発明の名称 複数の液体または固体の原材料からCVDまたはPVD装置のために蒸気を生成する蒸気発生装置および蒸気発生方法
出願人 アイクストロン、エスイー (識別番号 502010251)
特許公開件数ランキング 2781 位(2件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 2289 位(2件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2017-521563
公報発行日 2017年8月3
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2017-521563
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