特表 2025-505290 フォトニック集積回路をテストするための装置、テストカードおよび方法、ならびにフォトニック集積回路

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2025-02-21

(54)【発明の名称】フォトニック集積回路をテストするための装置、テストカードおよび方法、ならびにフォトニック集積回路

(51)【国際特許分類】

   G01M 11/00 20060101AFI20250214BHJP

【ＦＩ】

G01M11/00 T

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024548385

(86)(22)【出願日】2023-02-08

(85)【翻訳文提出日】2024-10-11

(86)【国際出願番号】 EP2023053095

(87)【国際公開番号】W WO2023156271

(87)【国際公開日】2023-08-24

(31)【優先権主張番号】102022103611.1

(32)【優先日】2022-02-16

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】503263355

【氏名又は名称】カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

(74)【代理人】

【識別番号】100094569

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 伸一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100119013

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 一夫

(74)【代理人】

【識別番号】100067013

【弁理士】

【氏名又は名称】大塚 文昭

(74)【代理人】

【識別番号】100120525

【弁理士】

【氏名又は名称】近藤 直樹

(74)【代理人】

【識別番号】100139712

【弁理士】

【氏名又は名称】那須 威夫

(74)【代理人】

【識別番号】100141553

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 信彦

(74)【代理人】

【識別番号】100196612

【弁理士】

【氏名又は名称】鎌田 慎也

(72)【発明者】

【氏名】ツヴィッケル ハイナー

(72)【発明者】

【氏名】リヒター シュテファン

(72)【発明者】

【氏名】ハルター トビアス

【テーマコード（参考）】

2G086

【Ｆターム（参考）】

2G086EE03

2G086EE04

2G086EE12

(57)【要約】

フォトニック集積回路をテストするための装置およびテストカード、対応するシステム、ならびにフォトニック集積回路が提供される。この場合、テストカード（２４）は、光学ユニット（２０）によって、テストされるフォトニック集積回路（２２）上に結像される（ｉｍａｇｅｄ）。このようにして、複数の異なる場所におけるフォトニック集積回路（２２）の並列照射が可能である。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）をテストするための装置であって、
複数の光ポート（２５、６１）を有するテストカード（２４；２４Ａ～２４Ｅ）のためのレセプタクルと、
テストされるフォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）に前記テストカード（２４；２４Ａ～２４Ｅ）を結像する（ｉｍａｇｉｎｇ）ための光学ユニット（１１；２０；２０Ａ）と
を備える、装置。

【請求項2】

光入口（２５）を有するさらなるテストカード（２４；２４Ａ～２４Ｅ）のためのレセプタクルをさらに備え、前記光学ユニット（１１；２０；２０Ａ）は、テストカード（２４；２４Ａ～２４Ｅ）から前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）へと光を通過させ、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）からさらなる前記テストカード（２４；２４Ａ～２４Ｅ）へと光を通過させるように構成されているスプリッタ要素（５０）を備える、請求項１に記載の装置。

【請求項3】

前記スプリッタ要素（５０）は、偏光ビームスプリッタを含む、請求項２に記載の装置。

【請求項4】

前記レセプタクルから前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）への光路内のスキャナデバイス（２１）をさらに備える、請求項１～３のいずれかに記載の装置。

【請求項5】

フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）をテストするためのテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）であって、テストを目的として照射されることになる前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）の場所に対応するように配置構成されている、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）を照射するための複数の光出口（２５、６１）を備える、テストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項6】

少なくとも１つの光ファイバ（３０）を介して前記光出口（２５、６１）に接続されている光源（２６）をさらに備える、請求項５に記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項7】

前記光出口（２５、６１）は、前記少なくとも１つの光ファイバ（３０）の端部に対応する、請求項６に記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項8】

前記テストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）は、フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）を備える、請求項５または６に記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項9】

前記テストカードは、電気光学回路基板を備える、請求項５～８のいずれかに記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項10】

前記光出口（２５、６１）は、偏光光を出力するように構成されている、請求項５～９のいずれかに記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項11】

前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）のテスト中に光を放出する、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）の発光場所に対応するように配置構成されている、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）からの光を受信するための複数の光入口（２５、６１）をさらに備える、請求項５～１０のいずれかに記載のテストカード。

【請求項12】

フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）をテストするためのテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）であって、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）のテスト中に光を放出する、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）の発光場所に対応するように配置構成されている、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）からの光を受信するための複数の光入口（２５、６１）を備える、テストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項13】

フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）をテストするためのシステムであって、請求項１～４のいずれかに記載の装置と、請求項５～１２のいずれかに記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）とを備え、前記テストカードは、レセプタクル内に受け入れられる、システム。

【請求項14】

前記装置は、請求項２に従って具現化され、前記システムは、請求項１１に記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）を備え、前記テストカードは、さらなる前記レセプタクル内に受け入れられる、請求項１３に記載のシステム。

【請求項15】

回路基板をさらに備え、前記回路基板は、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）と接触するように構成されており、
前記回路基板の表面と前記回路基板の裏面との間に延在し、前記裏面に隣接して位置付けられている前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）の電気インターフェースに接触するように構成されている少なくとも１つの導電体トラックを備える、請求項１３および１４のいずれかに記載のシステム。

【請求項16】

フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）であって、第１の偏光を有する光を入力結合するための入力結合要素（４１；７０）、および、前記第１の偏光とは異なる第２の偏光を有する光を出力結合するための出力結合要素（４１；４７）を有するテスト構造を備え、前記入力結合要素および前記出力結合要素は、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）に光学的に接続されている、フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）。

【請求項17】

一方における前記入力結合要素（４１；７０）および前記出力結合要素、ならびに、他方における前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）の間のソーイングライン（４６）をさらに備える、請求項１６に記載のフォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）。

【請求項18】

前記入力結合要素および前記出力結合要素は、共通の要素（４７）として形成される、請求項１６および１７のいずれかに記載のフォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）。

