再表2016-190036プラズマ処理装置およびそれを用いたプラズマ処理方法

発明の名称　プラズマ処理装置およびそれを用いたプラズマ処理方法

出願人　株式会社日立ハイテクノロジーズ　（識別番号 501387839）

　　　　特許公開件数ランキング 126 位（31件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 58 位（42件）（共同出願を含む）

公報番号　再表-2016-190036

公報発行日　2017年12月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-S-2016-190036

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