特表2020-503663(P2020-503663A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2020-503663基板を支持するための基板キャリア、マスクチャッキング装置、真空処理システム、及び基板キャリアを動作させる方法
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