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再表2016-79983ＳｉＣ基板のエッチング方法及び収容容器
発明の名称 ＳｉＣ基板のエッチング方法及び収容容器
出願人 東洋炭素株式会社 （識別番号 222842）
特許公開件数ランキング 16409 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 13778 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 学校法人関西学院 （識別番号 503092180）
特許公開件数ランキング 1383 位（7件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 661 位（15件）（共同出願を含む）
公報番号 再表-2016-79983
公報発行日 2017年10月12
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-S-2016-79983
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