【請求項19】

光学的に導波路と短絡される、位置整合を目的とした少なくとも１つの組み合わせ入力／出力結合要素をさらに備える、請求項１６～１８のいずれかに記載のフォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）。

【請求項20】

フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）であって、光学的に導波路と短絡される、位置整合を目的とした少なくとも１つの組み合わせ入力／出力結合要素を備える、フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）。

【請求項21】

請求項１～４のいずれかに記載の装置を使用してフォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）をテストするための方法であって、
請求項５～１２のいずれかに記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）をレセプタクルに挿入することと、
前記テストカード（１０；２４；２４Ａ－２４Ｅ）を位置整合させることと、
前記テストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）を用いることによって前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）をテストすることと
を含む、方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本出願は、あらゆる目的のために参照によりその全体が組み込まれる、「Ａｐｐａｒａｔｕｓｅｓ，ｔｅｓｔ ｃａｒｄｓ ａｎｄ ｍｅｔｈｏｄｓ ｆｏｒ ｔｅｓｔｉｎｇ ｐｈｏｔｏｎｉｃ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔｓ，ａｎｄ ｐｈｏｔｏｎｉｃ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔｓ」と題する２０２３年２月１６日に出願されたドイツ特許出願第１０２０２２１０３６１１．１号の優先権を主張する。

【0002】

本出願は、フォトニック集積回路（ＰＩＣ）をテストするための装置、テストカードおよび方法、ならびにそのようなテスト向けに構成されているフォトニック集積回路に関する。

【背景技術】

【0003】

フォトニック集積回路（ｐｈｏｔｏｎｉｃ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔｓ）においては、電子集積回路の場合と同様に、複数の受動および／または能動光学および光電子構成要素が、例えば、半導体ウェハなどの共通基板上に組み付けられて、複雑な光回路が形成されている。この場合、例えば、フィルタまたは結合器などの従来の光学構成要素は、よりコンパクトな集積光学構成要素に置き換えることができる。フォトニック集積回路の様々な構成要素は、フォトニック集積回路内で導波路を介して互いに接続される。そのようなフォトニック集積回路は、インターネット上のデータトラフィックの大幅な増大に伴って、とりわけ近年より関心が集まるようになってきている。これは、ここでは十分な帯域幅を有し、効率的に動作する信号処理回路が必要とされるためである。電気通信およびデータ伝送用途とは別に、フォトニック集積回路はまた、例えば、センサ技術などの他の用途およびライフサイエンスにおける用途向けにも関心を寄せられている。

【0004】

そのようなフォトニック集積回路の生産工程は、従来の電子集積回路または微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）の生産工程に類似する。しかしながら、これらの従来の技術とは対照的に、フォトニック集積回路では、生産工程中またはその後にそのような回路を効率的にチェックするために使用することができるテスト方法は、少数しか存在しない。

【0005】

フォトニック集積回路、特にその中に位置する導波構造をテストするためには、光をフォトニック集積回路の導波構造内に結合し、フォトニック集積回路から、特に導波構造から、またはその両方から光を検出することが必要である。

【0006】

そのようなフォトニック集積回路をテストするための１つの従来の方法は、テストされるフォトニック集積回路上に位置整合および位置付けされている光導波ファイバ、すなわち、光ファイバまたは他の誘電体光導波路を使用することである。これらの光導波ファイバを用いることによって、テストされるフォトニック集積回路は、対応する入力結合点において照射され、フォトニック集積回路から出た光は、収集され、その後、評価される。これは、１μｍ未満の範囲内の非常に高い位置付け正確度を要求し、これは、位置付けを目的として比較的長い時間を必要とし、したがって、多数のアイテムについては限られた範囲のみにしか適さない。

【0007】

この問題を解決するために、本出願人によって出願されたＤＥ１０２０１７１０１６２６Ａ１は、走査デバイスを用いることによって光ビームがテストされる回路上へと方向付けられる、フォトニック集積回路をテストするための装置を提供する。これは、光導波ファイバの複雑な位置付けの必要性をなくす。しかしながら、このとき、可動の、対応して精密な走査ミラーが必要とされる。

【発明の概要】

【0008】

したがって、フォトニック集積回路を効率的にテストするためのさらなる可能性が必要とされている。

【0009】

請求項１による装置、請求項５または１２によるテストカード、請求項１３によるシステム、請求項１５または１９によるフォトニック集積回路、および、請求項２０による方法が提供される。従属請求項が、さらなる実施形態を定義する。

【0010】

一態様によれば、フォトニック集積回路をテストするための装置であって、
複数の光ポートを有するテストカードのためのレセプタクルと、
テストされるフォトニック集積回路にテストカードを結像する（ｉｍａｇｉｎｇ）ための光学ユニットと
を備える、装置が提供される。

【0011】

光学ユニットを用いることによって、テストカードから出る光を、１つまたは複数のフォトニック集積回路の対応する照射される点に結像する（ｉｍａｇｅｄ）ことができ、結果として、フォトニック集積回路を、テストを目的として複数の点において照射することができる。逆に、対応する様式で、フォトニック集積回路からの光を受信することができる。そのような光学ユニットは、それ自体既知である様式で、例えば、顕微鏡光学ユニットとして具現化することができる。光学ユニットは、縮小または拡大結像（ｉｍａｇｉｎｇ）を行うことができる。したがって、テストカードは、このとき、テストされるフォトニック集積回路よりも大きくまたは小さく（スケーリング）することができる。光ポートは、光入口もしくは光出口、またはそのような機能とすることができる。

【0012】

装置は、光入口を有するさらなるテストカードのためのレセプタクルをさらに備えることができ、光学ユニットは、テストカードからフォトニック集積回路へと光を通過させ、フォトニック集積回路からさらなるテストカードへと光を通過させるように構成されているスプリッタ要素を備える。

