特表2018-528615(P2018-528615A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2018-528615コンフォーマルな金属又はメタロイド窒化ケイ素膜を堆積するための方法及びその結果として得られる膜
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  • 特表2018528615-コンフォーマルな金属又はメタロイド窒化ケイ素膜を堆積するための方法及びその結果として得られる膜 図000011
  • 特表2018528615-コンフォーマルな金属又はメタロイド窒化ケイ素膜を堆積するための方法及びその結果として得られる膜 図000012
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