再表2014-24865ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置

発明の名称　ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置

出願人　ギガフォトン株式会社　（識別番号 300073919）

　　　　特許公開件数ランキング 471 位（21件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 688 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　再表-2014-24865

公報発行日　2016年7月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-S-2014-24865

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、再表-2014-24865「ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録