【0013】

これに関連して、別個のテストカードを照射および検出に使用することが可能である。

【0014】

スプリッタ要素は、偏光ビームスプリッタを含むことができる。これによって、照射光ビームと検出光ビームとが相対的に少ない損失で分離されることが可能である。

【0015】

装置は、レセプタクルからフォトニック集積回路への光路内のスキャナデバイスをさらに備えることができる。これを用いることによって、例えば、ウェハ上の複数のフォトニック集積回路を連続的に走査することができる。

【0016】

さらなる態様によれば、フォトニック集積回路をテストするためのテストカードであって、テストを目的として照射されることになるフォトニック集積回路の場所に対応するように配置構成されている、フォトニック集積回路を照射するための複数の光出口を備える、テストカードが提供される。

【0017】

そのようなテストカードおよび上記で言及した装置によれば、それぞれのフォトニック集積回路のテストを単純な様式で可能にすることができる。

【0018】

テストカードは、少なくとも１つの光ファイバを介して光出口に接続されている光源をさらに備えることができる。これに関連して、テストされるフォトニック集積回路は、光源からの光によって照射することができる。この場合、「光源」という用語はまた、それぞれ割り当てられた光ファイバによってそれぞれ割り当てられた光出口に接続される、例えば、発光ダイオードなどの複数の個々の光源を有する構成も包含する。

【0019】

１つの変形形態において、光出口は、少なくとも１つの光ファイバの端部に対応することができる。このとき、端部は、アタッチメント光学ユニット（ａｔｔａｃｈｍｅｎｔ ｏｐｔｉｃａｌ ｕｎｉｔ）になお接続することができる。

【0020】

別の変形形態において、テストカードは、フォトニック集積回路を備える。これに関連して、テストを目的とした様々な構成要素を統合することが可能である。

【0021】

付加的にまたは代替的に、テストカードは、電気光学回路基板を備えることができる。このように、実施態様の様々な可能性が存在する。

【0022】

光出口は、例えば、格子結合器としての実施形態によって、偏光光を出力するように構成することができる。このとき、そのようなテストカードは、特に、偏光ビームスプリッタを使用する上述したとともに使用することができる。

【0023】

テストカードは、フォトニック集積回路のテスト中に光を放出する、フォトニック集積回路の発光場所に対応するように配置構成されている、フォトニック集積回路からの光を受信するための複数の光入口をさらに備えることができる。このとき、そのようなテストカードは、照射と検出の両方の目的に使用することができる。

【0024】

さらなる態様によれば、フォトニック集積回路をテストするためのテストカードであって、フォトニック集積回路のテスト中に光を放出する、フォトニック集積回路の発光場所に対応するように配置構成されている、フォトニック集積回路からの光を受信するための複数の光入口をさらに備える、テストカードが提供される。そのようなテストカードは、特に、スプリッタ要素を有する上述した装置内のさらなるテストカードとして使用することができる。

【0025】

さらなる態様によれば、フォトニック集積回路をテストするためのシステムであって、上述したような装置と、上述したようなテストカードとを備え、上記テストカードは、レセプタクル内に受け入れられる、システムが提供される。

【0026】

システムは、回路基板をさらに備えることができ、回路基板は、フォトニック集積回路と接触するように構成されており、
回路基板の表面と回路基板の裏面との間に延在し、裏面に隣接して位置付けられているフォトニック集積回路の電気インターフェースに接触するように構成されている少なくとも１つの導電体トラックを備える。

【0027】

これに関連して、テストされるフォトニック集積回路の電気的接触を付加的に行うことができる。

【0028】

回路基板は、電気光学回路基板とすることができ、これは、電気光学回路基板の表面と電気光学回路基板の裏面との間に延在し、裏面に隣接して位置付けられているフォトニック集積回路の光インターフェースに接触するように構成されている少なくとも１つの光ビーム経路を付加的に備える。

【0029】

さらなる態様によれば、フォトニック集積回路であって、第１の偏光を有する光を入力結合するための入力結合要素、および、第１の偏光とは異なる第２の偏光を有する光を出力結合するための出力結合要素を有するテスト構造を備え、入力結合要素および出力結合要素は、フォトニック集積回路に光学的に接続されている、フォトニック集積回路が提供される。そのようなフォトニック集積回路は、偏光ビームスプリッタを使用する上述したような装置によってテストすることができる。

【0030】

フォトニック集積回路は、一方における入力結合要素および出力結合要素、ならびに、他方におけるフォトニック集積回路の間のソーイングラインをさらに備えることができる。テスト後、次いで、ソーイングラインに沿って分離を実施することができ、その結果、エッジ結合器が生じ得、次いで、フォトニック集積回路を、その使用のために供給することができる。

【0031】

入力結合要素および出力結合要素は、共通の要素として形成することができる。これは、空間が節約されることを可能にする。

【0032】

フォトニック集積回路は、光学的に導波路と短絡される、位置整合を目的とした少なくとも１つの組み合わせ入力／出力結合要素（ｃｏｍｂｉｎｅｄ ｉｎｐｕｔ／ｏｕｔｐｕｔ ｃｏｕｐｌｉｎｇ ｅｌｅｍｅｎｔ）をさらに備えることができる。

【0033】

これはまた、上記で言及したテスト構造とは独立して可能でもあり、結果、さらなる態様によれば、フォトニック集積回路であって、光学的に導波路と短絡される、位置整合を目的とした少なくとも１つの組み合わせ入力／出力結合要素をさらに備える、フォトニック集積回路が提供される。そのような短絡入力／出力結合要素は、上述したシステムにおけるテストカードの位置整合を容易にすることを可能にする。

【0034】

さらなる態様によれば、上述した装置を使用してフォトニック集積回路をテストするための方法であって、
上述したテストカードをレセプタクルに挿入することと、
テストカードを（例えば、短絡入力／出力結合要素を用いて）位置整合させることと、
テストカードを用いることによって、すなわち、テストカードを用いて照射し、テストカードまたはさらなるテストカードを用いることによってフォトニック集積回路から出る光を検出することによって、フォトニック集積回路をテストすることと
を含む、方法が提供される。

