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特表2020-532852(P2020-532852A)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
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特表
2020-532852
エッジリングの位置決めおよびセンタリング機構を組み込んだプラズマシース調整のための交換可能および／または折りたたみ式エッジリングアセンブリ
書誌
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請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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