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特表2025-514784可変硬度の非晶質炭素マスク
発明の名称 可変硬度の非晶質炭素マスク
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 32 位（221件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25 位（229件）（共同出願を含む）
出願人 トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス，インコーポレーテッド （識別番号 514028776）
特許公開件数ランキング 14225 位（11件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12103 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特表-2025-514784
公報発行日 2025年5月9
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2025-514784
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