特表 2025-506035 有機金属前駆体、及び関連する方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2025-03-05

(54)【発明の名称】有機金属前駆体、及び関連する方法

(51)【国際特許分類】

   C07F 11/00 20060101AFI20250226BHJP

【ＦＩ】

C07F11/00 B

【審査請求】有

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2024547465

(86)(22)【出願日】2023-02-09

(85)【翻訳文提出日】2024-10-08

(86)【国際出願番号】 US2023012714

(87)【国際公開番号】W WO2023154404

(87)【国際公開日】2023-08-17

(31)【優先権主張番号】63/309,181

(32)【優先日】2022-02-11

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

【公序良俗違反の表示】

（特許庁注：以下のものは登録商標）

１．テフロン

(71)【出願人】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】キャメロン， トーマス エム．

(72)【発明者】

【氏名】カイパー， デーヴィッド

(72)【発明者】

【氏名】コイン， トーマス

(72)【発明者】

【氏名】エルメルト， デビット エム．

【テーマコード（参考）】

4H050

【Ｆターム（参考）】

4H050AA02

4H050AB84

4H050BD10

4H050BD70

4H050WB11

4H050WB21

(57)【要約】

いくつかの実施態様は、前駆体（中間前駆体を含む）、及び関連する方法に関する。中間前駆体を製造するために、ビス（アレーン）金属錯体の混合物が、第１のアレーンと合わせられる。ビス（アレーン）金属錯体の混合物第１のアレーンが加熱され、続いて冷却される。冷却すると、ビス（第１のアレーン）金属錯体が溶液から析出して、高純度の中間前駆体が得られる。前駆体を製造するために、ビス（第１のアレーン）金属錯体を第２のアレーンと接触させて、高純度の前駆体が得られる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

前駆体を製造する方法であって、
ビス（アレーン）金属錯体の混合物と、第１のアレーンとを合わせること、
ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを加熱すること、並びに
ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを冷却して、ビス（第１のアレーン）金属錯体を析出させること、
を含む、方法。

【請求項2】

ビス（アレーン）金属錯体のアレーンの沸点が、第１のアレーンの沸点よりも高い、請求項１に記載の方法。

【請求項3】

ビス（アレーン）金属錯体の混合物中に存在するビス（アレーン）金属錯体のそれぞれが独立して、下記式のビス（アレーン）金属錯体である、請求項１に記載の方法：

［式中、
Ｍは、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｆｅ、又はＶであり、
Ａｒ_１は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、及びＲ^６はそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
であり、
Ａｒ_２は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、及びＲ^１２はそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
である］。

【請求項4】

第１のアレーンが、下記式のアレーン：

［式中、Ｒ^ａ、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、Ｒ^ｄ、Ｒ^ｅ、及びＲ^ｆはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］
である、請求項１に記載の方法。

【請求項5】

加熱することが、１００℃～２００℃の温度に加熱することを含む、請求項１に記載の方法。

【請求項6】

加熱することが、大気圧～１００ｂａｒの範囲の圧力で加熱することを含む、請求項１に記載の方法。

【請求項7】

冷却することが、周囲条件にさらすことを含む、請求項１に記載の方法。

【請求項8】

ビス（第１のアレーン）金属錯体が、下記式の錯体である、請求項１に記載の方法：

［式中、
Ｍは、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｆｅ、又はＶであり、
Ａｒ_３は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ａ、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、Ｒ^ｄ、Ｒ^ｅ、及びＲ^ｆはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
である］。

【請求項9】

ビス（アレーン）金属錯体の混合物が、ベンゼンエチルベンゼンモリブデン、ベンゼンジエチルベンゼンモリブデン、エチルベンゼンジエチルベンゼンモリブデン（ＥＢＤＥＢＭｏ）、ビス（エチルベンゼン）モリブデン（ＢＥＢＭｏ）、ビス（ジエチルベンゼン）モリブデン（ＢＤＥＢＭｏ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む、請求項１に記載の方法。

【請求項10】

第１のアレーンが、ベンゼン、トルエン、キシレン、ビベンジル、ジフェニルメタン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む、請求項１に記載の方法。

【請求項11】

ビス（第１のアレーン）金属錯体が、５０％以上の収率で得られる、請求項１に記載の方法。

【請求項12】

ビス（第１のアレーン）金属錯体をろ過により分離して、９０％以上の純度を有する精製されたビス（第１のアレーン）金属錯体を得ることをさらに含む、請求項１に記載の方法。

【請求項13】

前駆体を製造する方法であって、
第１のアレーンと、ビス（アレーン）金属錯体の混合物とを合わせること、
第１のアレーン、及びビス（アレーン）金属錯体の混合物を加熱すること、
第１のアレーン、及びビス（アレーン）金属錯体の混合物を冷却して、ビス（第１のアレーン）金属錯体を得ること、
ビス（第１のアレーン）金属錯体と、第２のアレーンとを合わせること、並びに
ビス（第１のアレーン）金属錯体、及び第２のアレーンを加熱して、ビス（第２のアレーン）金属錯体を得ること
を含む、方法。

【請求項14】

ビス（アレーン）金属錯体のアレーンの沸点が、第１のアレーンの沸点よりも高く、
ビス（第１のアレーン）金属錯体の第１のアレーンの沸点が、第２のアレーンの沸点未満である、
請求項１３に記載の方法。

【請求項15】

第２のアレーンが、下記式：

［式中、Ｒ^ｇ、Ｒ^ｈ、Ｒ^ｉ、Ｒ^ｊ、Ｒ^ｋ、及びＲ^ｍはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］、
又は

［式中、
Ｚは、結合、アルキル、ヘテロ原子、又はヘテロアルキルであり、かつ
Ｒ^ｎ、Ｒ^ｏ、Ｒ^ｐ、Ｒ^ｑ、Ｒ^ｒ、Ｒ^ｓ、Ｒ^ｔ、Ｒ^ｕ、Ｒ^ｖ、及びＲ^ｗはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］
のうち少なくとも１つを有するアレーンである、請求項１３に記載の方法。

【請求項16】

第２のアレーンが、ベンゼン、トルエン、ｏ－キシレン、ｍ－キシレン、ｐ－キシレン、ｏ－ｔ－ブチルトルエン、ｍ－ｔ－ブチルトルエン、ｐ－ｔ－ブチルトルエン、１－エチル－４－メチルベンゼン、１－エチル－３－メチルベンゼン、１－イソプロピル－４－メチルベンゼン、１－ｔ－ブチル－４－メチルベンゼン、メシチレン、プソイドクメン、デュレン、メチルベンゼン、ジメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、エチルベンゼン、１，４－ジエチルベンゼン、トリエチルベンゼン、プロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔ－ブチルベンゼン、ヘキシルベンゼン、スチレン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ビフェニル、テルフェニル、メチルナフタレン、ビフェニレン、ジメチルナフタレン、メチルアントラセン、４，４’－ジメチルビフェニル、ビベンジル、ジフェニルメタン、これらの任意の異性体、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む、請求項１３に記載の方法。

【請求項17】

ビス（第２のアレーン）金属錯体が、下記式：

又は

［式中、
Ｍは、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｆｅ、又はＶであり、
Ｚは、結合、アルキル、ヘテロ原子、又はヘテロアルキルであり、
Ａｒ_４は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ｇ、Ｒ^ｈ、Ｒ^ｉ、Ｒ^ｊ、Ｒ^ｋ、及びＲ^ｍはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
であり、
Ａｒ_５は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ｎ、Ｒ^ｏ、Ｒ^ｐ、Ｒ^ｑ、及びＲ^ｒはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
であり、
Ａｒ_６は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ｓ、Ｒ^ｔ、Ｒ^ｕ、Ｒ^ｖ、及びＲ^ｗはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
である］
のうち少なくとも１つの錯体である、請求項１３に記載の方法。

【請求項18】

ビス（第２のアレーン）金属錯体が、少なくとも９０％の純度を有する液体である、請求項１３に記載のビス（第２のアレーン）金属錯体を含む前駆体。

【請求項19】

組成物であって、
下記式：

又は

［式中、
Ｍは、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｆｅ、又はＶであり、
Ｚは、結合、アルキル、ヘテロ原子、又はヘテロアルキルであり、
Ａｒ_４は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ｇ、Ｒ^ｈ、Ｒ^ｉ、Ｒ^ｊ、Ｒ^ｋ、及びＲ^ｍはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
であり、
Ａｒ_５は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ｎ、Ｒ^ｏ、Ｒ^ｐ、Ｒ^ｑ、及びＲ^ｒはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
であり、
Ａｒ_６は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ｓ、Ｒ^ｔ、Ｒ^ｕ、Ｒ^ｖ、及びＲ^ｗはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
である］
のうち少なくとも１つのビス（アレーン）金属錯体を含む前駆体を含み、当該前駆体が９０％以上の純度を有する、組成物。

【請求項20】

前駆体が、９９％以上の純度を有する液体である、請求項１９に記載の組成物。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、堆積プロセスのための有機金属前駆体、有機金属前駆体の製造方法などに関する。

【0002】

優先権
本開示は、２０２２年２月１１日に提出された米国仮出願番号63/309,181の優先権を主張し、その内容は、ここで参照により援用される。

【背景技術】

【0003】

金属アレーン錯体は、様々な用途にとって有用な有機金属化合物のクラスである。金属アレーン錯体が有用ないくつかの用途では、金属アレーン錯体の高純度形態が必要となる。しかしながら、従来の精製は困難であり、高価であり、時間もかかり、非効率的である。

【0004】

発明の概要
いくつかの実施態様は、中間前駆体を製造するための方法に関する。いくつかの実施態様において、中間前駆体を製造するための本方法は、下記工程のうち１つ又は複数を含むか、下記工程のうち１つ又は複数からなるか、又は下記工程のうち１つ又は複数から実質的になる：ビス（アレーン）金属錯体の混合物と、第１のアレーンとを合わせること；ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを加熱すること；並びにビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを冷却して、ビス（第１のアレーン）金属錯体を析出させること。

【0005】

いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体のアレーンの沸点が、第１のアレーンの沸点よりも高い。

【0006】

いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体の混合物中に存在するビス（アレーン）金属錯体のそれぞれが独立して、下記式のビス（アレーン）金属錯体である：

［式中、
Ｍは、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｆｅ、又はＶであり、
Ａｒ_１は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、及びＲ^６はそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
であり、
Ａｒ_２は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、及びＲ^１２はそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
である］。

【0007】

いくつかの実施態様では、第１のアレーンが、下記式のアレーンである：

［式中、Ｒ^ａ、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、Ｒ^ｄ、Ｒ^ｅ、及びＲ^ｆはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0008】

