発明の名称 ローラーデバイスとその利用、及びウェブの温度を制御するための方法
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (識別番号 390040660)
特許公開件数ランキング 43 位(548件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 35 位(547件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2019-517970
公報発行日 2019年6月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2019-517970
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