発明の名称 材料堆積システム及び材料堆積システムで材料を堆積する方法
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (識別番号 390040660)
特許公開件数ランキング 26 位(237件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 60 位(126件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2017-538039
公報発行日 2017年12月21
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2017-538039
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