再表2020-170350ガスレーザ装置、ガスレーザ装置のレーザ光の出射方法、及び電子デバイスの製造方法

発明の名称　ガスレーザ装置、ガスレーザ装置のレーザ光の出射方法、及び電子デバイスの製造方法

出願人　ギガフォトン株式会社　（識別番号 300073919）

　　　　特許公開件数ランキング 474 位（22件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 728 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　再表-2020-170350

公報発行日　2021年12月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-S-2020-170350

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