【0035】

ここで、添付の図面を参照して、様々な例示的実施形態を説明する。

【図面の簡単な説明】

【0036】

【図1】１つの例示的な実施形態によるシステムのブロック図である。

【図2】１つの例示的な実施形態によるシステムの図である。

【図3A】異なる例示的な実施形態によるテストカードを示す図である。

【図3B】異なる例示的な実施形態によるテストカードを示す図である。

【図4A】いくつかの例示的な実施形態による、偏光に基づく分離を明らかにするための図である。

【図4B】図４Ａの修正を示す図である。

【図5】１つの例示的な実施形態によるシステムを示す図である。

【図6】さらなる例示的な実施形態によるシステムを示す図である。

【図7】フォトニック集積回路のいくつかの例示的な実施形態の場合のテスト構造の提供を明らかにする図である。

【図8】フォトニック集積回路のいくつかの例示的な実施形態の場合の位置整合構造の提供を明らかにする図である。

【図9】上述したシステムを使用してフォトニック集積回路をテストするための方法を示すためのフロー図である。

【図10】１つの例示的な実施形態による、追加の電気光学回路基板を有するさらなるシステムのブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0037】

様々な例示的な実施形態が、下記に詳細に説明される。これらの例示的な実施形態は、例示のみのために提供されており、限定として解釈されるべきではない。

【0038】

複数の異なる例示的な実施形態の特徴（例えば、構成要素、方法ステップ、要素など）は、これが明示的に指示されていない場合であっても、互いに組み合わせることができる。例示的な実施形態のうちの１つについて記載されている変形、修正および詳細はまた、他の例示的な実施形態にも適用可能であり、したがって、繰り返し説明されない。明示的に図解および説明されている特徴に加えて、他の特徴、特に、フォトニック集積回路をテストするための従来の装置および対応するフォトニック集積回路の特徴も、提供することができる。そのような従来の特徴は、明示的に説明されない。

【0039】

図１は、１つの例示的な実施形態によるフォトニック集積回路１２をテストするためのシステムを示す。図１のシステムは、光学ユニット１１と、テストされるフォトニック集積回路１２と協調されるテストカード１０とを備える。光学ユニット１１は、テストカード１０をフォトニック集積回路１２上に結像する（ｉｍａｇｅｓ）。この場合、テストカード１０は、矢印１３によって指示されている、光出口、光入口、または両方、すなわち、光ポートを備える。これらは、光学ユニット１１によってフォトニック集積回路１２上に結像され（ｉｍａｇｅｄ）、結果、後者は、テストカード１０の光出口に対応する点において照射され、および／または、テストカード１０は、対応して、同じく矢印１４によって指示されているような、照射に応答してフォトニック集積回路１２によって放出される光を、光入口において受信する。言い換えれば、テストカード１０およびフォトニック集積回路１２は、光学ユニット１１の対物面および割り当てられた像面内に配置される。この場合、対応するマウント１５または他のレセプタクルを、テストカード１０のために提供することができる。レセプタクルは、テストカード１０の精密な配置を可能にするために、例えば、マイクロメートルねじゲージ、圧電素子などによって、位置整合可能であり得る。そのようなレセプタクルを提供することによって、あるタイプのテストされるフォトニック集積回路のための対応するテストカードを、各事例において図１のシステムに挿入することができる。他の例示的な実施形態において、テストカードはレセプタクル内に固定的に（交換不可能に）設置される。この場合、１つのタイプのフォトニック集積回路のみがテストされ得る。

【0040】

ここで、テストカード１０は、特に、複数の場所にある複数の光出口を備えることができ、結果、フォトニック集積回路１２は、複数の点において同時に照射することができる。逆に、フォトニック集積回路１２の複数の点からの光も、様々な光入口において同時に受信され、その後、対応して評価され得る。結果として、光学ユニット１１およびテストカード１０の寸法決定に従って、フォトニック集積回路１２上の対応するサイズの領域の同時テストが可能である。例として、テストカード１０が対応するサイズであり、光学ユニット１１が対応して寸法決定される場合、フォトニック集積回路１２全体を並列にテストすることができ、または、ウェハ上に配置された複数のフォトニック集積回路を並列にテストすることもできる。しかしながら、フォトニック集積回路１２はまた、例えば、ウェハ上にともに配置された同一タイプの複数の部分領域、例えば、複数のフォトニック集積回路を連続的にテストすることができるように、可動とすることもでき、例えば、試料ステージ上に配置することもできる。

【0041】

このとき、評価自体は、任意の従来の様式で実行することができる。ここで、後続の図面を参照して、図１のシステムなどのシステムの実施態様詳細を説明する。

【0042】

図２は、さらなる例示的な実施形態によるシステムを示す。図２のシステムは、測定ユニット２８と、顕微鏡２０と、可動試料ステージ２１０とを備える。テストされるフォトニック集積回路２２を有するウェハ２９が、試料ステージ２１０上に配置される。測定ユニット２８は、図１を参照してすでに論じたテストカード１０に対応することができ、当該テストカードのように、対応するマウント内に配置することができるテストカード２４を備える。テストカード２４は、光出口および光入口の例として、複数の入力／出力結合要素２５を備える。テストカード２４の構造の例は、図３Ａおよび図３Ｂを参照して下記にさらにより詳細に説明する。さらに、測定ユニット２８は、光源２７と、検出器２６とを備える。光源２７は、入力／出力結合要素２５の出力結合要素に接続されており、結果、対応する出力結合要素においてテストカード２４によって光が放出される。検出器２６は、入力／出力結合要素２５の入力結合要素に接続されており、フォトニック集積回路２２から出る光を受信する。

