再表2016-67563基板洗浄ロール、基板洗浄装置、及び基板洗浄方法

発明の名称　基板洗浄ロール、基板洗浄装置、及び基板洗浄方法

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 176 位（51件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 259 位（31件）（共同出願を含む）

公報番号　再表-2016-67563

公報発行日　2017年6月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-S-2016-67563

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