いくつかの実施態様では、加熱することが、１００℃～２００℃の温度に加熱することを含む。

【0009】

いくつかの実施態様では、加熱することが、大気圧～１００ｂａｒの範囲の圧力で加熱することを含む。

【0010】

いくつかの実施態様では、冷却することが、周囲条件にさらすことを含む。

【0011】

いくつかの実施態様では、ビス（第１のアレーン）金属錯体が、下記式の錯体である：

［式中、
Ｍは、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｆｅ、又はＶであり、
Ａｒ_３は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ａ、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、Ｒ^ｄ、Ｒ^ｅ、及びＲ^ｆはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
である］。

【0012】

いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体の混合物が、ベンゼンエチルベンゼンモリブデン、ベンゼンジエチルベンゼンモリブデン、エチルベンゼンジエチルベンゼンモリブデン（ＥＢＤＥＢＭｏ）、ビス（エチルベンゼン）モリブデン（ＢＥＢＭｏ）、ビス（ジエチルベンゼン）モリブデン（ＢＤＥＢＭｏ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む。

【0013】

いくつかの実施態様では、第１のアレーンが、ベンゼン、トルエン、キシレン、ビベンジル、ジフェニルメタン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む。

【0014】

いくつかの実施態様では、ビス（第１のアレーン）金属錯体が、５０％以上の収率で得られる。

【0015】

いくつかの実施態様では、本方法がさらに、ビス（第１のアレーン）金属錯体をろ過により分離して、９０％以上の純度を有する精製されたビス（第１のアレーン）金属錯体を得ることを含む。

【0016】

いくつかの実施態様は、前駆体を製造する方法に関する。いくつかの実施態様において、前駆体を製造するための本方法は、以下の工程のうち１つ又は複数を含むか、以下の工程のうち１つ又は複数からなるか、又は以下の工程のうち１つ又は複数から実質的になる：第１のアレーンと、ビス（アレーン）金属錯体の混合物とを合わせること；第１のアレーン、及びビス（アレーン）金属錯体の混合物を加熱すること；第１のアレーン、及びビス（アレーン）金属錯体の混合物を冷却して、ビス（第１のアレーン）金属錯体を得ること；ビス（第１のアレーン）金属錯体と、第２のアレーンとを合わせること；並びにビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンを加熱して、ビス（第２のアレーン）金属錯体を得ること。

【0017】

いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体のアレーンの沸点が、第１のアレーンの沸点よりも高い。

【0018】

いくつかの実施態様では、ビス（第１のアレーン）金属錯体の第１のアレーンの沸点が、第２のアレーンの沸点未満である。

【0019】

いくつかの実施態様では、第２のアレーンが、下記式：

［式中、Ｒ^ｇ、Ｒ^ｈ、Ｒ^ｉ、Ｒ^ｊ、Ｒ^ｋ、及びＲ^ｍはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］、
又は

［式中、
Ｚは、結合、アルキル、ヘテロ原子、又はヘテロアルキルであり、かつ
Ｒ^ｎ、Ｒ^ｏ、Ｒ^ｐ、Ｒ^ｑ、Ｒ^ｒ、Ｒ^ｓ、Ｒ^ｔ、Ｒ^ｕ、Ｒ^ｖ、及びＲ^ｗはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］
のうち少なくとも１つを有するアレーンである。

【0020】

いくつかの実施態様では、第２のアレーンが、ベンゼン、トルエン、ｏ－キシレン、ｍ－キシレン、ｐ－キシレン、ｏ－ｔ－ブチルトルエン、ｍ－ｔ－ブチルトルエン、ｐ－ｔ－ブチルトルエン、１－エチル－４－メチルベンゼン、１－エチル－３－メチルベンゼン、１－イソプロピル－４－メチルベンゼン、１－ｔ－ブチル－４－メチルベンゼン、メシチレン、プソイドクメン、デュレン、メチルベンゼン、ジメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、エチルベンゼン、１，４－ジエチルベンゼン、トリエチルベンゼン、プロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔ－ブチルベンゼン、ヘキシルベンゼン、スチレン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ビフェニル、テルフェニル、メチルナフタレン、ビフェニレン、ジメチルナフタレン、メチルアントラセン、４，４’－ジメチルビフェニル、ビベンジル、ジフェニルメタン、これらの任意の異性体、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む。

【0021】

いくつかの実施態様では、ビス（第２のアレーン）金属錯体が、下記式：

又は

［式中、
Ｍは、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｆｅ、又はＶであり、
Ｚは、結合、アルキル、ヘテロ原子、又はヘテロアルキルであり、
Ａｒ_４は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ｇ、Ｒ^ｈ、Ｒ^ｉ、Ｒ^ｊ、Ｒ^ｋ、及びＲ^ｍはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
であり、
Ａｒ_５は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ｎ、Ｒ^ｏ、Ｒ^ｐ、Ｒ^ｑ、及びＲ^ｒはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
であり、
Ａｒ_６は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ｓ、Ｒ^ｔ、Ｒ^ｕ、Ｒ^ｖ、及びＲ^ｗはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
である］
のうち少なくとも１つの錯体である。

【0022】

いくつかの実施態様は、ビス（第２のアレーン）金属錯体を含む前駆体であって、ビス（第２のアレーン）金属錯体が、少なくとも９０％の純度を有する液体である前駆体に関する。

【0023】

いくつかの実施態様は、前駆体を含む組成物に関する。いくつかの実施態様において、当該前駆体は、下記式：

又は

［式中、
Ｍは、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｆｅ、又はＶであり、
Ｚは、結合、アルキル、ヘテロ原子、又はヘテロアルキルであり、
Ａｒ_４は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ｇ、Ｒ^ｈ、Ｒ^ｉ、Ｒ^ｊ、Ｒ^ｋ、及びＲ^ｍはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
であり、
Ａｒ_５は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ｎ、Ｒ^ｏ、Ｒ^ｐ、Ｒ^ｑ、及びＲ^ｒはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
であり、
Ａｒ_６は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^ｓ、Ｒ^ｔ、Ｒ^ｕ、Ｒ^ｖ、及びＲ^ｗはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
である］
のうち少なくとも１つのビス（アレーン）金属錯体を含み、ここで当該前駆体は、９０％以上の純度を有する。

【0024】

いくつかの実施態様では、前駆体が、９９％以上の純度を有する液体である。

【0025】

ここで本開示のいくつかの実施態様を単に例示的に、添付図面を参照しながら記載する。以下、図面について詳細に、具体的に言及するが、実施態様は例示的なものに過ぎず、本開示の実施態様を説明するためのものであることを強調しておく。これに関して、本明細書は図面とともに、本開示の実施態様がどのように実施可能であるかを、当業者に対して明らかにする。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】いくつかの実施態様による前駆体（中間前駆体を含む）を製造するための方法についての、非限定的な実施態様である。

【図2】いくつかの実施態様による前駆体を製造するための反応スキームの非限定的な実施態様を示す。

【図3】いくつかの実施態様による、単離されたビス（ベンゼン）モリブデンの^１Ｈ ＮＭＲスペクトルである。

【0027】

詳細な説明
開示されたこれらの利点及び改善のなかでも、この開示について他の対象及び利点は、添付図面との関連で、以下の説明から明らかになる。本開示の詳細な実施態様が、ここに開示されるが、開示された実施形態は、本開示を単に説明するものに過ぎず、様々な形態があり得ると理解されるべきである。さらに、本開示の様々な実施態様に関する所定の実施例はそれぞれ、説明のためのものであることが意図されており、本発明を限定するものではない。

【0028】

ここで言及されるすべての従来の特許及び文献は、参照によりその全体が援用される。

【0029】

本明細書及び特許請求の範囲を通じて、以下の用語は、文脈から明示的にそうでない旨が明示されていない限り、ここで明示的に関連付けられた意味を有する。ここで使用する「１つの実施態様では」、「ある実施態様では」、及び「いくつかの実施態様では」という表現は、１つ又は複数の同じ実施態様について言及している必要はないが、同じ実施態様であり得る。さらに、ここで使用する「別の実施態様では」及び「いくつかの実施態様では」という表現は、異なる実施態様について言及している必要はないが、異なる実施態様であり得る。本開示の全ての実施態様は、本開示の範囲又は思想から離れない限りにおいて、組み合わせ可能であることが意図されている。

【0030】

ここで使用するように、「アルキル」という用語は、１～３０個の炭素原子を有する炭化水素化合物をいう。ｎ個の炭素原子を有するアルキルは、「Ｃ_ｎアルキル」と表されることがある。例えば、「Ｃ_３アルキル」には、ｎ－プロピル及びイソプロピルが含まれ得る。ある範囲の炭素原子（例えば１～３０個の炭素原子）を有するアルキルは、Ｃ_１～Ｃ_３０アルキルと表されることがある。いくつかの実施態様では、アルキルが直鎖状である。いくつかの実施態様では、アルキルが分枝鎖状である。いくつかの実施態様では、アルキルが置換されている。いくつかの実施態様では、アルキルが非置換である。いくつかの実施態様では、アルキルが、Ｃ_１～Ｃ_１０アルキル、Ｃ_１－Ｃ_９アルキル、Ｃ_１－Ｃ_８アルキル、Ｃ_１－Ｃ_７アルキル、Ｃ_１－Ｃ_６アルキル、Ｃ_１－Ｃ_５アルキル、Ｃ_１－Ｃ_４アルキル、Ｃ_１－Ｃ_３アルキル、Ｃ_２－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_３－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_４－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_５－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_６－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_７－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_８－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_２－Ｃ_９アルキル、Ｃ_２－Ｃ_８アルキル、Ｃ_２－Ｃ_７アルキル、Ｃ_２－Ｃ_６アルキル、Ｃ_２－Ｃ_５アルキル、Ｃ_３－Ｃ_５アルキル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、アルキルが、メチル、エチル、ｎ－プロピル、１－メチルエチル（イソプロピル）、ｎ－ブチル、イソ－ブチル、ｓｅｃ－ブチル、ｎ－ペンチル、１，１－ジメチルエチル（ｔ－ブチル）、ｎ－ペンチル、イソ－ペンチル、ｎ－ヘキシル、イソヘキシル、３－メチルヘキシル、２－メチルヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、デシル、ドデシル、オクタデシル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0031】

ここで使用するように、「アレーン」という用語は、単環式又は多環式の芳香族炭化水素化合物をいう。アレーンの炭素原子の数は、炭素原子５個～炭素原子１００個の範囲であり得る。いくつかの実施態様では、アレーンが、５～２０個の炭素原子を有する。例えば、いくつかの実施態様では、アレーンが、６～８個の炭素原子、６～１０個の炭素原子、６～１２個の炭素原子、６～１５個の炭素原子、又は６～２０個の炭素原子を有する。修飾語として用いられる場合、「単環式」という用語は、１つの芳香族環構造を有するアレーンをいう。修飾語として用いられる場合、「多環式」という用語は、１つより多い芳香族環構造を有するアレーンをいい、当該アレーンは、融合構造、橋かけ構造、スピロ構造、又はその他の結合した環構造であり得る。「アルキル置換されたアレーン」という用語は、１つ又は複数のアルキル置換基を有するアレーンをいう。いくつかの実施態様では、アルキル置換されたアレーンが、モノアルキルベンゼン、ジアルキルベンゼン、トリアルキルベンゼン、テトラアルキルベンゼン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含み得る。ここではアレーンを、Ａｒと呼ぶこともある。

