特表2016-530706(P2016-530706A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2016-530706ＩＣＰプラズマ処理チャンバ内における高収率・基板最端部欠陥低減のための単一リング設計
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