発明の名称 ガス放電チャンバブロワのエネルギー消費量の低減
出願人 サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー (識別番号 513192029)
特許公開件数ランキング 2065 位(3件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1447 位(5件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2025-534199
公報発行日 2025年10月15
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2025-534199
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