特表2020-518012アンダーカットパターン形状を生成するためのネガ型レジスト配合物

発明の名称　アンダーカットパターン形状を生成するためのネガ型レジスト配合物

出願人　メルク　パテント　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング　（識別番号 591032596）

　　　　特許公開件数ランキング 247 位（130件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 355 位（74件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2020-518012

公報発行日　2020年6月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2020-518012

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