発明の名称 ウエハのポイントバイポイント分析及びデータの提示
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (識別番号 390040660)
特許公開件数ランキング 24 位(271件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 63 位(132件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2018-537853
公報発行日 2018年12月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2018-537853
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