特表2016-524793濃縮されたケイ素前駆体組成物およびこれを利用するための装置および方法

発明の名称　濃縮されたケイ素前駆体組成物およびこれを利用するための装置および方法

出願人　インテグリス・インコーポレーテッド　（識別番号 505307471）

　　　　特許公開件数ランキング 415 位（22件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 346 位（25件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2016-524793

公報発行日　2016年8月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2016-524793

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