の表面上に分散される。第１のシェルコンタクト部２１４は、図５～図９に示され、下記に論じられるようなコンタクト部５０２、６０２、７０２、８０２、または９０２のうちのいずれかなどのベースプレート２００と接触するためのコンタクト部の任意の好適な構成であってもよい。第１のシェルコンタクト部２１４は、ベースプレート２００の第１の側の安全キャッチホール２０２、重量削減ポケット２０４、またはキネマティックカップリング機構２０６に対応するように設置されてもよい。第１のシェルコンタクト部は、ベースプレート２００の第１の側に設けられた反射鏡ゾーン２０８との接触を避けるように設置されることがある。

【0033】

図２Ｃは、図２Ａに示したベースプレートの第２の側を示す。ベースプレート２００の第２の側は、ベースプレート２００を含んでいるレチクルポッドがレチクルを収納するために使用されるときに、レチクルに面するように構成されたベースプレート２００の側である。ベースプレート２００の第２の側は、グリッパポケット２２０を含む。ベースプレートの第２の側はまた、ベースプレート封止エリア２２２も含む。ベースプレート封止エリア２２２は、下記に論じられ、図３Ａ～図３Ｄに示されたカバー３００などのカバーが、ベースプレート２００およびカバー３００を含んでいるレチクルポッドが組み立てられるときにベースプレート２００と接触している位置のところにある。第２の側はまた、ベースプレート２００の第２の側に設けられたレチクルコンタクト部２２６同士の間の場所にあるレチクル下空間２２４も含む。

【0034】

図２Ｄは、図２Ｃのベースプレートの第２の側で使用されるように構成された第２のシェルを示す。第２のシェル２３０は、第２のシェル本体２３２および第２のシェルコンタクト部２３４を含む。第２のシェル本体は、ベースプレート２００を収納するための内部空間の別の一部分を画定する。第２のシェルコンタクト部２３４は、図５～図９に示され、下記に論じられるようなコンタクト部５０２、６０２、７０２、８０２、または９０２のうちのいずれかなどの、ベースプレート２００と接触するためのコンタクト部の任意の好適な構成であってもよい。第２のシェルコンタクト部２３４は、ベースプレート２００の第２の側のグリッパポケット２２０に好ましくは対応するように設置されてもよい。第２のシェルコンタクト部２３４は、第２のシェルコンタクト部がベースプレート２００の第２の側の封止エリア２２２またはレチクル下空間２２４と接触しないように設置されてもよい。封止エリア２２２およびレチクル下空間２２４は、ベースプレート２００の重要な領域と考えられてもよい。これらの領域の重要性は、例えば、レチクルに悪影響を及ぼす高い可能性を有するこのようなエリア内で発生される粒子、または封止エリア２２２およびレチクル下空間２２４内の表面の仕上げの視認性のためであり得る。

【0035】

図３Ａは、ある実施形態に従って容器に保管されるレチクルポッドのカバーの第１の側を示す。カバー３００の第１の側は、カバー３００がレチクルポッドを形成するためにベースプレート２００などのベースプレートと組み立てられるときにレチクルに面するカバー３００の側である。カバー３００の第１の側は、フランジ３０２を含む。カバー３００の第１の側は、カバー３００を含んでいるレチクルポッドの内部空間の一部分を画定するレチクルレリーフ３０４をさらに含む。フランジ３０２はまた、反射鏡領域３０６も含む。カバー３００の第１の側は、シーリングエリア３０８をさらに含む。カバー封止エリア３０８は、カバー３００を含んでいるレチクルポッドが組み立てられるときにベースプレート２００などのベースプレートと接触するように構成されたエリアである。カバー３００のカバー封止エリア３０８は、図２Ｃに示され、上に説明されたベースプレート封止エリア２２２に対応することがある。

【0036】

図３Ｂは、図３Ａのカバーの第１の側で使用されるように構成された第１のシェルを示す。第１のシェル３１０は、第１のシェル本体３１２および第１のシェルコンタクト部３１４を含む。第１のシェル本体３１２は、カバー３００を収納するための内部空間の一部分を画定する。複数の第１のシェルコンタクト部３１４は、第１のシェル３１０および第２のシェル３３０を含んでいる容器が組み立てられるときにカバー３００の第１の側に面するように構成されたシェル本体３１０の表面に分散される。第１のシェルコンタクト部３１４は、反射鏡領域３０６の外側のフランジ３０２の部品などのカバー３００の第１の側上の位置に対応するように設置されてもよい。第１のシェルコンタクト部３１４は、カバー３００が第１のシェル３１０内へと置かれるときに第１のシェルコンタクト部がレチクルレリーフ３０４、反射鏡領域３０６、またはカバー封止エリア３０８と接触しないように設置されてもよい。

