特表2015-531984(P2015-531984A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2015-531984高ビーム電流および低ビーム電流の両方を用いた、高解像度イメージングのための二重レンズ銃電子ビーム装置および方法
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