発明の名称 半導体パターン倒壊防止用コーティング組成物、及びこれを用いてコーティングされたパターン
出願人 ワイシーケム カンパニー リミテッド (識別番号 523423908)
特許公開件数ランキング 2286 位(3件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1334 位(5件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2026-514534
公報発行日 2026年5月11
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2026-514534
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