【0037】

図３Ｃは、図３Ａに示したカバーの第２の側を示す。カバー３００の第２の側は、カバー３００がレチクルポッド内へと組み立てられるときに、例えば、ベースプレート２００と結合されるときに外に向かって面する。カバー３００の第２の側は、スルーホール３２０を含む。スルーホール３２０は、カバー３００内へとその後に据え付けられる機構のための挿入孔であってもよい。カバー３００の第２の側は、重量削減カットアウト３２２をさらに含む。

【0038】

図３Ｄは、図３Ｃのカバーの第２の側で使用されるように構成された第２のシェルを示す。第２のシェル３３０は、第２のシェル本体３３２および第２のシェルコンタクト部３３４を含む。第２のシェル本体３３２は、カバー３００を収納するための内部空間の別の一部分を画定した。第２のシェルコンタクト部３３４は、カバー３００が第１のシェル３１０および第２のシェル３３０により形成される容器内部に設置されるときにカバー３００の第２の側に面するように構成されたシェル本体３３２の側に設けられる。第２のシェルコンタクト部３３４は、第２の側カバー３００、例えばスルーホール３２０および／または重量削減カットアウト３２２の位置に対応する位置のところに設置されてもよい。

【0039】

図４は、ある実施形態による方法のフローチャートを示す。方法４００は、容器の第１のシェル内へとレチクルポッドのカバーまたはベースプレートを置くこと４０２を含む。方法４００は、容器の第２のシェルを第１のシェルに結合すること４０４をさらに含む。方法４００はまた、第１および第２のシェルの固定機構の嵌合も含み、カバーまたはベースプレートの動きを制限する４０６。

【0040】

レチクルポッドのカバーまたはベースプレートは、容器の第１のシェル内へと置かれる４０２。カバーまたはベースプレートは、第１のシェルを含んでいる容器に対応するように選択されたカバーまたはベースプレートのいずれかであってもよい。カバーまたはベースプレートは、第１のシェルに対応するカバーまたはベースプレートの側が第１のシェルの内部に面するように、および上に説明され、図１に示された第１のコンタクト部１０４などの第１のシェルの固定機構がカバーまたはベースプレート上の対応する機構と相互に接続するように４０２のところで容器の第１のシェル内へと置かれてもよい。

【0041】

容器の第２のシェルを第１のシェルに結合すること４０４。第２のシェルは、いずれかの好適な接続により、例えば、上に説明され、図１に示されたようなラッチ１１４を使用して、例えば、第１のシェルに第２のシェルをラッチすることよって、４０４のところで第１のシェルに結合されてもよい。ある実施形態では、第２のシェルは、上に説明され、図１に示されたヒンジ１１２などの１つまたは複数のヒンジの周りをピボット回転されてもよく、上記ヒンジに、第２のシェルがラッチまたは他のクロージャによって第１のシェルに結合される。４０４のところで第１のシェルに第２のシェルを結合することは、第１のシェルおよび第２のシェルが４０２において第１のシェル内へと置かれたカバーまたはベースプレートを収納している内部空間を形成するという結果になる。カバーまたはベースプレートが４０２のところで第１のシェル内へと置かれることに引き続いて４０４のところで第１のシェルに第２のシェルを結合することは、上に説明され、図１に示された第２のコンタクト部１０８などの第２のシェル上の第２の固定機構をレチクルまたはベースプレートの第２の側と嵌合させる。

【0042】

第１のシェルおよび第２のシェルの固定機構の嵌合は、カバーまたはベースプレートの動きを制限する４０６。４０６のところで制限される動きは、第１のシェルまたは第２のシェルのうちの少なくとも一方と同一面内である動きである。動きは、カバーまたはベースプレートの予め定められた場所での固定機構とのカバーまたはベースプレートの接触によって制限される。４０６のところでの嵌合による動きに対する抵抗は、例えばカバーまたはベースプレートを含んでいる容器が落とされた場合の衝撃、衝突、等による動きを制限できる。４０６のところでの動きの制限は、容器内部でのカバーまたはベースプレートの振動を減少できる。動きの制限は、動きの防止または削減であってもよい。ある実施形態では、カバーまたはベースプレートの動きは、固定機構で使用される材料の柔軟性ならびにカバーまたはベースプレートおよびそれぞれの固定機構の製造許容誤差によって許される程度に制限されることがある。固定機構は、上に特定され、図２Ａ、図２Ｃ、図３Ａ、および図３Ｃに示されたような場所などの予め定められた場所のところでカバーまたはベースプレートに嵌合されてもよい。

