期限日
知財求人情報
特・実 審査基準
法文集
特表2020-502797(P2020-502797A)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
ホーム
>
特許ランキング
>
ラム リサーチ コーポレーション
ツイート
知財求人
- 知財ポータルサイト「IP Force」
青山学院大学
(神奈川県相模原市中央区淵野辺)
▶ ラム リサーチ コーポレーションの特許一覧
特表
2020-502797
リモートプラズマ処理を用いる炭化ケイ素膜の高密度化
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
図面の説明
目に優しい
通常表示
文字サイズ
小
中
大
PDF
Top
<
>
<
>
1A
1B
1C
1D
2
3
4A
4B
5A
5B
5C
5D
6A
6B
6C
6D
6E
17
