特表2021-525963フラットパネルプロセス機器用の温度制御ガスディフューザー

発明の名称　フラットパネルプロセス機器用の温度制御ガスディフューザー

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（548件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 35 位（547件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2021-525963

公報発行日　2021年9月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2021-525963

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特表-2021-525963「フラットパネルプロセス機器用の温度制御ガスディフューザー」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録