発明の名称 オービトロンポンプ、およびオービトロンポンプを備えた電子線装置
出願人 株式会社日立ハイテクノロジーズ (識別番号 501387839)
特許公開件数ランキング 176 位(50件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 61 位(104件)(共同出願を含む)
公報番号 再表-2014-119586
公報発行日 2017年1月26
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-S-2014-119586
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