【0032】

アレーンの非限定な例には、ベンゼン、トルエン、キシレン（例えば、ｏ－キシレン、ｍ－キシレン、ｐ－キシレン）、ｔ－ブチルトルエン（例えば、ｏ－ｔ－ブチルトルエン、ｍ－ｔ－ブチルトルエン、ｐ－ｔ－ブチルトルエン）、エチルメチルベンゼン（例えば、１－エチル－４－メチルベンゼン、１－エチル－３－メチルベンゼン）、１－イソプロピル－４－メチルベンゼン、１－ｔ－ブチル－４－メチルベンゼン、メシチレン、プソイドクメン、デュレン、メチルベンゼン、ジメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン（例えば、１，４－ジエチルベンゼン）、トリエチルベンゼン、プロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソ－ブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔ－ブチルベンゼン、ヘキシルベンゼン、スチレン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ビフェニル、テルフェニル、メチルナフタレン、ビフェニレン、ジメチルナフタレン、メチルアントラセン、４，４′－ジメチルビフェニル、ビベンジル、ジフェニルメタン、これらの任意の異性体、又はこれらの任意の組み合わせなど、のうち少なくとも１つが含まれるが、アレーンはこれらに限られない。

【0033】

ここで使用するように、「金属」という用語は、アルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属、ポスト遷移金属（post-transition metal）、ランタノイド、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つをいう。いくつかの実施態様では例えば、金属が、遷移金属を含むか、又は遷移金属からなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、ＶＩＢ族の金属を含むか、又はＶＩＢ族の金属からなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属がイオン形態、単体、又はこれらの任意の組み合わせである。

【0034】

ここで使用するように、「ビス（アレーン）金属錯体」は、金属に対して少なくとも２つのアレーン結合（例えば配位結合）を有する任意の有機金属化合物をいう。アレーンはそれぞれ独立して、置換されているか、又は非置換であり得る。いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体が、金属に対して配位結合した、置換されたアレーンを１つだけ有する。例えば、いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体が、ベンゼンエチルベンゼンモリブデンを含み、ここでエチルベンゼンが、置換されたアレーンである。いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体が、金属に対して配位結合した、置換されたアレーンを２つ含む。例えば、いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体が、ビス（ジエチルベンゼン）モリブデンを含み、ここでジエチルベンゼンが、置換されたアレーンである。いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体が、金属に対して配位結合した２つのアレーンを含み、ここで２つのアレーンが同じであり、当該２つのアレーンが、置換されているか、又は非置換である。

【0035】

ビス（アレーン）金属錯体の非限定的な例には、ビス（ベンゼン）モリブデン、ビス（ベンゼン）タングステン、ビス（トルエン）モリブデン、ビス（トルエン）タングステン、ビス（キシレン）モリブデン、ビス（キシレン）タングステン、ビス（エチルベンゼン）モリブデン、ビス（エチルベンゼン）タングステン、ビス（ベンゼン）クロム、ビス（エチルベンゼン）クロム、ビス（トルエン）クロム、ビス（メシチレン）クロム、ビス（メシチレン）モリブデン、ビス（テトラリン）クロム、ビス（ジフェニル）クロム、ビス（ジフェニル）モリブデン、ビス（メシチレン）モリブデン、ビス（メシチレン）タングステン、ビス（ベンゼン）鉄、ビス（トルエン）鉄、ビス（キシレン）クロム、ビス（キシレン）鉄、ビス（メシチレン）鉄、ビス（デュレン）鉄、ビス（ヘキサメチルベンゼン）鉄、ビス（ヘキサメチルベンゼン）クロム、ビス（ベンゼン）バナジウム、ビス（トルエン）バナジウム、これらの任意のビス（アレーン異性体）金属錯体、又はこれらの任意の組み合わせ、のうち少なくとも１つが含まれるが、ビス（アレーン）金属錯体はこれらに限られない。

【0036】

ここで使用するように、「に基づく（based on）」という用語は、排他的なものではなく、文脈が明示的にそうではない旨を示さない限り、ここに記載されていないさらなる要素に基づくことが許容される。さらに、明細書全体を通じて、「１つの（a）」、「１つの（an）」、及び「その（the）」の意味には、複数形への言及が含まれる。「中に（in）」の意味には、「中に（in）」及び「上に（on）」の意味が含まれる。

【0037】

半導体作製プロセスに有用な有機金属前駆体のなかには、高純度が必要とされるものがある。しかしながら、有機金属化合物を、必要とされる高い純度で得ることは、困難なことがある。ビス（アレーン）金属錯体の合成方法には、とりわけ反応生成物及び各反応生成物の量という観点の双方で、バッチごとに著しいばらつきがあるからである。加えて、アルキル及びジアルキルの再構成に起因して、ビス（エチルベンゼン）モリブデンのフィッシャー・ハフナー合成（Fischer-Hafner synthesis）により、ビス（エチルベンゼン）モリブデンの異性体と、ビス（ジエチルベンゼン）モリブデンの異性体との混合物が生じる。特定のビス（アレーン）金属錯体を、ビス（アレーン）金属錯体の混合物から単離するためのアプローチは、利用できないか、又は困難であり、高価であり、時間がかかり、また非効率的である。

【0038】

いくつかの実施形態は、上記問題点のうち少なくとも一部を克服する、中間前駆体及び前駆体の製造方法に関する。ここに記載するように、ビス（アレーン）金属錯体の混合物を、電子供与性が少ない、かつ／又はビス（アレーン）金属錯体のアレーンよりも沸点が低い、第１のアレーンと接触させると、高純度の中間前駆体としてのビス（第１のアレーン）金属錯体を得ることが可能であると判明した。ビス（第１のアレーン）金属錯体の可溶性が限られていることにより、予想外にも、ビス（第１のアレーン）金属錯体の単離が、沸点が比較的高く、電子供与性が比較的高いビス（アレーン）金属錯体のアレーンの存在下で、可能になる。続いて、ビス（第１のアレーン）金属錯体を第２のアレーンと接触させて、ビス（第２のアレーン）金属錯体を、高純度の前駆体として得ることができる。

【0039】

図１は、いくつかの実施態様により、前駆体（中間前駆体を含む）を製造するための方法１００の非限定的な実施態様を示す。

【0040】

図１に示したとおり、いくつかの実施態様では、方法１００が、以下の工程のうち１つ又は複数を含むか、又は以下の工程のうち１つ又は複数からなるか、又は以下の工程のうち１つ又は複数から実質的になる：ビス（アレーン）金属錯体の混合物と、第１のアレーンとを合わせる工程１０２；ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを加熱する工程１０４；ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを冷却して、ビス（第１のアレーン）金属錯体を析出させる工程１０６；ビス（第１のアレーン）金属錯体と、第２のアレーンとを合わせる工程１０８；並びにビス（第１のアレーン）金属錯体、及び第２のアレーンを加熱して、ビス（第２のアレーン）金属錯体を得る工程１１０。

【0041】

いくつかの実施態様では、方法１００が、中間前駆体を製造するための方法である。いくつかの実施態様では、中間前駆体を製造するための方法１００が、工程１０２、工程１０４、及び工程１０６のうち１つ又は複数を含むか、又は工程１０２、工程１０４、及び工程１０６のうち１つ又は複数からなるか、又は工程１０２、工程１０４、及び工程１０６のうち１つ又は複数から実質的になる。いくつかの実施態様では、方法１００が、前駆体を製造するための方法である。いくつかの実施態様では、前駆体を製造するための方法が、工程１０８及び工程１１０のうち１つ又は複数を含むか、又は工程１０８及び工程１１０のうち１つ又は複数からなるか、又は工程１０８及び工程１１０のうち１つ又は複数から実質的になる。いくつかの実施態様では、いくつかの実施態様では、前駆体を製造するための方法が、工程１０２、工程１０４、工程１０６、工程１０８、及び工程１１０のうち１つ又は複数を含むか、又は工程１０２、工程１０４、工程１０６、工程１０８、及び工程１１０のうち１つ又は複数からなるか、又は工程１０２、工程１０４、工程１０６、工程１０８、及び工程１１０のうち１つ又は複数から実質的になる。

【0042】

工程１０２において、いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体の混合物を、第１のアレーンと合わせる。

【0043】

ビス（アレーン）金属錯体の混合物を、第１のアレーンと合わせるやり方は、特に制限されない。いくつかの実施態様では、合わせることが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物を、第１のアレーンと接触させることを含む。いくつかの実施態様では、合わせることが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物を、第１のアレーンと混合することを含む。いくつかの実施態様では、合わせることが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、別個に又は一緒に、反応容器に供給することを含む。いくつかの実施態様では、合わせることが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、別個に又は一緒に、反応容器に流すこと又は給送することを含む。いくつかの実施態様では、合わせることが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、別個に又は一緒に、反応容器に導入することを含む。別の実施態様では、接触させることが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、反応容器に注ぐこと、配置すること、添加すること、又はこれらの任意の組み合わせを含む。

【0044】

ビス（アレーン）金属錯体の混合物は、１つ又は複数の金属錯体を含み得る。いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体の混合物が、反応生成物の混合物である。例えば、いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体の混合物が、フィッシャー・ハフナー合成（ＦＨＳ）、フリーデル・クラフツ反応、アレーンメタセシスのうち少なくとも１つ、又はこれらの任意の組み合わせにより製造されたビス（アレーン）金属錯体の混合物を含む、初期混合物である。ここでは、本開示の範囲を離れることなく、他の合成経路及び反応を使用して、ビス（アレーン）金属錯体の混合物を得ることが可能なことが評価されるであろう。

【0045】

いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体の混合物が、複数の異なるビス（アレーン）金属錯体を含む。混合物中に存在する、異なるビス（アレーン）金属錯体の混合物の数は、特に限定されず、例えば最大１００種の異なるビス（アレーン）金属錯体が含まれ得るが、これに限られない。いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体同士の差異が、ビス（アレーン）金属錯体のアレーンに結合した、１つ若しくは複数の置換基（又は、１つ若しくは複数の置換基の数）である。いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体同士の差異が、ビス（アレーン）金属錯体のアレーンに結合した、１つ若しくは複数の置換基の立体化学（又は空間的な配置構成）である。例えば、いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体の混合物が、ビス（アレーン）金属錯体の異性体を、少なくとも１つ、複数含む。いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体同士の差異が、ビス（アレーン）金属錯体の金属である。いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体同士の差異が、１つ又は複数の前述の差異の任意の組み合わせである。

【0046】

いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体の混合物中に存在するビス（アレーン）金属錯体がそれぞれ独立して、下記式のビス（アレーン）金属錯体である：

