特表2018-536768(P2018-536768A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2018-536768基板上のスパッタ堆積用に構成されたシステム、スパッタ堆積チャンバ用のシールド装置、およびスパッタ堆積チャンバ内に電気シールドを設ける方法
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