【0043】

この目的のために、顕微鏡２０は、対応する顕微鏡光学ユニットを用いることによって、テストカード２４、特にその入力／出力結合要素２５を、フォトニック集積回路２２の対応する入力／出力結合要素２５上に結像する（ｉｍａｇｅｓ）。フォトニック集積回路２２の入力／出力結合要素２３は、例えば、従来から特にテストを目的としてフォトニック集積回路において使用されている格子結合器または他の入力／出力結合要素とすることができる。それらはまた、ここでは特にフォトニック集積回路２２のテストに使用される入力／出力結合要素２３とすることもでき、一方、フォトニック集積回路２２の後の通常動作において、他の入力／出力結合要素は、光を入力結合および出力結合するために使用される。

【0044】

このように、入力／出力結合要素２５の中からの複数の出力結合要素から、光をフォトニック集積回路の対応する入力結合要素２３に同時に提供することができ、出力結合要素２３からフォトニック集積回路によって、それに応答して、対応して放出される光を受信することができ、検出器２６を用いることによって評価することができる。この場合、検出器２６は、任意のタイプの検出器およびそれに結合されている評価回路を表すと考えられるものとする。評価は、例えば、受信光ビームの存在もしくは受信光ビームの強度に従って行うことができるか、または、フォトニック集積回路２２を通じた光の伝播経路に沿った擾乱の位置特定を可能にする光時間領域反射測定法もしくは光周波数領域反射測定法などのより複雑な測定方法を含むこともできる。

【0045】

任意選択的に、顕微鏡２０は、導入部において引用したＤＥ１０２０１７１０１６２６Ａ１に記載の走査ユニットと同様の走査ユニット２１を含むことができる。これに関連して、例えば、顕微鏡２０を用いることによる結像の正確な位置整合を行うことができ、すなわち、入力／出力結合要素２５を、入力／出力結合要素２３と合致させることができる。可動ステージ２１０を動かすことおよび／または走査ユニット２１を使用することによって、このとき、例えば、ウェハ２９上の複数のフォトニック集積回路２２を連続的にテストすることが可能である。

【0046】

いくつかの例示的な実施形態において、テストカード２４は、フォトニック集積回路２２と同じサイズである。他の実施形態において、テストカードは、フォトニック集積回路２２よりも大きくもしくは小さく、フォトニック集積回路２２に対してスケーリングすることができ、顕微鏡２０は、このとき、対応する拡大または縮小結像を保証する。例えば、テストカード２４のより大きい具現化の結果として、より多くの構造空間が利用可能であり、スケーリングの結果として製造公差をより大きくすることが許容され、したがって、テストカード２４を、顕微鏡２０を用いることによって対応して縮小した様式でフォトニック集積回路２２上に結像する（ｉｍａｇｅｄ）ことができるため、テストカード２４の生産を容易にすることができる。さらに他の例示的な実施形態において、テストカード２４はまた、顕微鏡２０のような光学ユニットの歪みを補償するために、湾曲のようなトポロジを有することもできる。最終的に、フォトニック集積回路２２の所望の照射が行われ、および／または、フォトニック集積回路からの光が検出されるように、入力／出力結合要素２５が入力／出力結合要素２３上に結像され（ｉｍａｇｅｄ）、または、その逆が行われる、テストカード２４および顕微鏡２０の任意の実施形態が可能である。

【0047】

ここで、テストカード２４の様々な実施形態を、図３Ａおよび図３Ｂを参照して説明する。

【0048】

図３Ａは、光ファイバ３０を用いることによって構築されるテストカード２４Ａを示す。テストカード２４Ａ上の光ファイバ３０のファイバ端は、図２の入力／出力結合要素２５を構成する。このように入力／出力結合要素２５を形成するために、小型化アタッチメント光学ユニットを付加的にファイバ端に適用することができる。

【0049】

顕微鏡２０から外方に面する側において、このとき、任意のファイバ結合測定システムを接続することができ、検出器２６がその一例である。図３Ａの場合、例えば、セラミック、硬質金属または適切なプラスチックなどの対応する材料におけるＶ字状の窪みまたはフェルールを用いることによって、ファイバ端の高い位置付け正確度および安定性を達成することができる。ファイバは、行または二次元マトリックスに配置構成することができる。

【0050】

図３Ｂは、それ自体フォトニック集積回路または電気光学回路基板として構築することができるテストカード２４Ｂを示す。電気光学回路基板は、例えば、ＤＥ１０２０１８１０８２８３Ａ１に記載されている。フォトニック集積回路として具現化される場合、光ファイバ３０は、格子結合器またはエッジ結合器を用いることによって接続することができる。図３Ａの例示的な実施形態においては、その後、さらなる測定システムを接続することができる。そのような格子結合器またはエッジ結合器は、特に、テストカード２４Ｂの、試料から外方に面する側に配置することができる。顕微鏡２０に、したがって、試料２２に面する入力／出力結合要素２５も、同様に、格子結合器またはエッジ結合器として実現することができる。同様にして、テストカード２４Ｂが電気光学回路基板として具現化される場合、光ファイバ３０は、プリズムまたはエッジ結合器によって接続することができる。試料側結合要素２５はまた、プリズムまたはエッジ結合器によって実現することもできる。

【0051】

図３Ｂの場合、光源、検出器、変調器および分光計などのさらなる機能も、フォトニック集積回路または電気光学回路基板として実現されるテストカード２４Ｂ内に実現することができ、結果、測定システムの一部または全体が、テストカード２４Ｂ自体の中に実現される。言い換えれば、検出器２６および／または光源２７はまた、光ファイバ３０による結合を必要とすることなく、テストカード２４Ｂ内に直接的に実現することもできる。

【0052】

上述した例示的な実施形態の場合、フォトニック集積回路に入射する光は、フォトニック集積回路から出る光から空間的に分離されて、したがって、照射と測定との間の分離が達成される。言い換えれば、光は、光が受信されるものとは異なる入力／出力結合要素において、テストカード２４によって放出される。付加的にまたは代替的に、偏光に基づく分離を実施することができる。これは、図４～図６を参照して説明する。

