発明の名称 Cu膜の形成方法
出願人 株式会社アルバック (識別番号 231464)
特許公開件数ランキング 471 位(24件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 753 位(7件)(共同出願を含む)
公報番号 再表-2017-199767
公報発行日 2018年11月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-S-2017-199767
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