［式中、
Ｍは金属であり、
Ａｒ_１はアレーンであり、
Ａｒ_２はアレーンであり、当該アレーンは、Ａｒ_１と同じであってもよく、又はＡｒ_１と異なっていてもよい］。

【0047】

いくつかの実施態様では、Ａｒ_１が、下記式のアレーンである：

［式中、
Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、及びＲ^６はそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0048】

いくつかの実施態様では、Ａｒ_１が、置換されたアレーン、非置換のアレーン、又はこれらの任意の組み合わせである。いくつかの実施態様では、例えば、Ａｒ_１が、モノアルキルベンゼン、ジアルキルベンゼン、トリアルキルベンゼン、テトラアルキルベンゼン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む。いくつかの実施態様では、アルキルが、Ｃ_１～Ｃ_１０アルキル、Ｃ_１－Ｃ_９アルキル、Ｃ_１－Ｃ_８アルキル、Ｃ_１－Ｃ_７アルキル、Ｃ_１－Ｃ_６アルキル、Ｃ_１－Ｃ_５アルキル、Ｃ_１－Ｃ_４アルキル、Ｃ_１－Ｃ_３アルキル、Ｃ_２－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_３－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_４－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_５－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_６－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_７－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_８－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_２－Ｃ_９アルキル、Ｃ_２－Ｃ_８アルキル、Ｃ_２－Ｃ_７アルキル、Ｃ_２－Ｃ_６アルキル、Ｃ_２－Ｃ_５アルキル、Ｃ_３－Ｃ_５アルキル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、アルキルが、メチル、エチル、ｎ－プロピル、１－メチルエチル（イソプロピル）、ｎ－ブチル、イソ－ブチル、ｓｅｃ－ブチル、ｎ－ペンチル、１，１－ジメチルエチル（ｔ－ブチル）、ｎ－ペンチル、イソ－ペンチル、ｎ－ヘキシル、イソヘキシル、３－メチルヘキシル、２－メチルヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、デシル、ドデシル、オクタデシル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0049】

いくつかの実施態様では、例えば、Ａｒ_１が、ベンゼン、トルエン、ｏ－キシレン、ｍ－キシレン、ｐ－キシレン、ｏ－ｔ－ブチルトルエン、ｍ－ｔ－ブチルトルエン、ｐ－ｔ－ブチルトルエン、１－エチル－４－メチルベンゼン、１－エチル－３－メチルベンゼン、１－イソプロピル－４－メチルベンゼン、１－ｔ－ブチル－４－メチルベンゼン、メシチレン、プソイドクメン、デュレン、メチルベンゼン、ジメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、エチルベンゼン、１，４－ジエチルベンゼン、トリエチルベンゼン、プロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔ－ブチルベンゼン、ヘキシルベンゼン、スチレン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ビフェニル、テルフェニル、メチルナフタレン、ビフェニレン、ジメチルナフタレン、メチルアントラセン、４，４’－ジメチルビフェニル、ビベンジル、ジフェニルメタン、これらの任意の異性体、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0050】

いくつかの実施態様では、Ａｒ_２が、下記式のアレーンである：

［式中、
Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、及びＲ^１２はそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0051】

いくつかの実施態様では、Ａｒ_２が、置換されたアレーン、非置換のアレーン、又はこれらの任意の組み合わせである。いくつかの実施態様では、例えば、Ａｒ_２が、モノアルキルベンゼン、ジアルキルベンゼン、トリアルキルベンゼン、テトラアルキルベンゼン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む。いくつかの実施態様では、アルキルが、Ｃ_１～Ｃ_１０アルキル、Ｃ_１－Ｃ_９アルキル、Ｃ_１－Ｃ_８アルキル、Ｃ_１－Ｃ_７アルキル、Ｃ_１－Ｃ_６アルキル、Ｃ_１－Ｃ_５アルキル、Ｃ_１－Ｃ_４アルキル、Ｃ_１－Ｃ_３アルキル、Ｃ_２－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_３－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_４－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_５－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_６－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_７－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_８－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_２－Ｃ_９アルキル、Ｃ_２－Ｃ_８アルキル、Ｃ_２－Ｃ_７アルキル、Ｃ_２－Ｃ_６アルキル、Ｃ_２－Ｃ_５アルキル、Ｃ_３－Ｃ_５アルキル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、アルキルが、メチル、エチル、ｎ－プロピル、１－メチルエチル（イソプロピル）、ｎ－ブチル、イソ－ブチル、ｓｅｃ－ブチル、ｎ－ペンチル、１，１－ジメチルエチル（ｔ－ブチル）、ｎ－ペンチル、イソ－ペンチル、ｎ－ヘキシル、イソヘキシル、３－メチルヘキシル、２－メチルヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、デシル、ドデシル、オクタデシル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0052】

いくつかの実施態様では、例えば、Ａｒ_２が、ベンゼン、トルエン、ｏ－キシレン、ｍ－キシレン、ｐ－キシレン、ｏ－ｔ－ブチルトルエン、ｍ－ｔ－ブチルトルエン、ｐ－ｔ－ブチルトルエン、１－エチル－４－メチルベンゼン、１－エチル－３－メチルベンゼン、１－イソプロピル－４－メチルベンゼン、１－ｔ－ブチル－４－メチルベンゼン、メシチレン、プソイドクメン、デュレン、メチルベンゼン、ジメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、エチルベンゼン、１，４－ジエチルベンゼン、トリエチルベンゼン、プロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔ－ブチルベンゼン、ヘキシルベンゼン、スチレン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ビフェニル、テルフェニル、メチルナフタレン、ビフェニレン、ジメチルナフタレン、メチルアントラセン、４，４’－ジメチルビフェニル、ビベンジル、ジフェニルメタン、これらの任意の異性体、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0053】

いくつかの実施態様において、ビス（アレーン）金属錯体の混合物は、Ａｒ_１とＡｒ_２が同じである少なくとも１つのビス（アレーン）金属錯体を含む。いくつかの実施態様において、ビス（アレーン）金属錯体の混合物は、Ａｒ_１とＡｒ_２が異なる少なくとも１つのビス（アレーン）金属錯体を含む。

【0054】

いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体の金属が、遷移金属を含むか、又は遷移金属からなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、ＶＩＢ族の金属を含むか、ＶＩＢ族の金属からなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらからなる群から選択される。

【0055】

第１のアレーン（置換されていても、又は非置換であってもよい）は、混合物中に含まれるビス（アレーン）金属錯体の１つ又は複数のアレーンとは異なるアレーンを含み得る。例えば、第１のアレーンは、1つ又は複数の異なる置換基、1つ又は複数の異なる空間的な配置構成、1つ又は複数の異なる置換基の数、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを有し得る。

【0056】

第１のアレーンは、混合物中に含まれるビス（アレーン）金属錯体の１つ又は複数のアレーンに基づき、選択され得る。つまり、第１のアレーンは、ビス（アレーン）金属錯体のアレーンの少なくとも１つ（又は全て）未満の沸点を有するように選択され得る。例えば、いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体のアレーンの沸点が、第１のアレーンの沸点よりも高い。第１のアレーンは、ビス（アレーン）金属錯体のアレーンの少なくとも１つ（又は全て）よりも低い電子供与性特性を有するように選択され得る。例えば、いくつかの実施態様において、ビス（アレーン）金属錯体のアレーンは、第１のアレーンよりも置換基の数が多い（このため、より電子供与性が高くなり得る）。したがって、いくつかの実施態様では、第１のアレーンが、ビス（アレーン）金属錯体のアレーンに比して、より低い沸点、より少ない置換基の数（さもなくば、より低い電子供与性）、又はこれらの任意の組み合わせを有するように選択される。

【0057】

いくつかの実施態様では、第１のアレーンが、下記式のアレーンである：

［式中、
Ｒ^ａ、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、Ｒ^ｄ、Ｒ^ｅ、及びＲ^ｆはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］

【0058】

いくつかの実施態様では、第１のアレーンが、置換されたアレーン、非置換のアレーン、又はこれらの任意の組み合わせである。いくつかの実施態様では、第１のアレーンが、少なくとも１つのアルキル置換されたアレーンであるか、又は少なくとも１つのアルキル置換されたアレーンを含む。いくつかの実施態様では、例えば、第１のアレーンが、モノアルキルベンゼン、ジアルキルベンゼン、トリアルキルベンゼン、テトラアルキルベンゼン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む。いくつかの実施態様では、アルキルが、Ｃ_１～Ｃ_１０アルキル、Ｃ_１－Ｃ_９アルキル、Ｃ_１－Ｃ_８アルキル、Ｃ_１－Ｃ_７アルキル、Ｃ_１－Ｃ_６アルキル、Ｃ_１－Ｃ_５アルキル、Ｃ_１－Ｃ_４アルキル、Ｃ_１－Ｃ_３アルキル、Ｃ_２－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_３－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_４－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_５－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_６－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_７－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_８－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_２－Ｃ_９アルキル、Ｃ_２－Ｃ_８アルキル、Ｃ_２－Ｃ_７アルキル、Ｃ_２－Ｃ_６アルキル、Ｃ_２－Ｃ_５アルキル、Ｃ_３－Ｃ_５アルキル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、アルキルが、メチル、エチル、ｎ－プロピル、１－メチルエチル（イソプロピル）、ｎ－ブチル、イソ－ブチル、ｓｅｃ－ブチル、ｎ－ペンチル、１，１－ジメチルエチル（ｔ－ブチル）、ｎ－ペンチル、イソ－ペンチル、ｎ－ヘキシル、イソヘキシル、３－メチルヘキシル、２－メチルヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、デシル、ドデシル、オクタデシル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0059】

いくつかの実施態様では、例えば、第１のアレーンが、ベンゼン、トルエン、ｏ－キシレン、ｍ－キシレン、ｐ－キシレン、ｏ－ｔ－ブチルトルエン、ｍ－ｔ－ブチルトルエン、ｐ－ｔ－ブチルトルエン、１－エチル－４－メチルベンゼン、１－エチル－３－メチルベンゼン、１－イソプロピル－４－メチルベンゼン、１－ｔ－ブチル－４－メチルベンゼン、メシチレン、プソイドクメン、デュレン、メチルベンゼン、ジメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、エチルベンゼン、１，４－ジエチルベンゼン、トリエチルベンゼン、プロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔ－ブチルベンゼン、ヘキシルベンゼン、スチレン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ビフェニル、テルフェニル、メチルナフタレン、ビフェニレン、ジメチルナフタレン、メチルアントラセン、４，４’－ジメチルビフェニル、ビベンジル、ジフェニルメタン、これらの任意の異性体、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0060】