【0053】

フォトニック集積回路の場合、偏光感受性は、概して、対応する方向において位置整合された格子結合器を用いることによって獲得することができる。図４Ａは、対応する例を示す。

【0054】

図４Ａは、導波路を介して入力結合格子４３および出力結合格子４１に接続されている、テストされるフォトニック集積回路４０（ＤＵＴ、被テストデバイス）を示す。入力結合格子４３および出力結合格子４１は、フォトニック集積回路をテストするためにのみ使用される特定のテスト構造とすることができる。そのような構造は、フォトニック集積回路４０が上に形成され、テスト後に、例えばソーイングライン４６に沿って部分的に分離することができるウェハ上に配置することができる。このとき、フォトニック集積回路４０の２つのエッジ結合器が、ソーイングラインにおいて導波路の縁部に生じる。この場合、出力結合に使用される格子結合器４１と比較すると、光の入力結合に使用される格子結合器４３は、格子が直交方向に位置整合しており、結果、格子結合器４３は、矢印４５に従う偏向を有する光を入力結合し、一方、格子結合器４１は、矢印４６に従う偏光を有する、すなわち、入力結合される光の偏光に垂直な偏光を有する光を出力結合する。矢印４２および４４は、光が格子結合器４２からフォトニック集積回路４０へと、および、フォトニック集積回路４０から格子結合器４１へとどのように誘導されるかを象徴する。

【0055】

図４Ｂに示すように、別個の格子結合器４１、４３の代わりに、二重偏光格子結合器（ｄｕａｌ ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ ｇｒａｔｉｎｇ ｃｏｕｐｌｅｒ）４７を使用することもできる。それ以外では、図４Ｂは図４Ａに対応する。したがって、図４Ｂの場合、図４Ａの場合のように、２つの別個のエッジ結合器が、同様にソーイングライン４６において利用可能である。すなわち、このとき、光は縁部において入力結合および出力結合され得る。

【0056】

図５は、図４Ａおよび図４Ｂを参照して説明したような偏光感受性入力および出力結合を有するフォトニック集積回路２２を使用する１つの例示的な実施形態によるシステムを示す。図５は、対応する偏光分離が顕微鏡内で実現されるシステムを示す。図５のシステムは、この場合、図４Ａおよび図４Ｂを参照して説明したように、少なくともテストを目的として入力結合および出力結合に対して別個の偏光を使用する、フォトニック集積回路２２をテストするための第１のテストカード２４Ｃ、第２のテストカード２４Ｄおよび顕微鏡２０Ａを備える、すなわち、対応するテスト構造を備える。テストカード２４Ｃは、光源２６からの光を伝送する役割を果たし、テストカード２４Ｄは、光を受信し、検出器２７を用いることによって検出する役割を果たす。テストカード２４Ｃから出る光は、対応する偏光を有する偏光ビームスプリッタ５０を、フォトニック集積回路２２へと通過し、次いで、図４Ａの入力結合格子４３などの入力結合格子によって入力結合される。対照的に、フォトニック集積回路２２から出る光は、偏光ビームスプリッタ５０を通じてテストカード２４Ｄへと方向付けられ、そこで分析される。偏光ビームスプリッタ５０を別にすれば、顕微鏡２０Ａは、図２の顕微鏡２０に対応する。偏光光を使用せず、単純なビームスプリッタを使用するソリューションと比較すると、このとき、より大きい割合の光が検出器２７へと通過し、評価され得る。

【0057】

偏光分離ならびに別個のテストカードの使用および異なる偏光の使用を別にすれば、図５の例示的な実施形態は、図２のものに対応し、他の詳細は、図２を参照して論じたように実施され得る。テストカード２４Ｃ、２４Ｄは各々、図３Ａおよび図３Ｂを参照して論じたように実施することができ、この場合、図示されている例示的な実施形態においては、光を放出するための構成要素（例えば、光出口）のみがテストカード２４Ｃ内に実施され、光を受信するための構成要素（例えば、光入口）のみがテストカード２４Ｄ内に実施される。他の例示的な実施形態において、２つのテストカード２４Ｃ、２４Ｄのうちの一方または両方のテストカード２４Ｃ、２４Ｄが、光を放出するための構成要素を備え、光を受信するための構成要素も備えることができる。

【0058】

図６は、代替的なシステムを示す。ここで、顕微鏡２０は、図２の顕微鏡２０に対応し、特に、図５の顕微鏡２０Ａとは対照的に、偏光ビームスプリッタを備えない。図６のシステムは、テストカード２４Ｅをさらに備える。テストカード２４Ｅは、光の入力結合と出力結合の両方が行われる、入力／出力結合要素６１などの入力／出力結合要素を備える。これらの入力／出力結合要素６１は、このとき、偏光ビームスプリッタ６０を介して光源２７と検出器２６の両方に接続される。したがって、ここで、ビーム分割は、図５の場合のように顕微鏡２０内で行われるのではなく、テストカード２４Ｅ内でまたはその下流で行われる。

【0059】

すでに言及したように、複数のテストされるフォトニック集積回路をウェハ上に提供することができる。それに接続されている結合格子は、ともに近くに配置することができる。一例が、図７に示されている。図７は、図示のように対応する導波路を介して３つの二重偏光格子結合器７０ａ～７０ｃに接続されている、４つのテストされるフォトニック集積回路４０Ａ～４０Ｃを有する。この場合、二重偏光格子結合器７０ａ～７０ｃは、図４Ｂの二重偏光格子結合器４７に対応する。図４Ａによる別個の入力結合格子結合器および出力結合格子結合器を有する同様の構成も可能である。

