特表2017-537220複数箇所にて供給される希釈ガス流をもつ温度制御されたガス供給管

発明の名称　複数箇所にて供給される希釈ガス流をもつ温度制御されたガス供給管

出願人　アイクストロン、エスイー　（識別番号 502010251）

　　　　特許公開件数ランキング 3969 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1795 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2017-537220

公報発行日　2017年12月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2017-537220

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