発明の名称 より短い対称的な接地経路を提供するための接地経路システム
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (識別番号 390040660)
特許公開件数ランキング 43 位(558件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 34 位(551件)(共同出願を含む)
公報番号 特表-2021-525952
公報発行日 2021年9月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2021-525952
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