工程１０４において、いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンが、加熱される。

【0061】

ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを加熱するやり方は、特に制限されない。いくつかの実施態様では、加熱することが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを第１の温度に加熱することを含む。いくつかの実施態様では、加熱することが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを第１の温度で加熱することを含む。いくつかの実施態様では、加熱することが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、オーブン内で、炉内で、ホットプレート上で、又はその他の加熱デバイス及び／又は装置で加熱することを含む。いくつかの実施態様では、加熱することが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、温かい流動浴（例えば温水浴）で加熱することを含む。いくつかの実施態様では、加熱することが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、第１の温度を有する流体（例えば、気体又は蒸気、液体など）と接触させることを含む。いくつかの実施態様では、加熱することが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、第１の温度を有する流体（例えば、気体又は蒸気、液体など）にさらすことを含む。

【0062】

第１の温度は、ビス（アレーン）金属錯体、第１のアレーン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つの分解温度（例えば、熱分解温度）を下回る温度であり得る。第１の温度は、閾値温度（例えば、最低反応温度）以上の温度であり得る。いくつかの実施態様では、第１の温度が、１００℃～２００℃の範囲の温度である。例えば、いくつかの実施態様では、第１の温度が、１１０℃～２００℃、１１５℃～２００℃、１２０℃～２００℃、１２５℃～２００℃、１３０℃～２００℃、１３５℃～２００℃、１４０℃～２００℃、１４５℃～２００℃、１５０℃～２００℃、１５５℃～２００℃、１６０℃～２００℃、１６５℃～２００℃、１７０℃～２００℃、１７５℃～２００℃、１８０℃～２００℃、１８５℃～２００℃、１９０℃～２００℃、１９５℃～２００℃の範囲の温度、又はこれらの任意の組み合わせの温度である。いくつかの実施態様では、第１の温度が、１００℃～１９５℃、１００℃～１９０℃、１００℃～１８５℃、１００℃～１８０℃、１００℃～１７５℃、１００℃～１７０℃、１００℃～１６５℃、１００℃～１６０℃、１００℃～１５５℃、１００℃～１５０℃、１００℃～１４５℃、１００℃～１４０℃、１００℃～１３５℃、１００℃～１３０℃、１００℃～１２５℃、１００℃～１２０℃、１００℃～１１５℃、１００℃～１１０℃、１００℃～１０５℃の範囲の温度、又はこれらの任意の組み合わせの温度である。

【0063】

いくつかの実施態様では、加熱することが、真空下で行われる。いくつかの実施態様では、加熱することが、圧力下で行われる。例えば、加熱することは、大気圧～１００ｂａｒの範囲の圧力で行われ得る。いくつかの実施態様では、圧力が、１ｂａｒ～１００ｂａｒ、１０ｂａｒ～１００ｂａｒ、２０ｂａｒ～１００ｂａｒ、３０ｂａｒ～１００ｂａｒ、４０ｂａｒ～１００ｂａｒ、５０ｂａｒ～１００ｂａｒ、６０ｂａｒ～１００ｂａｒ、７０ｂａｒ～１００ｂａｒ、８０ｂａｒ～１００ｂａｒ、９０ｂａｒ～１００ｂａｒ、１ｂａｒ～９０ｂａｒ、１ｂａｒ～８０ｂａｒ、１ｂａｒ～７０ｂａｒ、１ｂａｒ～６０ｂａｒ、１ｂａｒ～５０ｂａｒ、１ｂａｒ～４０ｂａｒ、１ｂａｒ～３０ｂａｒ、１ｂａｒ～２０ｂａｒ、１ｂａｒ～１０ｂａｒ、１ｂａｒ～５ｂａｒのうち少なくとも１つの範囲にあるか、又はこれらの任意の組み合わせである。

【0064】

工程１０６において、いくつかの実施態様では、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを冷却して、ビス（第１のアレーン）金属錯体が得られる。

【0065】

ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを冷却するやり方は、特に制限されない。いくつかの実施態様では、冷却することが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、第１の温度を下回る第２の温度に冷却することを含む。いくつかの実施態様では、冷却することが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、周囲条件（例えば、温度、圧力など）にさらすことを含む。いくつかの実施態様では、冷却することが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、冷たい流動浴（例えば、冷水浴）に浸すことを含む。いくつかの実施態様では、冷却することが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、第２の温度を有する流体（例えば、気体又は蒸気、流体など）と接触させることを含む。いくつかの実施態様では、冷却することが、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを、第２の温度を有する流体（例えば、気体又は蒸気、流体など）にさらすことを含む。

【0066】

上述のように、ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンが冷却され、ビス（第１のアレーン）金属錯体が得られる。これはつまり、冷却すると、ビス（第１のアレーン）金属錯体を形成することができ、ここでは、ビス（アレーン）金属錯体の１つ又は複数のアレーンが、第１のアレーンで置き換わっているということである。ビス（アレーン）金属錯体は、冷却によって再結晶若しくは析出（例えば溶液から）させることができ、又はこれらの任意の組み合わせを行うことができる。いくつかの実施態様では、ビス（第１のアレーン）金属錯体が、固体として得られる。いくつかの実施態様では、ビス（第１のアレーン）金属錯体が、液体として得られる。いくつかの実施態様では、ろ過により、ビス（第１のアレーン）金属錯体が得られる（例えば単離される、回収されるなど）。いくつかの実施態様では、昇華、蒸留、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つにより、ビス（第１のアレーン）金属錯体が得られる。

【0067】

いくつかの実施態様では、ビス（第１のアレーン）金属錯体が下記式の錯体を含む：

［式中、
Ｍは金属であり、
Ａｒ_３は、第１のアレーンである。］

【0068】

いくつかの実施態様では、例えば、Ａｒ_３が下記式のアレーンである：

［式中、
Ｒ^ａ、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、Ｒ^ｄ、Ｒ^ｅ、及びＲ^ｆはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0069】

いくつかの実施態様では、第１のアレーンが、置換されたアレーン、非置換のアレーン、又はこれらの任意の組み合わせである。いくつかの実施態様では、第１のアレーンが、少なくとも１つのアルキル置換されたアレーンであるか、又は少なくとも１つのアルキル置換されたアレーンを含む。いくつかの実施態様では、例えば、第１のアレーンが、モノアルキルベンゼン、ジアルキルベンゼン、トリアルキルベンゼン、テトラアルキルベンゼン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む。いくつかの実施態様では、アルキルが、Ｃ_１～Ｃ_１０アルキル、Ｃ_１－Ｃ_９アルキル、Ｃ_１－Ｃ_８アルキル、Ｃ_１－Ｃ_７アルキル、Ｃ_１－Ｃ_６アルキル、Ｃ_１－Ｃ_５アルキル、Ｃ_１－Ｃ_４アルキル、Ｃ_１－Ｃ_３アルキル、Ｃ_２－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_３－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_４－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_５－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_６－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_７－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_８－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_２－Ｃ_９アルキル、Ｃ_２－Ｃ_８アルキル、Ｃ_２－Ｃ_７アルキル、Ｃ_２－Ｃ_６アルキル、Ｃ_２－Ｃ_５アルキル、Ｃ_３－Ｃ_５アルキル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、アルキルが、メチル、エチル、ｎ－プロピル、１－メチルエチル（イソプロピル）、ｎ－ブチル、イソ－ブチル、ｓｅｃ－ブチル、ｎ－ペンチル、１，１－ジメチルエチル（ｔ－ブチル）、ｎ－ペンチル、イソ－ペンチル、ｎ－ヘキシル、イソヘキシル、３－メチルヘキシル、２－メチルヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、デシル、ドデシル、オクタデシル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0070】

いくつかの実施態様では、例えば、第１のアレーンが、ベンゼン、トルエン、ｏ－キシレン、ｍ－キシレン、ｐ－キシレン、ｏ－ｔ－ブチルトルエン、ｍ－ｔ－ブチルトルエン、ｐ－ｔ－ブチルトルエン、１－エチル－４－メチルベンゼン、１－エチル－３－メチルベンゼン、１－イソプロピル－４－メチルベンゼン、１－ｔ－ブチル－４－メチルベンゼン、メシチレン、プソイドクメン、デュレン、メチルベンゼン、ジメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、エチルベンゼン、１，４－ジエチルベンゼン、トリエチルベンゼン、プロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔ－ブチルベンゼン、ヘキシルベンゼン、スチレン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ビフェニル、テルフェニル、メチルナフタレン、ビフェニレン、ジメチルナフタレン、メチルアントラセン、４，４’－ジメチルビフェニル、ビベンジル、ジフェニルメタン、これらの任意の異性体、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0071】

いくつかの実施態様では、ビス（第１のアレーン）金属錯体の金属が、遷移金属を含むか、又は遷移金属からなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、ＶＩＢ族の金属を含むか、又はＶＩＢ族の金属からなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらからなる群から選択される。

【0072】

工程１０８において、いくつかの実施態様では、ビス（第１のアレーン）金属錯体が、第２のアレーンと合わせられる。

【0073】

ビス（第１のアレーン）金属錯体を、第２のアレーンと合わせるやり方は、特に制限されない。いくつかの実施態様では、合わせることが、ビス（第１のアレーン）金属錯体を、第２のアレーンと接触させることを含む。いくつかの実施態様では、合わせることが、ビス（第１のアレーン）金属錯体を、第２のアレーンと混合することを含む。いくつかの実施態様では、合わせることが、ビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンを、別個に又は一緒に、反応容器に供給することを含む。いくつかの実施態様では、合わせることが、ビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンを、別個に又は一緒に、反応容器に流すこと又は給送することを含む。いくつかの実施態様では、合わせることが、ビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンを、別個に又は一緒に、反応容器に導入することを含む。いくつかの実施態様では、接触させることが、ビス（第１のアレーン）金属錯体の混合物及び第２のアレーンを、反応容器に注ぐこと、配置すること、添加すること、又はこれらの任意の組み合わせを含む。

【0074】

第２のアレーン（置換されていても、又は非置換でもよい）は、ビス（第１のアレーン）金属錯体の第１のアレーンとは異なるアレーンを含み得る。いくつかの実施態様では、第２のアレーンが、ビス（第１のアレーン）金属錯体の第１のアレーンに基づき選択される。つまり、第２のアレーンは、ビス（第１のアレーン）金属錯体の第１のアレーンよりも高い沸点を有するように選択され得る。例えば、いくつかの実施態様では、ビス（第１のアレーン）の沸点が、第２のアレーンの沸点未満である。第２のアレーンは、ビス（第１のアレーン）金属錯体の第１アレーンよりも高い電子供与性特性を有するように選択され得る。例えば、いくつかの実施態様において、ビス（第１のアレーン）金属錯体の第１のアレーンは、第２のアレーンよりも置換基の数が少ない（このため、より電子供与性が低くなり得る）。したがって、いくつかの実施態様では、第２のアレーンが、ビス（第１のアレーン）金属錯体のアレーンに比して、より高い沸点、より多い置換基の数（さもなくば、より高い電子供与性）、又はこれらの任意の組み合わせを有するように選択される。

