特表2021-509768改善されたトポグラフィーを有するタングステンバフ研磨組成物

発明の名称　改善されたトポグラフィーを有するタングステンバフ研磨組成物

出願人　キャボット　マイクロエレクトロニクス　コーポレイション　（識別番号 500397411）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1073 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2021-509768

公報発行日　2021年4月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2021-509768

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特表-2021-509768「改善されたトポグラフィーを有するタングステンバフ研磨組成物」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録