発明の名称 シームレスのコバルト間隙充填を可能にする方法
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (識別番号 390040660)
特許公開件数ランキング 23 位(235件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 60 位(125件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2016-540368
公報発行日 2016年12月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2016-540368
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