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再表2019-186936荷電粒子線装置
発明の名称 荷電粒子線装置
出願人 株式会社日立ハイテクノロジーズ （識別番号 501387839）
特許公開件数ランキング 185 位（60件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 60 位（130件）（共同出願を含む）
出願人 一般財団法人ファインセラミックスセンター （識別番号 173522）
特許公開件数ランキング 2888 位（2件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 4053 位（2件）（共同出願を含む）
公報番号 再表-2019-186936
公報発行日 2021年2月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-S-2019-186936
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