【0043】

図５は、収納されるカバーまたはベースプレートとの容器の接触部の界面を示す。図５の実施形態では、シェル５００は、突出部５０２を含む。弾性チップ５０４が、突出部５０２を覆って設けられる。弾性チップ５０４は、カバーまたはベースプレート５０８内に形成されるコンタクト機構５０６と接触する表面を提供する。弾性チップ５０４は、例えば、突出部５０２を覆うプレスフィット、弾性チップ５０４および／もしくは突出部５０２上に形成された保持機構の界面、オーバーモールディング、接着剤、これらの組み合わせ、等である任意の好適な方法により突出部５０２に接続されてもよい。弾性チップ５０４は、例えば、コンタクト機構５０６の特定のエリアと嵌合するために、コンタクト機構５０６の形状に対応するように成形されてもよい。

【0044】

図６は、収納されるカバーまたはベースプレートとの容器の接触部の別の界面を示す。図６の実施形態では、シェル６００は、剛性チップ６０４まで延びる突出部６０２を含み、突出部６０２にさらに設けられた肩６０６をともなう。ある実施形態では、突出部６０２および剛性チップ６０４は、シェル６００と一体的に形成され、シェル６００と同じ材料から構成される。剛性チップ６０４は、カバーまたはベースプレート６１０のコンタクト機構６０８と接触する表面を提供する。肩６０６は、例えば、コンタクト機構６０８の特定のエリアと嵌合するように、コンタクト機構６０８の形状に対応するように選択される形状を有することができる。

【0045】

図７は、収納されるカバーまたはベースプレートとの容器の接触部の別の界面を示す。図７に示した実施形態では、第１のシェル７００は、第１の弾性チップ７０４により覆われる第１の突出部７０２を含む。弾性チップ７０４は、カバーまたはベースプレート７０８に形成されたスルーホール７０６内へと延びる。第２のシェル７１０は、第２の弾性チップ７１４により覆われている第２の突出部７１２を含む。第２の弾性チップ７１４もまた、スルーホール７０６内へと延びる。第１の弾性チップ７０４および第２の弾性チップ７１４は、スルーホール７０６内で互いに接触できる。

【0046】

図８は、収納されるカバーまたはベースプレートとの容器の接触部の別の界面を示す。図８に示した実施形態では、シェル８００は、突出部８０２を含む。突出部８０２は、突出部８０２に形成されたリセス８０４を含む。リセス８０４は、任意の好適な形状を有することができる。ある実施形態では、リセス８０４は、円柱状であってもよい。ある実施形態では、リセス８０４は、形状で円錐形または円錐台形である。弾性インサート８０６が、リセス８０４内に保持されてもよい。ある実施形態では、弾性インサート８０６は、リセス８０４内へのプレスフィットであってもよい。ある実施形態では、弾性インサート８０６は、嵌合機構、接着剤、等なとの任意の好適な機構により突出部８０２に結合されてもよい。弾性インサート８０６は、弾性材料を含む。弾性インサート８０６は、カバーまたはベースプレート８１０のコンタクト機構８０８と接触するように構成される。ある実施形態では、突出部８０２の一部分はまた、カバーまたはベースプレート８１０のコンタクト機構８０８とも接触できる。

【0047】

図９は、収納されるカバーまたはベースプレートとの容器の接触部の別の界面を示す。図９に示した実施形態では、シェル９００は、複数のコンタクト部９０２を提供する。複数のコンタクト部９０２のすべては、カバーまたはベースプレート９０６の単一のコンタクト機構９０４と相互に接続する。コンタクト部９０２のうちの一部またはすべては、コンタクト部９０２の各々の端部９０８のところに弾性材料を含むことができる。端部９０８のところの弾性材料は、突出部９０２を覆って付けられてもよい。突出部９０２は、シェル９００と一体的に形成されてもよい。ある実施形態では、突出部９０２のうちの一部またはすべては、弾性材料が設けられない状態で端部９０８まで延びることが可能であり、したがって、カバーまたはベースプレート９０６のコンタクト機構９０４と相互に接続する表面のところに剛性材料を提供する。

