発明の名称 物理的気相成長法による窒化アルミニウムの緩衝及び活性層
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (識別番号 390040660)
特許公開件数ランキング 43 位(558件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 34 位(556件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2015-529009
公報発行日 2015年10月1
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2015-529009
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