特表2021-526310角度付きエッチングツール内での基板回転によるエッチング角度の制御

発明の名称　角度付きエッチングツール内での基板回転によるエッチング角度の制御

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（558件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 34 位（551件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2021-526310

公報発行日　2021年9月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2021-526310

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特表-2021-526310「角度付きエッチングツール内での基板回転によるエッチング角度の制御」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録