特表2019-519098プラズマ処理チャンバ内のウエハキャリアのための高度な温度制御

発明の名称　プラズマ処理チャンバ内のウエハキャリアのための高度な温度制御

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（548件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 35 位（547件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2019-519098

公報発行日　2019年7月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2019-519098

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