【0075】

いくつかの実施態様では、第２のアレーンが、下記式のアレーンである：

［式中、
Ｒ^ｇ、Ｒ^ｈ、Ｒ^ｉ、Ｒ^ｊ、Ｒ^ｋ、及びＲ^ｍはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0076】

いくつかの実施態様では、第２のアレーンが、下記式のアレーンである：

［式中、
Ｚは、結合、アルキル、ヘテロ原子、又はヘテロアルキルであり、
Ｒ^ｎ、Ｒ^ｏ、Ｒ^ｐ、Ｒ^ｑ、Ｒ^ｒ、Ｒ^ｓ、Ｒ^ｔ、Ｒ^ｕ、Ｒ^ｖ、及びＲ^ｗはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0077】

いくつかの実施態様では、第２のアレーンが、置換されたアレーン、非置換のアレーン、又はこれらの任意の組み合わせである。いくつかの実施態様では、第２のアレーンが、少なくとも１つの置換されたアレーンであるか、又は少なくとも１つの置換されたアレーンを含む。いくつかの実施態様では、例えば、第２のアレーンが、モノアルキルベンゼン、ジアルキルベンゼン、トリアルキルベンゼン、テトラアルキルベンゼン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む。いくつかの実施態様では、アルキルが、Ｃ_１～Ｃ_１０アルキル、Ｃ_１－Ｃ_９アルキル、Ｃ_１－Ｃ_８アルキル、Ｃ_１－Ｃ_７アルキル、Ｃ_１－Ｃ_６アルキル、Ｃ_１－Ｃ_５アルキル、Ｃ_１－Ｃ_４アルキル、Ｃ_１－Ｃ_３アルキル、Ｃ_２－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_３－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_４－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_５－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_６－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_７－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_８－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_２－Ｃ_９アルキル、Ｃ_２－Ｃ_８アルキル、Ｃ_２－Ｃ_７アルキル、Ｃ_２－Ｃ_６アルキル、Ｃ_２－Ｃ_５アルキル、Ｃ_３－Ｃ_５アルキル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、アルキルが、メチル、エチル、ｎ－プロピル、１－メチルエチル（イソプロピル）、ｎ－ブチル、イソ－ブチル、ｓｅｃ－ブチル、ｎ－ペンチル、１，１－ジメチルエチル（ｔ－ブチル）、ｎ－ペンチル、イソ－ペンチル、ｎ－ヘキシル、イソヘキシル、３－メチルヘキシル、２－メチルヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、デシル、ドデシル、オクタデシル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0078】

いくつかの実施態様では、例えば、第２のアレーンが、ベンゼン、トルエン、ｏ－キシレン、ｍ－キシレン、ｐ－キシレン、ｏ－ｔ－ブチルトルエン、ｍ－ｔ－ブチルトルエン、ｐ－ｔ－ブチルトルエン、１－エチル－４－メチルベンゼン、１－エチル－３－メチルベンゼン、１－イソプロピル－４－メチルベンゼン、１－ｔ－ブチル－４－メチルベンゼン、メシチレン、プソイドクメン、デュレン、メチルベンゼン、ジメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、エチルベンゼン、１，４－ジエチルベンゼン、トリエチルベンゼン、プロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔ－ブチルベンゼン、ヘキシルベンゼン、スチレン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ビフェニル、テルフェニル、メチルナフタレン、ビフェニレン、ジメチルナフタレン、メチルアントラセン、４，４’－ジメチルビフェニル、ビベンジル、ジフェニルメタン、これらの任意の異性体、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0079】

工程１１０において、いくつかの実施態様では、ビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンが加熱されて、ビス（第２のアレーン）金属錯体が得られる。

【0080】

ビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンを加熱するやり方は、特に制限されない。いくつかの実施態様では、加熱することが、ビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンを、第２の温度に加熱することを含む。いくつかの実施態様では、加熱することが、ビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンを、第２の温度で加熱することを含む。いくつかの実施態様では、加熱することが、ビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンを、オーブン内、炉内、又はホットプレート上で、又はその他の加熱デバイス及び／又は装置で加熱することを含む。いくつかの実施態様では、加熱することが、ビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンを、温かい流動浴（例えば温水浴）に浸すことを含む。いくつかの実施態様では、加熱することが、ビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンを、第２の温度を有する流体（例えば、気体又は蒸気、液体など）と接触させることを含む。いくつかの実施態様では、加熱することが、ビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンを、第２の温度を有する流体（例えば、気体又は蒸気、液体など）にさらすことを含む。

【0081】

いくつかの実施態様では、第２の温度が、ビス（第１のアレーン）金属錯体、第２のアレーン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つの分解温度（例えば、熱分解温度）を下回る温度である。いくつかの実施態様では、第２の温度が、（例えばリガンド交換のための）最低反応温度以上の温度である。いくつかの実施態様では、第２の温度が、１００℃～２００℃の範囲の温度である。例えば、いくつかの実施態様では、第２の温度が、１１０℃～２００℃、１１５℃～２００℃、１２０℃～２００℃、１２５℃～２００℃、１３０℃～２００℃、１３５℃～２００℃、１４０℃～２００℃、１４５℃～２００℃、１５０℃～２００℃、１５５℃～２００℃、１６０℃～２００℃、１６５℃～２００℃、１７０℃～２００℃、１７５℃～２００℃、１８０℃～２００℃、１８５℃～２００℃、１９０℃～２００℃、１９５℃～２００℃の範囲にあるか、又はこれらの任意の組み合わせである。いくつかの実施態様では、第２の温度が、１００℃～１９５℃、１００℃～１９０℃、１００℃～１８５℃、１００℃～１８０℃、１００℃～１７５℃、１００℃～１７０℃、１００℃～１６５℃、１００℃～１６０℃、１００℃～１５５℃、１００℃～１５０℃、１００℃～１４５℃、１００℃～１４０℃、１００℃～１３５℃、１００℃～１３０℃、１００℃～１２５℃、１００℃～１２０℃、１００℃～１１５℃、１００℃～１１０℃、１００℃～１０５℃の範囲にあるか、又はこれらの任意の組み合わせである。

【0082】

いくつかの実施態様では、加熱することが、真空下で行われる。いくつかの実施態様では、加熱することが、圧力下で行われる。例えば、加熱することは、大気圧～１００ｂａｒの範囲の圧力で行われる。いくつかの実施態様では、圧力が、１ｂａｒ～１００ｂａｒ、１０ｂａｒ～１００ｂａｒ、２０ｂａｒ～１００ｂａｒ、３０ｂａｒ～１００ｂａｒ、４０ｂａｒ～１００ｂａｒ、５０ｂａｒ～１００ｂａｒ、６０ｂａｒ～１００ｂａｒ、７０ｂａｒ～１００ｂａｒ、８０ｂａｒ～１００ｂａｒ、９０ｂａｒ～１００ｂａｒ、１ｂａｒ～９０ｂａｒ、１ｂａｒ～８０ｂａｒ、１ｂａｒ～７０ｂａｒ、１ｂａｒ～６０ｂａｒ、１ｂａｒ～５０ｂａｒ、１ｂａｒ～４０ｂａｒ、１ｂａｒ～３０ｂａｒ、１ｂａｒ～２０ｂａｒ、１ｂａｒ～１０ｂａｒ、１ｂａｒ～５ｂａｒのうち少なくとも１つの範囲にあるか、又はこれらの任意の組み合わせである。

【0083】

いくつかの実施態様では、ビス（第２のアレーン）金属錯体が、下記式の化合物である：

［式中、
Ｍは金属であり、
Ａｒ_４は、第２のアレーンである］

【0084】

いくつかの実施態様では、Ａｒ_４が、下記式のアレーンである：

［式中、
Ｒ^ｇ、Ｒ^ｈ、Ｒ^ｉ、Ｒ^ｊ、Ｒ^ｋ、及びＲ^ｍはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、ヒドロキシ、カルボニル、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0085】

いくつかの実施態様では、ビス（第２のアレーン）金属錯体が、下記式の化合物である：

［式中、
Ｍは金属であり、
Ａｒ_５は、アレーンであり、
Ａｒ_６は、アレーンであり、かつ
Ｚは、結合、アルキル、ヘテロ原子、又はヘテロアルキルである］。

【0086】

いくつかの実施態様では、Ａｒ_５が、下記式のアレーンである：

［式中、
Ｒ^ｎ、Ｒ^ｏ、Ｒ^ｐ、Ｒ^ｑ、Ｒ^ｒ、Ｒ^ｓ、Ｒ^ｔ、Ｒ^ｕ、Ｒ^ｖ、及びＲ^ｗはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0087】

いくつかの実施態様では、Ａｒ_６が、下記式のアレーンである：

［式中、
Ｒ^ｓ、Ｒ^ｔ、Ｒ^ｕ、Ｒ^ｖ、及びＲ^ｗはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0088】

いくつかの実施態様では、第２のアレーンが、置換されたアレーン、非置換のアレーン、又はこれらの任意の組み合わせである。いくつかの実施態様では、第２のアレーンが、少なくとも１つの置換されたアルキルであるか、又は少なくとも１つの置換されたアルキルを含む。いくつかの実施態様では、例えば、第２のアレーンが、モノアルキルベンゼン、ジアルキルベンゼン、トリアルキルベンゼン、テトラアルキルベンゼン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む。いくつかの実施態様では、アルキルが、Ｃ_１～Ｃ_１０アルキル、Ｃ_１－Ｃ_９アルキル、Ｃ_１－Ｃ_８アルキル、Ｃ_１－Ｃ_７アルキル、Ｃ_１－Ｃ_６アルキル、Ｃ_１－Ｃ_５アルキル、Ｃ_１－Ｃ_４アルキル、Ｃ_１－Ｃ_３アルキル、Ｃ_２－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_３－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_４－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_５－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_６－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_７－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_８－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_２－Ｃ_９アルキル、Ｃ_２－Ｃ_８アルキル、Ｃ_２－Ｃ_７アルキル、Ｃ_２－Ｃ_６アルキル、Ｃ_２－Ｃ_５アルキル、Ｃ_３－Ｃ_５アルキル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、アルキルが、メチル、エチル、ｎ－プロピル、１－メチルエチル（イソプロピル）、ｎ－ブチル、イソ－ブチル、ｓｅｃ－ブチル、ｎ－ペンチル、１，１－ジメチルエチル（ｔ－ブチル）、ｎ－ペンチル、イソ－ペンチル、ｎ－ヘキシル、イソヘキシル、３－メチルヘキシル、２－メチルヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、デシル、ドデシル、オクタデシル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0089】

