特表2021-529097化学機械研磨の温度制御

発明の名称　化学機械研磨の温度制御

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（566件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 34 位（558件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2021-529097

公報発行日　2021年10月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2021-529097

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