特表2015-527750基板処理システム及び基板を移動する方法

発明の名称　基板処理システム及び基板を移動する方法

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（548件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 35 位（547件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2015-527750

公報発行日　2015年9月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2015-527750

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特表-2015-527750「基板処理システム及び基板を移動する方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録