いくつかの実施態様では、例えば、第２のアレーンが、ベンゼン、トルエン、ｏ－キシレン、ｍ－キシレン、ｐ－キシレン、ｏ－ｔ－ブチルトルエン、ｍ－ｔ－ブチルトルエン、ｐ－ｔ－ブチルトルエン、１－エチル－４－メチルベンゼン、１－エチル－３－メチルベンゼン、１－イソプロピル－４－メチルベンゼン、１－ｔ－ブチル－４－メチルベンゼン、メシチレン、プソイドクメン、デュレン、メチルベンゼン、ジメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、エチルベンゼン、１，４－ジエチルベンゼン、トリエチルベンゼン、プロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔ－ブチルベンゼン、ヘキシルベンゼン、スチレン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ビフェニル、テルフェニル、メチルナフタレン、ビフェニレン、ジメチルナフタレン、メチルアントラセン、４，４’－ジメチルビフェニル、ビベンジル、ジフェニルメタン、これらの任意の異性体、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0090】

いくつかの実施態様では、ビス（第２のアレーン）金属錯体の金属が、遷移金属を含むか、又は遷移金属からなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、ＶＩＢ族の金属を含むか、又はＶＩＢ族の金属からなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらからなる群から選択される。

【0091】

いくつかの実施態様では、ビス（第２のアレーン）金属錯体が、ろ過、昇華、蒸留、又はこれらの任意の組み合わせによって得られる。

【0092】

いくつかの実施態様は、中間前駆体に関する。いくつかの実施態様では、中間前駆体が、半導体作製プロセス、マイクロエレクトロニクス作製プロセスなどにおける堆積プロセスにとって有用な前駆体を製造するために、有用である。中間前駆体は、ここに開示した方法に従って製造され得る。いくつかの実施態様では、中間前駆体が、ここに開示したビス（第１のアレーン）金属錯体である。

【0093】

いくつかの実施態様では、中間前駆体が、下記式の化合物である：

［式中、
Ｍは、金属であり、
Ａｒ_３は、第１のアレーンである］。

【0094】

いくつかの実施態様では、例えば、Ａｒ_３が、下記式のアレーンである：

［式中、
Ｒ^ａ、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、Ｒ^ｄ、Ｒ^ｅ、及びＲ^ｆはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、ヒドロキシ、カルボニル、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0095】

いくつかの実施態様では、第１のアレーンが、置換されたアレーン、非置換のアレーン、又はこれらの任意の組み合わせである。いくつかの実施態様では、第１のアレーンが、少なくとも１つの置換されたアルキルであるか、又は少なくとも１つの置換されたアルキルを含む。いくつかの実施態様では、例えば、第１のアレーンが、モノアルキルベンゼン、ジアルキルベンゼン、トリアルキルベンゼン、テトラアルキルベンゼン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む。いくつかの実施態様では、アルキルが、Ｃ_１～Ｃ_１０アルキル、Ｃ_１－Ｃ_９アルキル、Ｃ_１－Ｃ_８アルキル、Ｃ_１－Ｃ_７アルキル、Ｃ_１－Ｃ_６アルキル、Ｃ_１－Ｃ_５アルキル、Ｃ_１－Ｃ_４アルキル、Ｃ_１－Ｃ_３アルキル、Ｃ_２－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_３－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_４－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_５－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_６－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_７－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_８－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_２－Ｃ_９アルキル、Ｃ_２－Ｃ_８アルキル、Ｃ_２－Ｃ_７アルキル、Ｃ_２－Ｃ_６アルキル、Ｃ_２－Ｃ_５アルキル、Ｃ_３－Ｃ_５アルキル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、アルキルが、メチル、エチル、ｎ－プロピル、１－メチルエチル（イソプロピル）、ｎ－ブチル、イソ－ブチル、ｓｅｃ－ブチル、ｎ－ペンチル、１，１－ジメチルエチル（ｔ－ブチル）、ｎ－ペンチル、イソ－ペンチル、ｎ－ヘキシル、イソヘキシル、３－メチルヘキシル、２－メチルヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、デシル、ドデシル、オクタデシル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0096】

いくつかの実施態様では、例えば、第１のアレーンが、ベンゼン、トルエン、ｏ－キシレン、ｍ－キシレン、ｐ－キシレン、ｏ－ｔ－ブチルトルエン、ｍ－ｔ－ブチルトルエン、ｐ－ｔ－ブチルトルエン、１－エチル－４－メチルベンゼン、１－エチル－３－メチルベンゼン、１－イソプロピル－４－メチルベンゼン、１－ｔ－ブチル－４－メチルベンゼン、メシチレン、プソイドクメン、デュレン、メチルベンゼン、ジメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、エチルベンゼン、１，４－ジエチルベンゼン、トリエチルベンゼン、プロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔ－ブチルベンゼン、ヘキシルベンゼン、スチレン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ビフェニル、テルフェニル、メチルナフタレン、ビフェニレン、ジメチルナフタレン、メチルアントラセン、４，４’－ジメチルビフェニル、ビベンジル、ジフェニルメタン、これらの任意の異性体、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0097】

いくつかの実施態様では、ビス（第１のアレーン）金属錯体の金属が、遷移金属を含むか、又は遷移金属からなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、ＶＩＢ族の金属を含むか、ＶＩＢ族の金属からなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらからなる群から選択される。

【0098】

いくつかの実施態様では、中間前駆体が、固体である。いくつかの実施態様では、中間前駆体が、液体である。

【0099】

いくつかの実施態様では、中間前駆体が、９０％～１００％（すなわち純粋）の純度を有する。例えば、いくつかの実施態様では、前駆体の純度が、９１％～１００％、９２％～１００％、９３％～１００％、９４％～１００％、９５％～１００％、９６％～１００％、９７％～１００％、９８％～１００％、９９％～１００％、９９．９％～１００％、９９．９９％～１００％、９９．９９９％～１００％、９９．９９９９％～１００％、又は９９．９９９９９％～１００％である。

【0100】

いくつかの実施態様は、前駆体に関する。いくつかの実施態様では、前駆体が、半導体作製プロセス、マイクロエレクトロニクス作製プロセスなどにおける堆積プロセスにとって有用である。前駆体は、ここに開示した方法に従って製造され得る。いくつかの実施態様では、前駆体が、ここに開示されたビス（第２のアレーン）金属錯体である。

【0101】

いくつかの実施態様では、前駆体が下記式の化合物である：

［式中、
Ｍは、金属であり、
Ａｒ_４は、第２のアレーンである］。

【0102】

いくつかの実施態様では、Ａｒ_４が、下記式のアレーンである：

［式中、
Ｒ^ｇ、Ｒ^ｈ、Ｒ^ｉ、Ｒ^ｊ、Ｒ^ｋ、及びＲ^ｍはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0103】

いくつかの実施態様では、前駆体が、下記式の化合物である：

［式中、
Ｍは、金属であり、
Ａｒ_５は、アレーンであり、
Ａｒ_６は、アレーンであり、かつ
Ｚは、結合、アルキル、ヘテロ原子、又はヘテロアルキルである］。

【0104】

いくつかの実施態様では、Ａｒ_５が、下記式のアレーンである：

［式中、
Ｒ^ｎ、Ｒ^ｏ、Ｒ^ｐ、Ｒ^ｑ、Ｒ^ｒ、Ｒ^ｓ、Ｒ^ｔ、Ｒ^ｕ、Ｒ^ｖ、及びＲ^ｗはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0105】

いくつかの実施態様では、Ａｒ_６が、下記式のアレーンである：

［式中、
Ｒ^ｓ、Ｒ^ｔ、Ｒ^ｕ、Ｒ^ｖ、及びＲ^ｗはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］。

【0106】

いくつかの実施態様では、第２のアレーンが、置換されたアレーン、非置換のアレーン、又はこれらの任意の組み合わせである。いくつかの実施態様では、第２のアレーンが、少なくとも１つの置換されたアルキルであるか、又は少なくとも１つの置換されたアルキルを含む。いくつかの実施態様では、例えば、第２のアレーンが、モノアルキルベンゼン、ジアルキルベンゼン、トリアルキルベンゼン、テトラアルキルベンゼン、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む。いくつかの実施態様では、アルキルが、Ｃ_１～Ｃ_１０アルキル、Ｃ_１－Ｃ_９アルキル、Ｃ_１－Ｃ_８アルキル、Ｃ_１－Ｃ_７アルキル、Ｃ_１－Ｃ_６アルキル、Ｃ_１－Ｃ_５アルキル、Ｃ_１－Ｃ_４アルキル、Ｃ_１－Ｃ_３アルキル、Ｃ_２－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_３－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_４－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_５－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_６－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_７－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_８－Ｃ_１０アルキル、Ｃ_２－Ｃ_９アルキル、Ｃ_２－Ｃ_８アルキル、Ｃ_２－Ｃ_７アルキル、Ｃ_２－Ｃ_６アルキル、Ｃ_２－Ｃ_５アルキル、Ｃ_３－Ｃ_５アルキル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、アルキルが、メチル、エチル、ｎ－プロピル、１－メチルエチル（イソプロピル）、ｎ－ブチル、イソ－ブチル、ｓｅｃ－ブチル、ｎ－ペンチル、１，１－ジメチルエチル（ｔ－ブチル）、ｎ－ペンチル、イソ－ペンチル、ｎ－ヘキシル、イソヘキシル、３－メチルヘキシル、２－メチルヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、デシル、ドデシル、オクタデシル、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0107】

いくつかの実施態様では、例えば、第２のアレーンが、ベンゼン、トルエン、ｏ－キシレン、ｍ－キシレン、ｐ－キシレン、ｏ－ｔ－ブチルトルエン、ｍ－ｔ－ブチルトルエン、ｐ－ｔ－ブチルトルエン、１－エチル－４－メチルベンゼン、１－エチル－３－メチルベンゼン、１－イソプロピル－４－メチルベンゼン、１－ｔ－ブチル－４－メチルベンゼン、メシチレン、プソイドクメン、デュレン、メチルベンゼン、ジメチルベンゼン、トリメチルベンゼン、エチルベンゼン、１，４－ジエチルベンゼン、トリエチルベンゼン、プロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔ－ブチルベンゼン、ヘキシルベンゼン、スチレン、ナフタレン、アントラセン、フェナントレン、ビフェニル、テルフェニル、メチルナフタレン、ビフェニレン、ジメチルナフタレン、メチルアントラセン、４，４’－ジメチルビフェニル、ビベンジル、ジフェニルメタン、これらの任意の異性体、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらのうち少なくとも１つからなる群から選択される。

【0108】

いくつかの実施態様では、ビス（第２のアレーン）金属錯体の金属が、遷移金属を含むか、又は遷移金属からなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、ＶＩＢ族の金属を含むか、又はＶＩＢ族の金属からなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらからなる群から選択される。いくつかの実施態様では、金属が、いくつかの実施態様では、金属が、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含むか、又はこれらからなる群から選択される。