【0048】

態様
態様１～９のいずれかが態様１０～１８のいずれかと組み合わせられてもよいことが理解される。

【0049】

態様１．レチクルポッドのカバーまたはベースプレート用の容器であって、
複数の第１の固定機構を備える第１のシェルと、
複数の第２の固定機構を備える第２のシェルと
を具備し、
上記第１のシェルおよび上記第２のシェルが一緒に結合されるように構成され、
上記第１のシェルおよび上記第２のシェルが一緒に結合されると、上記第１のシェルおよび上記第２のシェルが内部空間を画定し、上記内部空間が上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートを収容できるように、上記内部空間が大きさを決められ、
上記第１の固定機構が、上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートの第１の側に設けられた第１のポッド機構に対応する第１の予め定められた位置のところで上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートと嵌合するように構成され、
上記第２の固定機構が、上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートの第２の側に設けられた第２のポッド機構に対応する第２の予め定められた位置のところで上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートと嵌合するように構成され、
上記第１の固定機構が上記第１のポッド機構と嵌合し、上記第２の固定機構が上記第２のポッド機構と嵌合すると、上記嵌合が、上記第１のシェルまたは上記第２のシェルのうちの少なくとも一方との、面内の上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートの動きを制限する、
容器。

【0050】

態様２．上記第１の固定機構または上記第２の固定機構のうちの少なくとも一方が、弾性材料を各々含む、態様１に記載の容器。

【0051】

態様３．上記弾性材料がフルオロエラストマーである、態様２に記載の容器。

【0052】

態様４．上記第１の固定機構または上記第２の固定機構のうちの少なくとも一方が、剛性材料を各々含む、態様１から３のいずれか一項に記載の容器。

【0053】

態様５．上記剛性材料が、上記第１のシェルまたは上記第２のシェルの本体と同じ材料である、態様４に記載の容器。

【0054】

態様６．上記容器が上記レチクルポッドの上記カバー用であり、上記第１の予め定められた位置および上記第２の予め定められた位置のうちの少なくともいくつかが、上記レチクルポッドの上記カバーのスルーホールに対応する、態様１から５のいずれか一項に記載の容器。

【0055】

態様７．上記容器が、上記レチクルポッドの上記ベースプレート用であり、上記第１の予め定められた位置または上記第２の予め定められた位置のうちの少なくとも一方が、上記レチクルポッドの上記ベースプレートのキネマティックカップリング溝に対応する、態様１から６のいずれか一項に記載の容器。

【0056】

態様８．上記第１の予め定められた位置および上記第２の予め定められた位置が、上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートの非機能的な場所に対応する、態様１から７のいずれか一項に記載の容器。

【0057】

態様９．上記第１のシェルおよび上記第２のシェルが、ポリカーボネートまたはポリオレフィンを各々含む、態様１から８のいずれか一項に記載の容器。

【0058】

態様１０．レチクルポッドのカバーまたはベースプレートを保管する方法であって、
容器の第１のシェル内へと上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートを置くことであり、上記第１のシェルが複数の第１の固定機構を含み、上記第１のシェル内へと上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートを置くことが、上記カバーまたは上記ベースプレートの第１の側上の第１のポッド機構を上記複数の第１の固定機構と嵌合させることを含む、上記カバーまたは上記ベースプレートを置くことと、
上記容器の第２のシェルを上記容器の上記第１のシェルに結合することであり、上記第２のシェルが第２の嵌合機構を含み、上記容器の第２のシェルを上記第１のシェルに結合することが、上記カバーまたは上記ベースプレートの第２の側の第２のポッド機構を上記第２の固定機構と嵌合させることを含む、第２のシェルを第１のシェルに結合することと
を含み、
上記第１のポッド機構との上記第１の固定機構の上記嵌合および上記第２のポッド機構との上記第２の固定機構の上記嵌合が、上記第１のシェルまたは上記第２のシェルのうちの少なくとも一方との、面内の上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートの動きを制限する、
方法。

【0059】

態様１１．上記第１の固定機構または上記第２の固定機構のうちの少なくとも一方が、弾性材料を各々含む、態様１０に記載の方法。

【0060】

態様１２．上記弾性材料がフルオロエラストマーである、態様１１に記載の方法。

【0061】

態様１３．上記第１の固定機構または上記第２の固定機構のうちの少なくとも一方が、剛性材料を各々含む、態様１０から１２のいずれか一項に記載の方法。

【0062】

態様１４．上記剛性材料が、上記第１のシェルまたは上記第２のシェルの本体と同じ材料である、態様１３に記載の方法。

【0063】

態様１５．保管される上記カバーまたは上記ベースプレートが、上記レチクルポッドの上記カバーであり、上記第１の固定機構および上記第２の固定機構のうちの少なくともいくつかが、上記レチクルポッドの上記カバーに形成されたスルーホールと嵌合する、態様１０から１４のいずれか一項に記載の方法。

