特表2019-535138半導体ウエハ検査のための欠陥マーキング

発明の名称　半導体ウエハ検査のための欠陥マーキング

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 284 位（36件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 453 位（18件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2019-535138

公報発行日　2019年12月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2019-535138

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