特表2020-521039(P2020-521039A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2020-521039蒸発した材料を堆積させるための蒸発源、真空堆積システム、及び蒸発した材料を堆積させるための方法
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