【0064】

態様１６．保管される上記カバーまたは上記ベースプレートが、上記レチクルポッドの上記ベースプレートであり、上記第１の固定機構および上記第２の固定機構のうちの少なくともいくつかが、上記レチクルポッドの上記ベースプレートのキネマティックカップリング溝と嵌合する、態様１０から１５のいずれか一項に記載の方法。

【0065】

態様１７．上記第１の固定機構および上記第２の固定機構が、上記レチクルポッドの上記カバーまたは上記ベースプレートの非機能的な場所と嵌合する、態様１０から１６のいずれか一項に記載の方法。

【0066】

態様１８．上記第１のシェルおよび上記第２のシェルが、ポリカーボネートまたはポリオレフィンを各々含む、態様１０から１７のいずれか一項に記載の方法。

【0067】

この出願で開示した例は、あらゆる点で実例として考えられるべきであり限定として考えられるべきではない。本発明の範囲は、前述の記載によるよりはむしろ別記の特許請求の範囲により示され、特許請求の範囲の等価物の意味および範囲内になるすべての変更は、特許請求の範囲に取り込まれるものである。

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図2D】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図3D】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【手続補正書】

【提出日】2024-08-15

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

レチクルポッドのカバーまたはベースプレート用の容器であって、
複数の第１の固定機構を備える第１のシェルと、
複数の第２の固定機構を備える第２のシェルと
を具備し、
前記第１のシェルおよび前記第２のシェルが一緒に結合されるように構成され、
前記第１のシェルおよび前記第２のシェルが一緒に結合されると、前記第１のシェルおよび前記第２のシェルが内部空間を画定し、前記内部空間が前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートを収容できるように、前記内部空間が大きさを決められ、
前記第１の固定機構が前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートの第１の側に設けられた第１のポッド機構に対応する第１の予め定められた位置のところで前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートと嵌合するように構成され、
前記第２の固定機構が前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートの第２の側に設けられた第２のポッド機構に対応する第２の予め定められた位置のところで前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートと嵌合するように構成され、
前記第１の固定機構が前記第１のポッド機構と嵌合し、前記第２の固定機構が前記第２のポッド機構と嵌合すると、前記嵌合が、前記第１のシェルまたは前記第２のシェルのうちの少なくとも一方との、面内の前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートの動きを制限する、
容器。

【請求項2】

前記容器が前記レチクルポッドの前記カバー用であり、前記第１の予め定められた位置および前記第２の予め定められた位置のうちの少なくともいくつかが、前記レチクルポッドの前記カバーのスルーホールに対応する、請求項１に記載の容器。

【請求項3】

前記容器が前記レチクルポッドの前記ベースプレート用であり、前記第１の予め定められた位置または前記第２の予め定められた位置のうちの少なくとも一つが、前記レチクルポッドの前記ベースプレートのキネマティックカップリング溝に対応する、請求項１または２に記載の容器。

【請求項4】

前記第１の予め定められた位置および前記第２の予め定められた位置が、前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートの非機能的な場所に対応する、請求項１または２に記載の容器。

【請求項5】

レチクルポッドのカバーまたはベースプレートを保管する方法であって、
容器の第１のシェル内へと前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートを置くことであり、前記第１のシェルが複数の第１の固定機構を含み、前記第１のシェル内へと前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートを置くことが、前記カバーまたは前記ベースプレートの第１の側の第１のポッド機構を前記複数の第１の固定機構と嵌合させることを含む、前記カバーまたは前記ベースプレートを置くことと、
前記容器の第２のシェルを前記容器の前記第１のシェルに結合することであり、前記第２のシェルが第２の嵌合機構を含み、前記容器の前記第２のシェルを前記第１のシェルに結合することが、前記カバーまたは前記ベースプレートの第２の側の第２のポッド機構を第２の固定機構と嵌合させることを含む、前記第２のシェルを前記第１のシェルに結合することと
を含み、
前記第１のポッド機構との前記第１の固定機構の前記嵌合および前記第２のポッド機構との前記第２の固定機構の前記嵌合が、前記第１のシェルまたは前記第２のシェルのうちの少なくとも一方との、面内の前記レチクルポッドの前記カバーまたは前記ベースプレートの動きを制限する、
方法。

【国際調査報告】