【0060】

図７に示すように、二重偏光格子結合器７０ａ～７０ｃは、ともに近くに配置されている。このように、全体的に、対応するウェハ上の比較的小さいチップ面積のみが、結合器Ａのために必要とされ、このとき、対応するテストカードは、光が上記結合器７０ａ～７０ｃ上に放射され、それらから光が受信されるように具現化される。図４Ａおよび図４Ｂを参照して説明したように、ソーイングライン４６に沿って切断した後、２つのエッジ結合器が、その後、各事例において、フォトニック集積回路４０Ａ～４０Ｃの各々に対して利用可能になる。１つの光入力および１つの光出力（二重偏光格子結合器としての組み合わせにおけるか、または、別個の格子結合器によるもののいずれか）が、図４Ａおよび図４Ｂならびにまた図７において各テストされるフォトニック集積回路について示されているが、他の実施形態においては、２つ以上の入力結合要素および／または２つ以上の出力結合要素が、１つ、複数またはすべてのテストされるフォトニック集積回路に割り当てられることも可能である。

【0061】

すでに簡潔に説明したように、テストを目的として、それぞれのテストカード（例えば、図２の２４）または複数のテストカード（例えば、図５の２４Ｃ、２４Ｄ）は、それぞれテストされるフォトニック集積回路（例えば、２２）が、正しい場所において照射され、光が正しい場所から収集されるように、正しく位置整合されなければならない。この位置整合を容易にするために、いくつかの例示的な実施形態において、光学位置整合マーカを使用することができる。複数のテストされるフォトニック集積回路を有する、テストされるウェハまたはチップ８０の対応する例示的な実施形態が、図８に示されている。図８において、４つの二重偏光格子結合器８１Ａ～８１Ｄが提供され、これらは、それぞれの導波路によってそれら自体と短絡され、すなわち、入射光が、偏光を改変されて再び直接的に放出される。これは、対応して、図５および図６のシステムを使用してテストすることができる、すなわち、結合器８１Ａ～８１Ｄに割り当てられた点において図６のテストカード２４Ｅまたは図５のテストカード２４Ｃから出る光が、図６のテストカード２４Ｅまたは図５のテストカード２４Ｄの対応する点（その事例においては同一の点）において受信されるか否かをテストすることが可能である。この場合、２つの結合要素８１Ａ～８１Ｄが、二次元配置構成に対して必要とされ、３つの結合要素が、三次元配置構成に対して必要とされ、例えば、図８に示すように、４つの結合要素など、より多くの結合要素を提供することも可能である。

【0062】

上述したシステムの様々な変形例が可能である。

【0063】

偏光に基づいて分離する代わりに、他の例示的な実施形態において、偏光スプリッタの代わりにサーキュレータが使用される場合、伝播方向、入射光または受信光による分離を行うこともできる。

【0064】

その上、半透鏡または折り畳み可能ミラーを、従来のように顕微鏡２０および２０Ａ内に設けることができ、このミラーは、フォトニック集積回路からの光をカメラ上へと方向付け、したがって、外観像を可能にする。

【0065】

図９は、上述したシステムを使用してフォトニック集積回路をテストするための方法を示すためのフロー図を示す。

【0066】

ステップ９０において、図１のテストカード１０、図２のテストカード２４または論じられているテストカード２４Ａ～２４Ｅのうちの１つなどのテストカードが、顕微鏡２０、２０Ａなどの対応する装置に挿入される。必要に応じて、ステップ９１において、その後、テストカードは、例えば、図８の結合要素８１Ａ～８１Ｄを使用して方向付けられ、位置整合される。その後、それぞれのフォトニック集積回路は、中に放射される光によってテストされ、それに応答して、装置を参照してすでに説明したように、光が測定される。

【0067】

図１０は、１つの例示的な実施形態による、追加の電気光学回路基板を有するさらなるシステムのブロック図を示す。

【0068】

フォトニック集積回路の光学的接触に加えて、電気的接触を提供するために、電気光学回路基板（ＥＯＣＢ）を、フォトニック集積回路（ＰＩＣ）に隣接して配置することができる。そのような電気光学回路基板は、例えば、文献ＤＥ１０２０１８１０８２８３Ａ１に記載されている。

【0069】

電気光学回路基板は、電気光学回路基板の表面と電気光学回路基板の裏面との間に延在し、裏面に隣接して位置付けられているフォトニック集積回路の電気インターフェースに接触するように構成されている少なくとも１つの導電体トラックを備えることができ、電気光学回路基板の表面と電気光学回路基板の裏面との間に延在し、裏面に隣接して位置付けられているフォトニック集積回路の光インターフェースに接触するように構成されている少なくとも１つの光ビーム経路をさらに備えることができる。

【0070】

図１０に見てとれるように、電気光学回路基板は、フォトニック集積回路上に配置することができ、結果、矢印１６によって指示されるように、電気信号と光信号の両方を電気光学回路基板によって電気光学回路基板とフォトニック集積回路との間で通すことができる。この場合、光学ユニット１１は、テストカード１０を電気光学回路基板上に結像し（ｉｍａｇｅｓ）、結果、電気光学回路基板は、矢印１４によって指示されるように、テストカード１０の光出口に対応する点において照射され、光信号をフォトニック集積回路に通す。対応して、電気光学回路基板は、照射に応答してフォトニック集積回路１２によって放出される光を受信することができ、同じく矢印１４によって指示されているように、光学ユニット１１またはテストカード１５に光を通すことができる。結果として、電気光学回路基板は、光信号をテストカード１５とフォトニック集積回路１２との間で通し、付加的に、フォトニック集積回路の電気的接触を提供する。

【0071】

さらなる例示的な実施形態において、電気光学回路基板、または代替的に純粋に電気的な回路基板はまた、光学ユニット１１に関してフォトニック集積回路の反対側に配置することもできる。結果として、フォトニック集積回路は、フォトニック集積回路の、光学ユニット１１に面する側で純粋に光学的に接触され得、付加的に、フォトニック集積回路の、光学ユニット１１から外方に面する側から純粋に電気的に接触され得る。この場合、フォトニック集積回路の電気的および光学的接触は、文献ＤＥ１０２０１８１０８２８３Ａ１に記載のように行うことができる。

