特表2016-532902マイクロリソグラフィパターン認定

発明の名称　マイクロリソグラフィパターン認定

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 361 位（12件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 442 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2016-532902

公報発行日　2016年10月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2016-532902

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