【0109】

いくつかの実施態様では、前駆体が固体である。いくつかの実施態様では、前駆体が液体である。

【0110】

いくつかの実施態様では、前駆体の純度が、９０％～１００％（すなわち純粋）である。例えば、いくつかの実施態様では、前駆体の純度が、９１％～１００％、９２％～１００％、９３％～１００％、９４％～１００％、９５％～１００％、９６％～１００％、９７％～１００％、９８％～１００％、９９％～１００％、９９．９％～１００％、９９．９９％～１００％、９９．９９９％～１００％、９９．９９９９％～１００％、又は９９．９９９９９％～１００％である。

【0111】

本開示の範囲から離れない限り、細部について、特に用いられる構成材料、並びに部材の形状及び配置構成について変更が行われ得ると、理解されるべきである。記載された本明細書及び実施態様は例示であり、本開示についての真の範囲及び思想は、以下の特許請求の範囲により示される。

【0112】

実施例１
中間前駆体：ビス（ベンゼン）モリブデン
ベンゼンエチルベンゼンモリブデン、ベンゼンジエチルベンゼンモリブデン、エチルベンゼンジエチルベンゼンモリブデン（ＥＢＤＥＢＭｏ）、ビス（エチルベンゼン）モリブデン（ＢＥＢＭｏ）、及びビス（ジエチルベンゼン）モリブデン（ＢＤＥＢＭｏ）を含有する混合物を得た。この混合物を過剰なベンゼン（４２ｍＬ）と、封止された３５０ｍＬ管（テフロンのスクリューキャップ付）の中で合わせた。この管を脱気し、１６０℃に４８時間、加熱した。冷却すると、ビス（ベンゼン）モリブデンが再結晶し、溶液から析出する（収率約６０％）。暗い緑色の結晶を、グローブボックス内でろ過により単離し、ヘキサンで洗浄した。続いて、減圧下で結晶を乾燥させた。

【0113】

図２は、いくつかの実施態様による、前駆体を製造するための反応スキームについて、非限定的な実施態様を示す。図２に示した反応スキームは、中間前駆体及び及び前駆体の形成に関する。^１Ｈ ＮＭＲスペクトルを、Ｃ_６Ｄ_６における結晶について収集した。図３は、いくつかの実施態様による、単離されたビス（ベンゼン）モリブデンについての^１Ｈ ＮＭＲスペクトルである。図３ではピーク３０２が、Ｍｏ（Ｃ_６Ｈ_６）_２について４．５６ｐｐｍで観察され、ピーク３０４が、残りの反応種（例えばＣ_６Ｄ_６、Ｃ_６Ｈ_６など）について７．１６で観察される。^１Ｈ ＮＭＲスペクトルにより、結晶が純粋であること、また当該結晶がビス（ベンゼン）モリブデン錯体のみからなることが確認された。アルキル置換基（例えば、エチルベンゼン異性体）が、モリブデンに配位結合したベンゼン上に存在しないことは、^１Ｈ ＮＭＲスペクトルによって確認された。

【0114】

実施例２
前駆体：ビス（エチルベンゼン）モリブデン
実施例１から得られたビス（ベンゼン）モリブデン中間前駆体を、エチルベンゼンと合わせ、１６０℃の温度に加熱して、ビス（エチルベンゼン）モリブデンを得た。ビス（エチルベンゼン）モリブデンは、液状で溶液として得られる。溶液中に存在する過剰なベンゼンを溶液から留去すると、ビス（エチルベンゼン）モリブデンが、９９％以上の純度で得られる。

【0115】

実施例３
中間前駆体：ビス（トルエン）モリブデン
ベンゼンエチルベンゼンモリブデン、ベンゼンジエチルベンゼンモリブデン、エチルベンゼンジエチルベンゼンモリブデン（ＥＢＤＥＢＭｏ）、ビス（エチルベンゼン）モリブデン（ＢＥＢＭｏ）、及びビス（ジエチルベンゼン）モリブデン（ＢＤＥＢＭｏ）の混合物を得る。この混合物を、過剰なトルエンと、封止された３５０ｍＬ管（テフロンのスクリューキャップ付）の中で合わせる。この管を脱気し、１６０℃に４８時間、加熱する。冷却すると、ビス（トルエン）モリブデンが再結晶し、溶液から析出する（収率約６０％）。この結晶を、グローブボックス内でろ過により単離し、ヘキサンで洗浄する。続いて、減圧下で結晶を乾燥させる。^１Ｈ ＮＭＲスペクトルを収集すると、結晶が純粋なビス（トルエン）モリブデンであること、及びトルエン以外のアレーンが存在しないことが確認される。

【0116】

実施例４
前駆体：ビス（エチルベンゼン）モリブデン
実施例３から得られたビス（トルエン）モリブデン中間前駆体を、エチルベンゼンと合わせ、１６０℃の温度に加熱して、ビス（エチルベンゼン）モリブデンを得る。ビス（エチルベンゼン）モリブデンが、液状で溶液として得られる。溶液中に存在する過剰なトルエンを溶液から留去すると、ビス（エチルベンゼン）モリブデンが、９９％以上の純度で得られる。

【0117】

実施例５
中間前駆体：ビス（キシレン）モリブデン
ベンゼンエチルベンゼンモリブデン、ベンゼンジエチルベンゼンモリブデン、エチルベンゼンジエチルベンゼンモリブデン（ＥＢＤＥＢＭｏ）、ビス（エチルベンゼン）モリブデン（ＢＥＢＭｏ）、及びビス（ジエチルベンゼン）モリブデン（ＢＤＥＢＭｏ）の混合物を得る。この混合物を、過剰なキシレンと、封止された３５０ｍＬ管（テフロンのスクリューキャップ付）の中で合わせる。この管を脱気し、１６０℃に４８時間、加熱する。冷却すると、ビス（キシレン）モリブデンが再結晶し、溶液から析出する（収率約６０％）。この結晶を、グローブボックス内でろ過により単離し、ヘキサンで洗浄する。続いて、減圧下で結晶を乾燥させる。^１Ｈ ＮＭＲスペクトルを収集すると、結晶が純粋なビス（キシレン）モリブデンであること、及びキシレン以外のアレーンが存在しないことが確認される。

【0118】

実施例６
前駆体：ビス（キシレン）モリブデン
実施例５から得られたビス（キシレン）モリブデン中間前駆体を、エチルベンゼンと合わせ、１６０℃の温度に加熱して、ビス（エチルベンゼン）モリブデンを得る。ビス（エチルベンゼン）モリブデンは、液状で溶液として得られる。溶液中に存在する過剰なキシレンを溶液から留去すると、ビス（エチルベンゼン）モリブデンが、９９％以上の純度で得られる。

【0119】

実施例７
前駆体：ビス（ビベンジル）モリブデン
実施例１から得られたビス（ベンゼン）モリブデン中間前駆体を、ビベンジルと合わせ、１６０℃の温度に加熱して、ビス（ビベンジル）モリブデンを得る。ビス（ビベンジル）モリブデンは、液状で溶液として得られる。溶液中に存在する過剰なベンゼンを溶液から留去すると、ビス（ビベンジル）モリブデンが９９％以上の純度で得られる。ビス（ビベンジル）モリブデンの化学構造は、以下に示すとおりである：

【0120】

実施例８
前駆体：ビス（ジフェニルメタン）モリブデン
実施例１から得られたビス（ベンゼン）モリブデン中間前駆体を、ジフェニルメタンと合わせ、１６０℃の温度に加熱して、ビス（ジフェニルメタン）モリブデンを得る。ビス（ジフェニルメタン）モリブデンは、液状で溶液として得られる。溶液中に存在する過剰なベンゼンを溶液から留去すると、ビス（ジフェニルメタン）モリブデンが、９９％以上の純度で得られる。ビス（ジフェニルメタン）モリブデンの化学構造は、以下に示すとおりである：

【図1】

【図2】

【図3】

【手続補正書】

【提出日】2024-10-23

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

前駆体を製造する方法であって、該方法は、
ビス（アレーン）金属錯体の混合物と、第１のアレーンとを合わせること、
ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを加熱すること、並びに
ビス（アレーン）金属錯体の混合物及び第１のアレーンを冷却して、ビス（第１のアレーン）金属錯体を析出させること、
を含み、
ビス（アレーン）金属錯体の金属がモリブデンであり、
ビス（アレーン）金属錯体の混合物が、ベンゼンエチルベンゼンモリブデン、ベンゼンジエチルベンゼンモリブデン、エチルベンゼンジエチルベンゼンモリブデン（ＥＢＤＥＢＭｏ）、ビス（エチルベンゼン）モリブデン（ＢＥＢＭｏ）、ビス（ジエチルベンゼン）モリブデン（ＢＤＥＢＭｏ）、又はこれらの任意の組み合わせのうち少なくとも１つを含む、
方法。

【請求項2】

ビス（アレーン）金属錯体のアレーンの沸点が、第１のアレーンの沸点よりも高い、請求項１に記載の方法。

【請求項3】

ビス（アレーン）金属錯体の混合物中に存在するビス（アレーン）金属錯体のそれぞれが独立して、下記式のビス（アレーン）金属錯体である、請求項１に記載の方法：

［式中、
Ｍは、Ｍｏであり、
Ａｒ_１は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、及びＲ^６はそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
であり、
Ａｒ_２は、下記式のアレーン：

（式中、Ｒ^７、Ｒ^８、Ｒ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、及びＲ^１２はそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである）
である］。

【請求項4】

第１のアレーンが、下記式のアレーン：

［式中、Ｒ^ａ、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、Ｒ^ｄ、Ｒ^ｅ、及びＲ^ｆはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］
である、請求項１に記載の方法。

【請求項5】

前駆体を製造する方法であって、該方法は、
第１のアレーンと、ビス（アレーン）金属錯体の混合物とを合わせること、
第１のアレーン、及びビス（アレーン）金属錯体の混合物を加熱すること、
第１のアレーン、及びビス（アレーン）金属錯体の混合物を冷却して、ビス（第１のアレーン）金属錯体を得ること、
ビス（第１のアレーン）金属錯体と、第２のアレーンとを合わせること、並びに
ビス（第１のアレーン）金属錯体及び第２のアレーンを加熱して、ビス（第２のアレーン）金属錯体を得ること
を含み、
ビス（アレーン）金属錯体の金属がモリブデンである、
方法。

【請求項6】

第２のアレーンが、下記式：

［式中、Ｒ^ｇ、Ｒ^ｈ、Ｒ^ｉ、Ｒ^ｊ、Ｒ^ｋ、及びＲ^ｍはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］、
又は

［式中、
Ｚは、結合、アルキル、ヘテロ原子、又はヘテロアルキルであり、かつ
Ｒ^ｎ、Ｒ^ｏ、Ｒ^ｐ、Ｒ^ｑ、Ｒ^ｒ、Ｒ^ｓ、Ｒ^ｔ、Ｒ^ｕ、Ｒ^ｖ、及びＲ^ｗはそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、ジアルキルアミノ、アルキル、アルコキシ、アリール、又はシクロアルキルである］
のうち少なくとも１つを有するアレーンである、請求項５に記載の方法。

【国際調査報告】