特表2021-524160電子デバイス製造において複数の基板を移送するように適合されたマルチブレードロボット装置、電子デバイス製造装置、及び方法

発明の名称　電子デバイス製造において複数の基板を移送するように適合されたマルチブレードロボット装置、電子デバイス製造装置、及び方法

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（548件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 35 位（547件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2021-524160

公報発行日　2021年9月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2021-524160

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特表-2021-524160「電子デバイス製造において複数の基板を移送するように適合されたマルチブレードロボット装置、電子デバイス製造装置、及び方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録