【0072】

電気光学回路基板を使用することによって、フォトニック集積回路を特に単純に接触させることが可能である。例として、電気光学回路基板の裏面のトポロジを、フォトニック集積回路のトポロジに適合させることができる。これは、少なくとも１つの光ビーム経路によって形成される光結合点の横方向の配置構成が、フォトニック集積回路の光インターフェースのトポロジに適合されることを意味する。フォトニック集積回路の集積密度が高い場合、これは、電気光学回路基板の裏面の隣接する結合点間の平均距離が、例えば、マイクロメートルの範囲内など、比較的小さいことを意味し得る。特に、裏面の結合点間の平均距離は、電気光学回路基板の表面の結合点間の平均距離よりも小さくすることができる。テストカードを光結合点に従って電気光学回路基板上へと結像する（ｉｍａｇｅ）ために比較的低い位置付け正確度のみが必要とされるため、これによって、自動的に、電気光学回路基板の表面の結合点を介してフォトニック集積回路との光学的接触を、特に信頼可能に生成することを可能にすることができる。

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【手続補正書】

【提出日】2024-10-11

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）をテストするための装置であって、
複数の光ポート（２５、６１）を有するテストカード（２４；２４Ａ～２４Ｅ）のためのレセプタクルと、
テストされるフォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）に前記テストカード（２４；２４Ａ～２４Ｅ）を結像する（ｉｍａｇｉｎｇ）ための光学ユニット（１１；２０；２０Ａ）と
を備える、装置。

【請求項2】

光入口（２５）を有するさらなるテストカード（２４；２４Ａ～２４Ｅ）のためのレセプタクルをさらに備え、前記光学ユニット（１１；２０；２０Ａ）は、テストカード（２４；２４Ａ～２４Ｅ）から前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）へと光を通過させ、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）からさらなる前記テストカード（２４；２４Ａ～２４Ｅ）へと光を通過させるように構成されているスプリッタ要素（５０）を備える、請求項１に記載の装置。

【請求項3】

前記スプリッタ要素（５０）は、偏光ビームスプリッタを含む、請求項２に記載の装置。

【請求項4】

前記レセプタクルから前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）への光路内のスキャナデバイス（２１）をさらに備える、請求項１または２に記載の装置。

【請求項5】

フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）をテストするためのテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）であって、テストを目的として照射されることになる前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）の場所に対応するように配置構成されている、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）を照射するための複数の光出口（２５、６１）を備える、テストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項6】

少なくとも１つの光ファイバ（３０）を介して前記光出口（２５、６１）に接続されている光源（２６）をさらに備える、請求項５に記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項7】

前記光出口（２５、６１）は、前記少なくとも１つの光ファイバ（３０）の端部に対応する、請求項６に記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項8】

前記テストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）は、フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）を備える、請求項５または６に記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項9】

前記テストカードは、電気光学回路基板を備える、請求項５または６に記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項10】

前記光出口（２５、６１）は、偏光光を出力するように構成されている、請求項５または６に記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項11】

前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）のテスト中に光を放出する、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）の発光場所に対応するように配置構成されている、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）からの光を受信するための複数の光入口（２５、６１）をさらに備える、請求項５または６に記載のテストカード。

【請求項12】

フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）をテストするためのテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）であって、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）のテスト中に光を放出する、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）の発光場所に対応するように配置構成されている、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）からの光を受信するための複数の光入口（２５、６１）を備える、テストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）。

【請求項13】

フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）をテストするためのシステムであって、請求項１または２に記載の装置と、請求項５、６、７、または１２に記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）とを備え、前記テストカードは、レセプタクル内に受け入れられる、システム。

【請求項14】

前記装置は、請求項２に従って具現化され、前記システムは、請求項１１に記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）を備え、前記テストカードは、さらなる前記レセプタクル内に受け入れられる、請求項１３に記載のシステム。

【請求項15】

回路基板をさらに備え、前記回路基板は、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）と接触するように構成されており、
前記回路基板の表面と前記回路基板の裏面との間に延在し、前記裏面に隣接して位置付けられている前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）の電気インターフェースに接触するように構成されている少なくとも１つの導電体トラックを備える、請求項１３に記載のシステム。

【請求項16】

フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）であって、第１の偏光を有する光を入力結合するための入力結合要素（４１；７０）、および、前記第１の偏光とは異なる第２の偏光を有する光を出力結合するための出力結合要素（４１；４７）を有するテスト構造を備え、前記入力結合要素および前記出力結合要素は、前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）に光学的に接続されている、フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）。

【請求項17】

一方における前記入力結合要素（４１；７０）および前記出力結合要素、ならびに、他方における前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）の間のソーイングライン（４６）をさらに備える、請求項１６に記載のフォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）。

【請求項18】

前記入力結合要素および前記出力結合要素は、共通の要素（４７）として形成される、請求項１６および１７のいずれかに記載のフォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）。

【請求項19】

光学的に導波路と短絡される、位置整合を目的とした少なくとも１つの組み合わせ入力／出力結合要素をさらに備える、請求項１６または１７に記載のフォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）。

【請求項20】

フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）であって、光学的に導波路と短絡される、位置整合を目的とした少なくとも１つの組み合わせ入力／出力結合要素を備える、フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）。

【請求項21】

請求項１または２に記載の装置を使用してフォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）をテストするための方法であって、
請求項５、６、７、または１２に記載のテストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）をレセプタクルに挿入することと、
前記テストカード（１０；２４；２４Ａ－２４Ｅ）を位置整合させることと、
前記テストカード（１０；２４；２４Ａ～２４Ｅ）を用いることによって前記フォトニック集積回路（１２；２２；４０；４０Ａ～４０Ｃ）をテストすることと
を含む、方法。

【国際調査報告】